JPS6398789U - - Google Patents

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JPS6398789U
JPS6398789U JP19420786U JP19420786U JPS6398789U JP S6398789 U JPS6398789 U JP S6398789U JP 19420786 U JP19420786 U JP 19420786U JP 19420786 U JP19420786 U JP 19420786U JP S6398789 U JPS6398789 U JP S6398789U
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る物品洗浄装置の一実施例
を示す断面図、第2図は第1図A部の拡大図、第
3図は従来の物品洗浄装置例を示す断面図である
。 1……シリコンウエハ、2……整列治具、15
……物品洗浄槽、16……オーバーフロー室、1
7……整流板、18……下部純水供給口、19…
…上部純水供給口、20……超音波振動子、21
……オーバーフロー堰、22……弁。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 上部にオーバーフロー堰21とオーバーフロー
    室16とから成るオーバーフロー部を備えた物品
    洗浄槽15と、オーバーフロー部に対向した面の
    液面に接する位置にオーバーフロー部に向けて超
    音波を発するための超音波振動子20と、オーバ
    ーフロー部に向けて液流速を高めるための上部洗
    浄液供給口19とから成り、超音波により被洗浄
    物品から剥離した異物を表層液流により槽外に排
    出することを特徴とする物品洗浄装置。
JP19420786U 1986-12-17 1986-12-17 Pending JPS6398789U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017029954A (ja) * 2015-08-05 2017-02-09 Kyb株式会社 移液分離装置、洗浄装置および洗浄方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017029954A (ja) * 2015-08-05 2017-02-09 Kyb株式会社 移液分離装置、洗浄装置および洗浄方法
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