JPS62199947U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62199947U JPS62199947U JP8951986U JP8951986U JPS62199947U JP S62199947 U JPS62199947 U JP S62199947U JP 8951986 U JP8951986 U JP 8951986U JP 8951986 U JP8951986 U JP 8951986U JP S62199947 U JPS62199947 U JP S62199947U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- chemical
- return port
- circulation system
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
その平面図、第３図は従来の薬液循環システムを
有するエツチング槽の一例である。 １……エツチング槽、２……薬液循環用ポンプ
、３……フイルター、４……薬液戻り口、５……
ウエーハ、６……ポンプ圧送による戻り口からの
薬液の流れ、７……薬液のオーバーフロー。
その平面図、第３図は従来の薬液循環システムを
有するエツチング槽の一例である。 １……エツチング槽、２……薬液循環用ポンプ
、３……フイルター、４……薬液戻り口、５……
ウエーハ、６……ポンプ圧送による戻り口からの
薬液の流れ、７……薬液のオーバーフロー。
Claims (1)
- 薬液循環システムを有するエツチング槽におい
て、槽内周囲の複数箇所に薬液の戻り口を設けた
ことを特徴とする半導体エツチング槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8951986U JPS62199947U (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8951986U JPS62199947U (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199947U true JPS62199947U (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=30948574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8951986U Pending JPS62199947U (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62199947U (ja) |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP8951986U patent/JPS62199947U/ja active Pending