JPH01160831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01160831U JPH01160831U JP4960188U JP4960188U JPH01160831U JP H01160831 U JPH01160831 U JP H01160831U JP 4960188 U JP4960188 U JP 4960188U JP 4960188 U JP4960188 U JP 4960188U JP H01160831 U JPH01160831 U JP H01160831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spin chuck
- back surface
- organic solvent
- cleaning brush
- attracts
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示すスピンチヤツ
ク部の斜視図である。 1…スピンチヤツク、2…洗浄ブラシ、3…有
機溶剤用ノズル。
ク部の斜視図である。 1…スピンチヤツク、2…洗浄ブラシ、3…有
機溶剤用ノズル。
Claims (1)
- 半導体基板の裏面を吸着し回転するスピンチヤ
ツクと、前記スピンチヤツクの裏面に有機溶剤を
流しつつ洗浄するスピンチヤツクに対し着脱自在
の洗浄ブラシとから成るスピンチヤツク機構を有
することを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4960188U JPH01160831U (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4960188U JPH01160831U (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01160831U true JPH01160831U (ja) | 1989-11-08 |
Family
ID=31275691
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4960188U Pending JPH01160831U (ja) | 1988-04-12 | 1988-04-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01160831U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069336A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、吸着保持部の洗浄方法および記憶媒体 |
-
1988
- 1988-04-12 JP JP4960188U patent/JPH01160831U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069336A (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、吸着保持部の洗浄方法および記憶媒体 |