JPH0171441U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0171441U JPH0171441U JP1987167648U JP16764887U JPH0171441U JP H0171441 U JPH0171441 U JP H0171441U JP 1987167648 U JP1987167648 U JP 1987167648U JP 16764887 U JP16764887 U JP 16764887U JP H0171441 U JPH0171441 U JP H0171441U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- support members
- processing
- rotating
- supporting
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第1図aは本考案の実施例に係るエツチング装
置を示す縦断面図、第1図bは同じくその平面図
、第2図aは従来のエツチング装置を示す縦断面
図、第2図bは同じくその上面図である。 1;ウエハ、2;テフロンキヤリア、5;アー
ム、6;処理槽、7;基幹軸、10;テーブル、
11,12;モーター、13;噴出ノズル、14
;溝。
置を示す縦断面図、第1図bは同じくその平面図
、第2図aは従来のエツチング装置を示す縦断面
図、第2図bは同じくその上面図である。 1;ウエハ、2;テフロンキヤリア、5;アー
ム、6;処理槽、7;基幹軸、10;テーブル、
11,12;モーター、13;噴出ノズル、14
;溝。
Claims (1)
- 処理槽内に配設され半導体基板をその被処理面
の反対側の面で支持する複数個の支持部材と、こ
の支持部材を自転させる第1の駆動手段と、支持
部材を公転させる第2の駆動手段と、支持手段に
支持された半導体基板の被処理面に処理液を噴出
する複数個のノズルと、を有することを特徴とす
る半導体基板の湿式処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987167648U JPH0171441U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987167648U JPH0171441U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0171441U true JPH0171441U (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=31456133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987167648U Pending JPH0171441U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0171441U (ja) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP1987167648U patent/JPH0171441U/ja active Pending