JPH0394904U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0394904U JPH0394904U JP40390U JP40390U JPH0394904U JP H0394904 U JPH0394904 U JP H0394904U JP 40390 U JP40390 U JP 40390U JP 40390 U JP40390 U JP 40390U JP H0394904 U JPH0394904 U JP H0394904U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- separation cylinder
- storage chamber
- defoaming
- liquid storage
- chamber communicating
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Cyclones (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例の縦断面図、第2図
は従来装置の縦断面図、第3図は第2図の−
拡大断面図である。 図中、4は気泡収容室、9は分離筒、10は細
孔、11は液流入口、12は脱泡液収容室、15
は下板、17は基板を示す。
は従来装置の縦断面図、第3図は第2図の−
拡大断面図である。 図中、4は気泡収容室、9は分離筒、10は細
孔、11は液流入口、12は脱泡液収容室、15
は下板、17は基板を示す。
Claims (1)
- 接線方向の液流入口を有する分離筒と、前記分
離筒の一端に形成された細孔を介して前記分離筒
の一端内部に連通する気泡収容室と、前記分離筒
の他端内部に連通する脱泡液収容室とを備えた脱
泡装置において、前記脱泡液収容室と分離筒とを
開放可能に接続したことを特徴とする脱泡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990000403U JPH0733841Y2 (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 | 脱泡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990000403U JPH0733841Y2 (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 | 脱泡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0394904U true JPH0394904U (ja) | 1991-09-27 |
JPH0733841Y2 JPH0733841Y2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=31504352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1990000403U Expired - Lifetime JPH0733841Y2 (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 | 脱泡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0733841Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6250708A (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-05 | Canon Inc | 薄膜型光学素子およびその作製方法 |
-
1990
- 1990-01-08 JP JP1990000403U patent/JPH0733841Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6250708A (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-05 | Canon Inc | 薄膜型光学素子およびその作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0733841Y2 (ja) | 1995-08-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |