JPS63100825U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63100825U JPS63100825U JP19563886U JP19563886U JPS63100825U JP S63100825 U JPS63100825 U JP S63100825U JP 19563886 U JP19563886 U JP 19563886U JP 19563886 U JP19563886 U JP 19563886U JP S63100825 U JPS63100825 U JP S63100825U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- wafer
- semiconductor
- integrated circuit
- resist coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るレジスト塗布
部を示す概略図であつて、図ａは平面図、図ｂは
側面図である。第２図は本考案の他の実施例に係
るレジスト塗布部の側面図である。第３図は従来
の集積回路製造装置のレジスト塗布部の概要を示
す側面図である。 １……レジスト塗布台、２……レジスト塗布口
、３，３ａ，３ｂ……吸引装置の吸引口、５……
半導体ウエーハ。
部を示す概略図であつて、図ａは平面図、図ｂは
側面図である。第２図は本考案の他の実施例に係
るレジスト塗布部の側面図である。第３図は従来
の集積回路製造装置のレジスト塗布部の概要を示
す側面図である。 １……レジスト塗布台、２……レジスト塗布口
、３，３ａ，３ｂ……吸引装置の吸引口、５……
半導体ウエーハ。
Claims (1)
- レジスト塗布台の上に半導体ウエーハを固定し
、前記ウエーハを回転させ、この回転するウエー
ハ上にレジスト塗布口からレジストを排出し前記
ウエーハにレジストを塗布することを含む半導体
集積回路の製造装置において、前記レジスト塗布
台に固定した半導体ウエーハのレジスト塗布面の
ゴミを除去するための吸引口が、前記半導体ウエ
ーハ上に設けられていることを特徴とする半導体
集積回路の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19563886U JPS63100825U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19563886U JPS63100825U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63100825U true JPS63100825U (ja) | 1988-06-30 |
Family
ID=31153706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19563886U Pending JPS63100825U (ja) | 1986-12-18 | 1986-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63100825U (ja) |
-
1986
- 1986-12-18 JP JP19563886U patent/JPS63100825U/ja active Pending
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