JPS6252929U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6252929U JPS6252929U JP14469585U JP14469585U JPS6252929U JP S6252929 U JPS6252929 U JP S6252929U JP 14469585 U JP14469585 U JP 14469585U JP 14469585 U JP14469585 U JP 14469585U JP S6252929 U JPS6252929 U JP S6252929U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- wafers
- wafer
- shape memory
- memory alloy
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 7
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
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- 238000001505 atmospheric-pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案一実施例の要部であるウエハが
載置されるトレーを示す斜視図、第２図イ、ロは
本考案の作動状態を説明するための図、第３図は
第１図のトレーが適用される連続式常圧ＣＶＤ装
置を示す図、第４図は従来使用されているベルヌ
ーイチヤツクを示す図である。 １０……トレー、１１……形状記憶合金、Ｗ…
…ウエハ、Ｐ１……ロードポジシヨン、Ｐ２……
アンロードポジシヨン。
載置されるトレーを示す斜視図、第２図イ、ロは
本考案の作動状態を説明するための図、第３図は
第１図のトレーが適用される連続式常圧ＣＶＤ装
置を示す図、第４図は従来使用されているベルヌ
ーイチヤツクを示す図である。 １０……トレー、１１……形状記憶合金、Ｗ…
…ウエハ、Ｐ１……ロードポジシヨン、Ｐ２……
アンロードポジシヨン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 トレー上にウエハを供給するロードポジシヨン
とトレー上からウエハを取出すアンロードポジシ
ヨンとの間において、トレーを移動させつつその
上のウエハに気相成長を行うものにおいて、 前記トレー上面のウエハが載置される部分に成
長温度以下の温度で変形を起こす形状記憶合金を
設けて、アンロードポジシヨンで形状記憶合金の
変形によつてウエハをトレー上面から浮き上げる
ことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14469585U JPS6252929U (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14469585U JPS6252929U (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6252929U true JPS6252929U (ja) | 1987-04-02 |
Family
ID=31055537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14469585U Pending JPS6252929U (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6252929U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0247029U (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | ||
| JPH0350324U (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-16 |
-
1985
- 1985-09-21 JP JP14469585U patent/JPS6252929U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0247029U (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | ||
| JPH0350324U (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-16 |