JPS639129U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS639129U JPS639129U JP10137786U JP10137786U JPS639129U JP S639129 U JPS639129 U JP S639129U JP 10137786 U JP10137786 U JP 10137786U JP 10137786 U JP10137786 U JP 10137786U JP S639129 U JPS639129 U JP S639129U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- resist
- spinner head
- center
- coating apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の装置でコーテイ
ングを行つた状態を示す断面図、第２図はこの考
案の一実施例の装置を示す断面図、第３図は従来
の装置を示す断面図、第４図は中心に歪吸収用穴
を有する半導体ウエハを示す平面図である。 １……スピナーカツプ、２……半導体ウエハ、
３……スピナーヘツド、４……モータ、５……レ
ジスト、６……ノズル、７……歪吸収用穴、８…
…突部。
ングを行つた状態を示す断面図、第２図はこの考
案の一実施例の装置を示す断面図、第３図は従来
の装置を示す断面図、第４図は中心に歪吸収用穴
を有する半導体ウエハを示す平面図である。 １……スピナーカツプ、２……半導体ウエハ、
３……スピナーヘツド、４……モータ、５……レ
ジスト、６……ノズル、７……歪吸収用穴、８…
…突部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 カツプ状外囲器中心のスピナーヘツド上に半導
体ウエハを吸着保持し、その半導体ウエハ面にノ
ズルよりレジストを滴下させると同時に、前記ス
ピナーヘツドにより半導体ウエハを回転させるこ
とにより、前記レジストを半導体ウエハ上の全面
に塗布するようにした半導体ウエハのレジストコ
ーテイング装置において、 中心に歪吸収用穴を有する半導体ウエハの前記
歪吸収用穴に嵌合される先端円錐状の突部を前記
スピナーヘツドの中心に設け、 この突部の真上に前記レジスト滴下用のノズル
が位置することを特徴とする半導体ウエハのレジ
ストコーテイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10137786U JPS639129U (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10137786U JPS639129U (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639129U true JPS639129U (ja) | 1988-01-21 |
Family
ID=30972054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10137786U Pending JPS639129U (ja) | 1986-07-03 | 1986-07-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639129U (ja) |
-
1986
- 1986-07-03 JP JP10137786U patent/JPS639129U/ja active Pending