JPS61125172U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61125172U JPS61125172U JP971985U JP971985U JPS61125172U JP S61125172 U JPS61125172 U JP S61125172U JP 971985 U JP971985 U JP 971985U JP 971985 U JP971985 U JP 971985U JP S61125172 U JPS61125172 U JP S61125172U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry etching
- semiconductor wafers
- etching chamber
- chamber
- transfer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す概略平面図、
第2図は第1図の装置における水洗装置の拡大側
断面図である。第3図は従来のドライエツチング
工程における半導体製造装置の概略平面図、第4
図は第3図の装置の半導体ウエーハ搬送経路を説
明するための概略側面図である。 1……半導体ウエーハ、4……ドライエツチン
グ室、5……トランスフアー室、5a……ローデ
イング部、5b……アンローデイング部、9……
出口、21……水洗装置。
第2図は第1図の装置における水洗装置の拡大側
断面図である。第3図は従来のドライエツチング
工程における半導体製造装置の概略平面図、第4
図は第3図の装置の半導体ウエーハ搬送経路を説
明するための概略側面図である。 1……半導体ウエーハ、4……ドライエツチン
グ室、5……トランスフアー室、5a……ローデ
イング部、5b……アンローデイング部、9……
出口、21……水洗装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハのドライエツチング室と、 ドライエツチング室に直結されると共にドライ
エツチング室に外部より搬入された半導体ウエー
ハを供給するローデイング部及びドライエツチン
グ室よりエツチング済み半導体ウエーハを搬出す
るアンローデイング部とを有するトランスフアー
室と、 トランスフアー室のアンローデイング部の出口
に配置されて、アンローデイング部からの半導体
ウエーハを水洗して外部に搬出する水洗装置とを
具備したことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP971985U JPS61125172U (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP971985U JPS61125172U (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61125172U true JPS61125172U (ja) | 1986-08-06 |
Family
ID=30490207
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP971985U Pending JPS61125172U (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61125172U (ja) |
-
1985
- 1985-01-25 JP JP971985U patent/JPS61125172U/ja active Pending
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