JPS6192533U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のスピンチヤツクの一実施例を
示す図であり、同図ａは斜視図、同図ｂは平面図
、同図ｃは底面図、同図ｄは同図ｂのＸ_１−Ｘ_１
拡大断面図及び同図ｅは同図ｂのＹ_１−Ｙ_１拡大
断面図である。第２図は本考案のスピンチヤツク
の使用例を示す図であり、同図ａは平面図、同図
ｂは底面図及び同図ｃは同図ａのＹ_１−Ｙ_１拡大
部分断面図である。第３図ａ及びｂは、それぞれ
従来のスピンチヤツクを示す平面図及び同図ａの
Ｘ_３−Ｘ_３拡大断面図であり、第３図ｃは基板の
一例を示す平面図である。 ３……嵌合部、４……回転軸受部、８……上孔
、９……基板保持部、１１……ガラスウエハ、９
１……基板載置面、９２……爪、９３……溝、９
４……吸引穴、９５……固設面、９６……中央穴
、９７……通孔、９８……ネジ、９２１……滑動
面、９２２……予備保持面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基板保持部と回転軸受部とからなり、吸着によ
   つて基板を保持するスピンチヤツクにおいて、前
   記基板保持部が、基板を載置する基板載置面と、
   前記基板載置面に該基板載置面の周辺に沿つて設
   けられた溝と、前記溝の底面に設けられた吸引穴
   と、前記基板載置面に対向する前記回転軸受部を
   固設する固設面と、前記固設面に設けられた中央
   穴と、前記吸引穴と前記中央穴とを連結する通孔
   と、滑動部と前記基板載置面から一部突出する予
   備保持部とを有する前記固設面に取り付けられる
   予備保持手段とからなることを特徴とするスピン
   チヤツク。