JPS5853149U - ウエハ搬送装置 - Google Patents

ウエハ搬送装置

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JPS5853149U
JPS5853149U JP14785481U JP14785481U JPS5853149U JP S5853149 U JPS5853149 U JP S5853149U JP 14785481 U JP14785481 U JP 14785481U JP 14785481 U JP14785481 U JP 14785481U JP S5853149 U JPS5853149 U JP S5853149U
Authority
JP
Japan
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wafer
transfer device
wafer transfer
reference line
suction table
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JP14785481U
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JPS6141233Y2 (ja
Inventor
永田　兼俊
Original Assignee
株式会社　東京精密
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
一第１図はウェハの形状を表わす平面図、第２図は本発
明の平面図、第３図は第２図の■−■線断面図。 １・・・・・・ウェハ、２・・・・・・基準線、５・・
・・・・プリアライメント装置、７・・・・・・・ウェ
ハ吸着装置、９・・・・・・吸着テーブル、１４・・・
・・・モータ、１５・・・・・・回転軸、１７・・・・
・・ノズル部、１Ｂ・・・・・・円錐状吸着板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハの基準線による位置決め位置より、吸着テーブル
    にウェハを搬送するウェハ吸着装置に指令により所定角
    度回転するモータを連結し、吸着テーブルにウェハを搬
    送する間にウエノ＼の基準線を指定する位置方向とする
    ウェハ搬送装置。
JP14785481U 1981-10-05 1981-10-05 ウエハ搬送装置 Granted JPS5853149U (ja)

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JP14785481U JPS5853149U (ja) 1981-10-05 1981-10-05 ウエハ搬送装置

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JP14785481U JPS5853149U (ja) 1981-10-05 1981-10-05 ウエハ搬送装置

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Publication Number Publication Date
JPS5853149U true JPS5853149U (ja) 1983-04-11
JPS6141233Y2 JPS6141233Y2 (ja) 1986-11-25

Family

ID=29940695

Family Applications (1)

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JP (1) JPS5853149U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63132444A (ja) * 1986-11-21 1988-06-04 Nissin Electric Co Ltd ウエハハンドリング装置
JP2015153860A (ja) * 2014-02-13 2015-08-24 東京エレクトロン株式会社 プローバ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63132444A (ja) * 1986-11-21 1988-06-04 Nissin Electric Co Ltd ウエハハンドリング装置
JP2015153860A (ja) * 2014-02-13 2015-08-24 東京エレクトロン株式会社 プローバ

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Publication number Publication date
JPS6141233Y2 (ja) 1986-11-25

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