JPS60130238U - ウエハ移し換え用微動移動及び回転装置 - Google Patents
ウエハ移し換え用微動移動及び回転装置Info
- Publication number
- JPS60130238U JPS60130238U JP555484U JP555484U JPS60130238U JP S60130238 U JPS60130238 U JP S60130238U JP 555484 U JP555484 U JP 555484U JP 555484 U JP555484 U JP 555484U JP S60130238 U JPS60130238 U JP S60130238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine movement
- rotation device
- wafer transfer
- rotating plate
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
−第１図〜第３図は本考案の実施例を示す図で第１図は
平面図、第２図は、側面図、第３図はＩＩ［−■線断面
図、第４図、第５図はウェハ移動用突き上げ装置を示す
図で第４図はその全体を示す斜視図、第５図は、第４図
の要部拡大図である。 １・・・回転板、２・・・ウェハ突き上げ用穴。
平面図、第２図は、側面図、第３図はＩＩ［−■線断面
図、第４図、第５図はウェハ移動用突き上げ装置を示す
図で第４図はその全体を示す斜視図、第５図は、第４図
の要部拡大図である。 １・・・回転板、２・・・ウェハ突き上げ用穴。
Claims (1)
- ウェハの突き上げ用穴を形成した回転板をフレームに回
動自在に設け、該フレームに前記回転板を回動せしめる
装置と、前記回転板を水平に移動−せしめる装置とを設
けたウェハ移し換え用微動移動及び回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP555484U JPS60130238U (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | ウエハ移し換え用微動移動及び回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP555484U JPS60130238U (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | ウエハ移し換え用微動移動及び回転装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60130238U true JPS60130238U (ja) | 1985-08-31 |
| JPH041150Y2 JPH041150Y2 (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=30482166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP555484U Granted JPS60130238U (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | ウエハ移し換え用微動移動及び回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60130238U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01251633A (ja) * | 1987-12-07 | 1989-10-06 | Tel Sagami Ltd | ウエハ移替え装置 |
| JPH06163670A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置における基板受け渡し装置 |
-
1984
- 1984-01-19 JP JP555484U patent/JPS60130238U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01251633A (ja) * | 1987-12-07 | 1989-10-06 | Tel Sagami Ltd | ウエハ移替え装置 |
| JPH06163670A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-06-10 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置における基板受け渡し装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH041150Y2 (ja) | 1992-01-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60130238U (ja) | ウエハ移し換え用微動移動及び回転装置 | |
| JPS6044955U (ja) | コンクリ−トモルタル用走行器 | |
| JPS5910185U (ja) | カセツトテ−プ | |
| JPS58153782U (ja) | パイプ支持ブラケツト装置 | |
| JPS58121726U (ja) | 傾斜移送装置 | |
| JPS60109327U (ja) | 半導体用イオン注入装置の半導体ウエ−ハ支持機構 | |
| JPS5819961U (ja) | カツプキヤリヤ− | |
| JPS6129633U (ja) | 縦長座板が上下に運動する構造の椅子 | |
| JPS592703U (ja) | ごみ箱 | |
| JPS60125055U (ja) | 銅張積層板の整面装置 | |
| JPS58150868U (ja) | 自動スクリ−ン印刷機に於ける印刷ステ−ジ | |
| JPS5858078U (ja) | ゲ−トボ−ル練習機のボ−ル受枠 | |
| JPS6083617U (ja) | パツプ剤 | |
| JPS60116234U (ja) | イオン注入用半導体基板保持装置 | |
| JPS6061887U (ja) | 小型スピ−カ− | |
| JPS58130566U (ja) | 扉部の打ち掛け取付け構造 | |
| JPS5924451U (ja) | 足かけにすべり止めをつけたスコツプ | |
| JPS6098698U (ja) | パレツト保持装置 | |
| JPS58193348U (ja) | ピンチロ−ラの調整機構 | |
| JPS60129131U (ja) | ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア | |
| JPS5983808U (ja) | 搬送装置 | |
| JPS5987138U (ja) | ウエハ整列治具 | |
| JPS59149647U (ja) | 太陽電池セル配線治具 | |
| JPS59107846U (ja) | 穀粒袋の支持装置 | |
| JPS5843602U (ja) | キャプスタン支持装置 |