JPS59151250U - ホトマスクブランクス - Google Patents
ホトマスクブランクスInfo
- Publication number
- JPS59151250U JPS59151250U JP1983044203U JP4420383U JPS59151250U JP S59151250 U JPS59151250 U JP S59151250U JP 1983044203 U JP1983044203 U JP 1983044203U JP 4420383 U JP4420383 U JP 4420383U JP S59151250 U JPS59151250 U JP S59151250U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask blanks
- photomask blank
- photomask
- blanks
- recorded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案ホトマスクブランクスの一実施例を示す
裏面図、第２図は同じくその正面図である。 １・・・・・・ホトマスクブランクス、２・・・・・遺
ｕり溝、３・・曲マスキング材、４・・聞ホトレジスト
。
裏面図、第２図は同じくその正面図である。 １・・・・・・ホトマスクブランクス、２・・・・・遺
ｕり溝、３・・曲マスキング材、４・・聞ホトレジスト
。
Claims (1)
- 表面にマスキング材を有するホトマスクブランクスにお
いて、裏面に縦横に割り溝を具備したことを特徴とする
ホトマスクブランクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983044203U JPS59151250U (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | ホトマスクブランクス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983044203U JPS59151250U (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | ホトマスクブランクス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59151250U true JPS59151250U (ja) | 1984-10-09 |
Family
ID=30174739
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983044203U Pending JPS59151250U (ja) | 1983-03-29 | 1983-03-29 | ホトマスクブランクス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59151250U (ja) |
-
1983
- 1983-03-29 JP JP1983044203U patent/JPS59151250U/ja active Pending
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