JPS6343425U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6343425U JPS6343425U JP13485586U JP13485586U JPS6343425U JP S6343425 U JPS6343425 U JP S6343425U JP 13485586 U JP13485586 U JP 13485586U JP 13485586 U JP13485586 U JP 13485586U JP S6343425 U JPS6343425 U JP S6343425U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waste liquid
- liquid pipe
- resin
- semiconductor manufacturing
- film tube
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
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- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 2
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の半導体製造装置の一実施例
の断面図、第２図は同上半導体製造装置における
廃液管の要部の透視図、第３図は同上半導体製造
装置におけるフイルムチユーブの斜視図、第４図
は同上フイルムチユーブの要部の断面図、第５図
は従来のスピンコータ装置の斜視図である。 １１……基板、１２……チヤツク、１３……モ
ータ、１４……カツプ、１５……排気管、１６…
…廃液管、１７……フイルムチユーブ、１８……
廃液容器、１９……引出し具、１９ａ……把手、
２０……切込み。
の断面図、第２図は同上半導体製造装置における
廃液管の要部の透視図、第３図は同上半導体製造
装置におけるフイルムチユーブの斜視図、第４図
は同上フイルムチユーブの要部の断面図、第５図
は従来のスピンコータ装置の斜視図である。 １１……基板、１２……チヤツク、１３……モ
ータ、１４……カツプ、１５……排気管、１６…
…廃液管、１７……フイルムチユーブ、１８……
廃液容器、１９……引出し具、１９ａ……把手、
２０……切込み。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) チヤツクに吸着した基板を回転させて感光
性樹脂および樹脂を塗布させる回転塗布装置のカ
ツプに連通する廃液管と、 (b) この廃液管内に挿入され外周面に切込みを
有するとともに廃液管内の清掃時に引き出す引出
し具を有するフイルムチユーブと、 よりなる半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13485586U JPS6343425U (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13485586U JPS6343425U (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6343425U true JPS6343425U (ja) | 1988-03-23 |
Family
ID=31036493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13485586U Pending JPS6343425U (ja) | 1986-09-04 | 1986-09-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6343425U (ja) |
-
1986
- 1986-09-04 JP JP13485586U patent/JPS6343425U/ja active Pending