JPH0215863U - - Google Patents

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JPH0215863U
JPH0215863U JP9389688U JP9389688U JPH0215863U JP H0215863 U JPH0215863 U JP H0215863U JP 9389688 U JP9389688 U JP 9389688U JP 9389688 U JP9389688 U JP 9389688U JP H0215863 U JPH0215863 U JP H0215863U
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holder
polishing
semiconductor substrate
water
plate
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JP9389688U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の研磨ホルダの一実施例を示す
断面図、第2図は研磨終了時に水を供給した状態
を示す断面図、第3図は本考案の研磨ホルダの環
の形状の例を示す断面図、第4図は本考案の研磨
ホルダの別の環の形状の例を示す断面図、第5図
は本考案の研磨ホルダを用いた研磨装置の一実施
例を示す一部断面正面図である。 1…基板、2…ホルダ、3…保持部、4…アー
ム、5…本体、6…研磨皿、7…主軸、8…エツ
チヤントタンク、9…弁、10…ノズル、11…
水タンク、12…弁、13…スリツプリング、1
4…貫通穴、15…環、16…環、17…環。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転する研磨皿に対向させて半導体基板を保持
    するホルダを設け、研磨皿上に供給された水溶性
    エツチヤントにより前記基板を加工する研磨装置
    に用いる該基板保持用の研磨ホルダにおいて、前
    記ホルダ下面に水を供給する機構と、ホルダ外周
    部に上下可動に保持された環を備えることを特徴
    とする研磨ホルダ。
JP9389688U 1988-07-14 1988-07-14 Pending JPH0215863U (ja)

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JP9389688U JPH0215863U (ja) 1988-07-14 1988-07-14

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JPH0215863U true JPH0215863U (ja) 1990-01-31

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