JPS6447034U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6447034U JPS6447034U JP14008987U JP14008987U JPS6447034U JP S6447034 U JPS6447034 U JP S6447034U JP 14008987 U JP14008987 U JP 14008987U JP 14008987 U JP14008987 U JP 14008987U JP S6447034 U JPS6447034 U JP S6447034U
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- JP
- Japan
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- processing
- receiving tank
- liquid
- tank
- liquid receiving
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- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係る装置の構成図、
第２図は従来装置の構成図である。 ２００…薬液、２０１…処理槽、２０２…受液
槽、２１０…排出管、２１１…エアー抜き管、２
１２…供給管、２２０，２２１…制御弁、２３０
…ポンプ、２３０ａ…吸引口、２３０ｂ…吐出口
、２３１…フイルター。
第２図は従来装置の構成図である。 ２００…薬液、２０１…処理槽、２０２…受液
槽、２１０…排出管、２１１…エアー抜き管、２
１２…供給管、２２０，２２１…制御弁、２３０
…ポンプ、２３０ａ…吸引口、２３０ｂ…吐出口
、２３１…フイルター。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハ処理用の薬液を蓄えた処理槽と、 ウエハ処理後の前記薬液を溜める受液槽と、 排出管を介して前記受液槽に連結され、前記薬
液を過するフイルターとを配設し、 前記フイルターと前記処理槽とは、ポンプを有
する供給管を介して連結したことを特徴とする半
導体ウエハ洗浄薬液循環過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14008987U JPS6447034U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14008987U JPS6447034U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6447034U true JPS6447034U (ja) | 1989-03-23 |
Family
ID=31403944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14008987U Pending JPS6447034U (ja) | 1987-09-16 | 1987-09-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6447034U (ja) |
-
1987
- 1987-09-16 JP JP14008987U patent/JPS6447034U/ja active Pending