JPH03109328U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03109328U JPH03109328U JP1697690U JP1697690U JPH03109328U JP H03109328 U JPH03109328 U JP H03109328U JP 1697690 U JP1697690 U JP 1697690U JP 1697690 U JP1697690 U JP 1697690U JP H03109328 U JPH03109328 U JP H03109328U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical liquid
- cup
- processing device
- liquid processing
- wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第1図は、この考案の一実施例を示す断面図、
第2図は、この考案の他の実施例を示す中間カツ
プの斜視図、第3図は、従来の薬液処理装置を示
す断面図である。図において1……スピンモータ
、2……スピンチヤツク、3……ウエハ、5……
下カツプ、6……上カツプ、8……中間カツプ、
10……駆動装置。なお、各図中同一符号は、同
一又は、相当部分を表す。
第2図は、この考案の他の実施例を示す中間カツ
プの斜視図、第3図は、従来の薬液処理装置を示
す断面図である。図において1……スピンモータ
、2……スピンチヤツク、3……ウエハ、5……
下カツプ、6……上カツプ、8……中間カツプ、
10……駆動装置。なお、各図中同一符号は、同
一又は、相当部分を表す。
Claims (1)
- ウハエをスピンチヤツクに載置して上面に薬液
を滴下し、高速回転する薬液処理装置において、
薬液の飛散を防止する上カツプと下カツプの中間
カツツプを設けた事を特徴とする薬液処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1697690U JPH03109328U (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1697690U JPH03109328U (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03109328U true JPH03109328U (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=31520212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1697690U Pending JPH03109328U (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03109328U (ja) |
-
1990
- 1990-02-21 JP JP1697690U patent/JPH03109328U/ja active Pending