JPS6365221U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6365221U JPS6365221U JP15946786U JP15946786U JPS6365221U JP S6365221 U JPS6365221 U JP S6365221U JP 15946786 U JP15946786 U JP 15946786U JP 15946786 U JP15946786 U JP 15946786U JP S6365221 U JPS6365221 U JP S6365221U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- substrate
- etched
- storage tank
- inclined nozzle
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第1図は本考案のエツチング装置の一実施例の
概略全体構成図、第2図a,bは第1図の傾斜ノ
ズルの詳細図であり、第2図aは断面図、第2図
bは吐出口部分図である。 1……エツチング液、2……Si半導体基板、
3……貯留槽、4……ポンプ、5……温調器、6
……傾斜ノズル、7……リニアモータ、8……回
転体。
概略全体構成図、第2図a,bは第1図の傾斜ノ
ズルの詳細図であり、第2図aは断面図、第2図
bは吐出口部分図である。 1……エツチング液、2……Si半導体基板、
3……貯留槽、4……ポンプ、5……温調器、6
……傾斜ノズル、7……リニアモータ、8……回
転体。
Claims (1)
- エツチング液を被エツチング基板の片面に噴流
させてエツチングを行うエツチング装置において
、前記エツチング液の貯留槽と、この貯留槽の水
位を一定に流量制御するポンプと、エツチング液
の温度制御を行う温調器と、前記貯留槽から流出
するエツチング液の流路を複数に分岐せしめ、こ
れを一体形成し、前記被エツチング基板のエツチ
ング面に対していずれの吐出口も等距離で、且つ
、所定の角度、例えば45度に傾斜せしめたもの
から形成される傾斜ノズルと、この傾斜ノズルを
前記被エツチング基板に対して平行移動させる移
動機構と、前記被エツチング基板を支持するター
ンテーブルを有する回転体のそれぞれから構成さ
れることを特徴とするエツチング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15946786U JPH029548Y2 (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15946786U JPH029548Y2 (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6365221U true JPS6365221U (ja) | 1988-04-30 |
JPH029548Y2 JPH029548Y2 (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=31083929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15946786U Expired JPH029548Y2 (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH029548Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-10-20 JP JP15946786U patent/JPH029548Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH029548Y2 (ja) | 1990-03-09 |