JPS62178531U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62178531U JPS62178531U JP6663086U JP6663086U JPS62178531U JP S62178531 U JPS62178531 U JP S62178531U JP 6663086 U JP6663086 U JP 6663086U JP 6663086 U JP6663086 U JP 6663086U JP S62178531 U JPS62178531 U JP S62178531U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- semiconductor manufacturing
- view
- insulating film
- center hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す要部平面図、
第２図は同全体装置図、第３図は第２図の要部拡
大断面図、第４図はウエハホルダの平面図、第５
図は本考案により製造されたウエハの平面図、第
６図は従来例を示す要部拡大断面図である。 ２……ウエハ、７……絶縁膜、９……ウエハホ
ルダ、１０……蓋体、１２……中心孔。
第２図は同全体装置図、第３図は第２図の要部拡
大断面図、第４図はウエハホルダの平面図、第５
図は本考案により製造されたウエハの平面図、第
６図は従来例を示す要部拡大断面図である。 ２……ウエハ、７……絶縁膜、９……ウエハホ
ルダ、１０……蓋体、１２……中心孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハに絶縁膜を形成するための半導体製造装
置であつて、 ウエハホルダに支持された上記ウエハ上に載置
される蓋体に、中心孔を設けたことを特徴とする
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6663086U JPH0322912Y2 (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6663086U JPH0322912Y2 (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62178531U true JPS62178531U (ja) | 1987-11-12 |
| JPH0322912Y2 JPH0322912Y2 (ja) | 1991-05-20 |
Family
ID=30904815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6663086U Expired JPH0322912Y2 (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322912Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-04-30 JP JP6663086U patent/JPH0322912Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322912Y2 (ja) | 1991-05-20 |