JPS63142829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63142829U JPS63142829U JP3632987U JP3632987U JPS63142829U JP S63142829 U JPS63142829 U JP S63142829U JP 3632987 U JP3632987 U JP 3632987U JP 3632987 U JP3632987 U JP 3632987U JP S63142829 U JPS63142829 U JP S63142829U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- electrodes
- chamber
- groove
- exhaust groove
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案排気構造の一実施例の要部を示
す説明用斜視図、第２図はドライプロセス半導体
製造装置のチヤンバの本考案排気構造の一実施例
を示す簡略断面図、第３図はドライプロセス半導
体製造装置のチヤンバの従来排気構造の一例を示
す簡略断面図である。 １……チヤンバ、２，２……一対の電極、３…
…ウエーハー入出用開口部、４……ウエーハー、
５……排気溝、６……排気管、７……排気用蓋、
８……排気孔。
す説明用斜視図、第２図はドライプロセス半導体
製造装置のチヤンバの本考案排気構造の一実施例
を示す簡略断面図、第３図はドライプロセス半導
体製造装置のチヤンバの従来排気構造の一例を示
す簡略断面図である。 １……チヤンバ、２，２……一対の電極、３…
…ウエーハー入出用開口部、４……ウエーハー、
５……排気溝、６……排気管、７……排気用蓋、
８……排気孔。
Claims (1)
- チヤンバ１内に一対の電極２，２を配置し、こ
れらの電極２，２の周囲に対するチヤンバ部分に
排気溝５を設け、この排気溝５に排気管６を連通
せしめた装置において、前記排気溝５に多数の排
気孔８を有する排気用蓋７を被覆せしめてなるド
ライプロセス半導体製造装置のチヤンバの排気構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3632987U JPS63142829U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3632987U JPS63142829U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63142829U true JPS63142829U (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=30846632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3632987U Pending JPS63142829U (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63142829U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000030894A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理方法および装置 |
| JP2013144838A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置用の排気システム |
-
1987
- 1987-03-11 JP JP3632987U patent/JPS63142829U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000030894A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Kokusai Electric Co Ltd | プラズマ処理方法および装置 |
| JP2013144838A (ja) * | 2012-01-16 | 2013-07-25 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置用の排気システム |