JPS61195051U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61195051U JPS61195051U JP7856885U JP7856885U JPS61195051U JP S61195051 U JPS61195051 U JP S61195051U JP 7856885 U JP7856885 U JP 7856885U JP 7856885 U JP7856885 U JP 7856885U JP S61195051 U JPS61195051 U JP S61195051U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- etching solution
- liquid level
- processing container
- semiconductor wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例を示した概略構
成図、第２図、第３図はエツチング処理容器の変
形例を示した図、第４図は従来の処理工程を示し
た図である。 １……エツチング処理容器、２……半導体基板
、４……溶液供給容器、５……ノズル、８……流
量調整弁、９……液面センサ、１０……液面制御
装置。
成図、第２図、第３図はエツチング処理容器の変
形例を示した図、第４図は従来の処理工程を示し
た図である。 １……エツチング処理容器、２……半導体基板
、４……溶液供給容器、５……ノズル、８……流
量調整弁、９……液面センサ、１０……液面制御
装置。
Claims (1)
- 半導体ウエハーが上部に載置され、エツチング
溶液が充填されるエツチング処理容器と、このエ
ツチング処理容器と連通され、エツチング溶液が
供給されるエツチング溶液供給容器と、このエツ
チング溶液供給容器の液面を検出する液面検出手
段と、この液面検出手段によつて検出された液面
の高さを前記エツチング処理容器の上部に載置さ
れた半導体ウエハーの片面とエツチング処理容器
に充填されたエツチング溶液とが接触するように
制御するエツチング溶液供給制御手段とを具備し
たことを特徴とする半導体ウエハーの片面エツチ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7856885U JPS61195051U (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7856885U JPS61195051U (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61195051U true JPS61195051U (ja) | 1986-12-04 |
Family
ID=30622660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7856885U Pending JPS61195051U (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61195051U (ja) |
-
1985
- 1985-05-28 JP JP7856885U patent/JPS61195051U/ja active Pending