JPH01130528U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01130528U JPH01130528U JP2779288U JP2779288U JPH01130528U JP H01130528 U JPH01130528 U JP H01130528U JP 2779288 U JP2779288 U JP 2779288U JP 2779288 U JP2779288 U JP 2779288U JP H01130528 U JPH01130528 U JP H01130528U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- wet etching
- etching device
- sloped
- side wall
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第1図は本考案のウエツトエツチング装置の槽
構造の実施例1の縦断面図、第2図は本考案のウ
エツトエツチング装置の槽構造の実施例2の縦断
面図である。第3図は従来の技術を用いたウエツ
トエツチング装置の槽構造の一例の縦断面図であ
る。 1a……薬液槽内槽、1b……薬液槽外槽、2
……フイルター、3……ポンプ。
構造の実施例1の縦断面図、第2図は本考案のウ
エツトエツチング装置の槽構造の実施例2の縦断
面図である。第3図は従来の技術を用いたウエツ
トエツチング装置の槽構造の一例の縦断面図であ
る。 1a……薬液槽内槽、1b……薬液槽外槽、2
……フイルター、3……ポンプ。
Claims (1)
- ウエツトエツチング装置の循環フイルタリング
機構を伴う槽構造において、薬液槽内槽について
、槽下部から槽上部に向かつて開口面積を漸次大
きくとり、槽側壁に傾斜を持たせた薬液槽内槽を
有することを特徴とするウエツトエツチング装置
の槽構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2779288U JPH01130528U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2779288U JPH01130528U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01130528U true JPH01130528U (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=31250596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2779288U Pending JPH01130528U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01130528U (ja) |
-
1988
- 1988-03-01 JP JP2779288U patent/JPH01130528U/ja active Pending