JPS6398789U - - Google Patents
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- JPS6398789U JPS6398789U JP19420786U JP19420786U JPS6398789U JP S6398789 U JPS6398789 U JP S6398789U JP 19420786 U JP19420786 U JP 19420786U JP 19420786 U JP19420786 U JP 19420786U JP S6398789 U JPS6398789 U JP S6398789U
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- JP
- Japan
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- overflow
- overflow part
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- ultrasonic waves
- tank
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案に係る物品洗浄装置の一実施例
を示す断面図、第２図は第１図Ａ部の拡大図、第
３図は従来の物品洗浄装置例を示す断面図である
。 １……シリコンウエハ、２……整列治具、１５
……物品洗浄槽、１６……オーバーフロー室、１
７……整流板、１８……下部純水供給口、１９…
…上部純水供給口、２０……超音波振動子、２１
……オーバーフロー堰、２２……弁。
を示す断面図、第２図は第１図Ａ部の拡大図、第
３図は従来の物品洗浄装置例を示す断面図である
。 １……シリコンウエハ、２……整列治具、１５
……物品洗浄槽、１６……オーバーフロー室、１
７……整流板、１８……下部純水供給口、１９…
…上部純水供給口、２０……超音波振動子、２１
……オーバーフロー堰、２２……弁。
Claims (1)
- 上部にオーバーフロー堰２１とオーバーフロー
室１６とから成るオーバーフロー部を備えた物品
洗浄槽１５と、オーバーフロー部に対向した面の
液面に接する位置にオーバーフロー部に向けて超
音波を発するための超音波振動子２０と、オーバ
ーフロー部に向けて液流速を高めるための上部洗
浄液供給口１９とから成り、超音波により被洗浄
物品から剥離した異物を表層液流により槽外に排
出することを特徴とする物品洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19420786U JPS6398789U (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19420786U JPS6398789U (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6398789U true JPS6398789U (ja) | 1988-06-27 |
Family
ID=31150964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19420786U Pending JPS6398789U (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6398789U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017022352A1 (ja) * | 2015-08-05 | 2017-02-09 | Ｋｙｂ株式会社 | 移液分離装置、洗浄装置および洗浄方法 |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP19420786U patent/JPS6398789U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017022352A1 (ja) * | 2015-08-05 | 2017-02-09 | Ｋｙｂ株式会社 | 移液分離装置、洗浄装置および洗浄方法 |
| JP2017029954A (ja) * | 2015-08-05 | 2017-02-09 | Ｋｙｂ株式会社 | 移液分離装置、洗浄装置および洗浄方法 |
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