JPS63172127U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63172127U JPS63172127U JP6459487U JP6459487U JPS63172127U JP S63172127 U JPS63172127 U JP S63172127U JP 6459487 U JP6459487 U JP 6459487U JP 6459487 U JP6459487 U JP 6459487U JP S63172127 U JPS63172127 U JP S63172127U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- semiconductor
- boat
- semiconductor processing
- reaction tube
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は本考案に係る半導体加工装置の一実施
例を示す断面説明図、第２図は容器内におけるガ
スの流れを示す図。第３図は他の実施例を示す説
明図、第４図は従来例を示す断面説明図である。 １……半導体ウエハ、２……容器、３……ボー
ト、１０……反応管。
例を示す断面説明図、第２図は容器内におけるガ
スの流れを示す図。第３図は他の実施例を示す説
明図、第４図は従来例を示す断面説明図である。 １……半導体ウエハ、２……容器、３……ボー
ト、１０……反応管。
Claims (1)
- ボートに半導体を装着し、前記ボートを反応管
に挿入して半導体の加工を行う半導体加工装置に
おいて、前記半導体は所定の深さを有する容器の
底部に配置され、前記容器はソースガスの流れに
対して平行な側の両側面または上面が解放された
容器であることを特徴とする半導体加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6459487U JPS63172127U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6459487U JPS63172127U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63172127U true JPS63172127U (ja) | 1988-11-09 |
Family
ID=30900893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6459487U Pending JPS63172127U (ja) | 1987-04-28 | 1987-04-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63172127U (ja) |
-
1987
- 1987-04-28 JP JP6459487U patent/JPS63172127U/ja active Pending