JPH03109330U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03109330U JPH03109330U JP1739690U JP1739690U JPH03109330U JP H03109330 U JPH03109330 U JP H03109330U JP 1739690 U JP1739690 U JP 1739690U JP 1739690 U JP1739690 U JP 1739690U JP H03109330 U JPH03109330 U JP H03109330U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- cleaning
- cleaning tank
- conical part
- carrier jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の半導体ウエハー洗浄装置の一
実施例を示す断面説明図、第２図は従来の半導体
ウエハー洗浄装置の一例を示す断面説明図、第３
図は第２図に示す従来の半導体ウエハー洗浄装置
の上面説明図である。 １……洗浄槽、１ａ……円錐状部、１ｂ……胴
体部、２……整流板、３……キヤリア治具、４…
…ウエハー、５……洗浄液供給口、１１……洗浄
槽、１２……洗浄液供給管、１３……半導体ウエ
ハー、１４……キヤリア治具、１５……整流板。
実施例を示す断面説明図、第２図は従来の半導体
ウエハー洗浄装置の一例を示す断面説明図、第３
図は第２図に示す従来の半導体ウエハー洗浄装置
の上面説明図である。 １……洗浄槽、１ａ……円錐状部、１ｂ……胴
体部、２……整流板、３……キヤリア治具、４…
…ウエハー、５……洗浄液供給口、１１……洗浄
槽、１２……洗浄液供給管、１３……半導体ウエ
ハー、１４……キヤリア治具、１５……整流板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ キヤリア治具に搭載された複数の半導体ウエ
ハーをキヤリア治具ごと洗浄槽内に設置し、洗浄
槽内の上面から洗浄液をオーバーフローさせて、
半導体ウエハー表面に付着した異物粒子を除去す
る半導体ウエハー洗浄装置において、 上記洗浄槽は、小口径側が洗浄液供給管に接続
されている円錐状部と、前記円錐状部の大口径側
に接続されている円筒状の胴体部とから構成され
ることを特徴とする半導体ウエハー洗浄装置。 ２ 上記洗浄槽内部に整流板が設けられ、上記整
流板上に半導体ウエハーを搭載したキヤリア治具
が配置されることを特徴とする請求項１記載の半
導体ウエハー洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1739690U JPH03109330U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1739690U JPH03109330U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109330U true JPH03109330U (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=31520608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1739690U Pending JPH03109330U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03109330U (ja) |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP1739690U patent/JPH03109330U/ja active Pending