JPS60117034U - 半導体真空回転チヤツク - Google Patents

半導体真空回転チヤツク

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JPS60117034U
JPS60117034U JP433284U JP433284U JPS60117034U JP S60117034 U JPS60117034 U JP S60117034U JP 433284 U JP433284 U JP 433284U JP 433284 U JP433284 U JP 433284U JP S60117034 U JPS60117034 U JP S60117034U
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JP
Japan
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rotary chuck
vacuum rotary
semiconductor vacuum
vacuum
semiconductor
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Pending
Application number
JP433284U
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English (en)
Inventor
村井　芳三
章 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS60117034U publication Critical patent/JPS60117034U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の真空回転チャック周辺の断面図、第２図
は本考案を実施した真空回転チャック周辺の断面図を示
す。 なお、図に於いて、１・・・・・・真空回転チャック、
２・・・・・・真空供給孔、３・・・・・・真空吸着溝
、４・・・・・・半導体ウェハー、５・・・・・・ノズ
ル、６・・・・・・回転駆動軸、７・・・・・・滴下薬
液、８・・・・・・回転中心軸、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空チャック面の回転中心より任意の量を偏心させた位
    置に真空供給孔を設けた事を特徴とする半導体真空回転
    チャック。
JP433284U 1984-01-17 1984-01-17 半導体真空回転チヤツク Pending JPS60117034U (ja)

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JP433284U JPS60117034U (ja) 1984-01-17 1984-01-17 半導体真空回転チヤツク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP433284U JPS60117034U (ja) 1984-01-17 1984-01-17 半導体真空回転チヤツク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60117034U true JPS60117034U (ja) 1985-08-07

Family

ID=30479798

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP433284U Pending JPS60117034U (ja) 1984-01-17 1984-01-17 半導体真空回転チヤツク

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JP (1) JPS60117034U (ja)

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