JPH041150Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、ウエハ移し換え用微動移動及び回
転装置に関するものである。

ウエハは、多数の製造工程を経て、IC、LSI、
超LSIなどの半導体装置に製造されるが、これら
の工程中、熱処理などの関係上、キヤリヤから石
英ボートにウエハを移し換えるときウエハを反応
炉に対して表向き又は裏向きに任意に設定した
り、キヤリヤ内の不足ウエハ枚数を充足して、石
英ボートに間欠なくウエハを移し換える必要があ
る。

従来、この作業は、ピンセツトを用いて手作業
で行なつているが、時間がかかる上非能率的で更
にはウエハを汚染あるいは破損するおそれがあ
る。

本考案の目的は、能率的にキヤリヤ内のウエハ
を所望の状態に位置せしめることである。

本考案は、ウエハ用キヤリヤが載置される回転
板にウエハの突き上げ用穴を形成し、該穴の周辺
に前記キヤリヤを載置する支持部を形成し、該回
転板をフレームに回動自在に設け、該フレームに
前記回転板を回動せしめる装置と、前記回転板を
水平に移動せしめる装置とを設けたウエハ移し換
え用微動移動及び回転装置である。

本考案の実施例を添附図面により説明する。回
転板、例えば円板１の中央部に形成したウエハ突
き上げ用穴２にキヤリヤ３をセツトし、ジグシリ
ンダ４を駆動させてキヤリヤクランプ５を移動
し、キヤリヤ３を固定せしめる。

次に、この円板１を水平移動又は回転せしめる
が、この水平移動機構を第１図の側面図である第
２図により説明すると共に回転機構を第１図の
−線断面図により説明する。

第２図において６は、フレームで、このフレー
ム６に回動自在の円板１を設け、かつ該フレーム
６を支持台７に移動可能に設ける。この支持台７
に、ガイドジヤフト８を固定し、該シヤフト８に
ベアリング９を嵌合し、ベアリング９の上部をフ
レーム６に固着すると共に、その下部にナツト１
０を固着する。このナツト１０は、支持台７に設
けたネジ１１に螺合させ、ネジ１１の回転用モー
タ１３とエンコーダ１２に接続する。

第３図において、１４は、円板１に固定した内
歯車で、この内歯車１４は、これに噛み合わされ
た外歯車１５の駆動により180°回転する外歯車１
５は図示しない駆動装置例えば、ACモータによ
り駆動し、このモータは、光センサにより始動又
は停止する。１６は、ウエハ移し換え用突き上げ
装置のウエハホルダで、１７は、ウエハホルダに
固定した突き上げ板である。このウエハ移し換え
用突き上げ装置（以下突き上げ装置という）は、
本願考案者が考案したもので、第４図、第５図の
様に複数の押し上げ板５１の上部にウエハホルダ
５２を設け、該各押し上げ板５１の下部に係合部
５３を形成し、又、別に前記押し上げ板５１の外
側に、上下動可能なフレーム５４を設け、該フレ
ーム５４に前記係合部５３と係合する押え部材５
５を設け、キヤリヤ内の任意のウエハを突き上げ
るものである。

次に本実施例の作動につき説明すると、ウエハ
移し換え用突き上げ装置にウエハ移し換え用微動
移動及び回動装置を載置した後、ウエハ溝３ａに
ウエハ５６を収容したウエハ用キヤリヤ３を回転
板２の支持部２８に載置し、キヤリヤ３の底部開
口３ｂを回転板１のウエハ突き上げ用穴２に対向
せしめる。そしてフレーム６に固定されているジ
グシリンダ４を矢印Ａ４方向に駆動させる。

ベアリング２３に固定されているホルダ２２
は、ガイドレール２１に案内されながら、円板１
の中心方向に移動するとともにキヤリヤクランプ
５は、第１図に示す実線の位置から鎖線の位置に
移動し、キヤリヤ３を挟持する。そのため、キヤ
リヤ３は円板１上に固定される。この状態におい
て前記キヤリヤ内の移し換えを必要とするウエハ
５６を第３図の鎖線で示す様に突き上げ１７（第
４図、第５図の押し上げ板５１に相当する）で突
き上げ、図示しないクランプ装置によりキヤリヤ
３の上方でクランプした後、該突き上げ板１７
（第４図、第５図の押し上げ板５１に相当する）
を元の位置に戻す。

この突き上げは、突き上げ装置の押え部材５５
を作動させて係合部５３に係合せしめ、フレーム
５４を上方向に移動させて、突き上げ板５１を上
昇せしめ、キヤリヤ内のウエハ５６をその下部よ
り突き上げるものである。

この突き上げられたウエハ５６は、図示しない
ウエハのクランプ装置により保持される。この状
態で、エンコーダ１２の指示によりモータ１３が
駆動し、ネジ１１を回転せしめる。

このネジ１１の回転により、ナツト１０は、水
平方向に移動すると同時に、ベアリング９も、ガ
イジシヤフト８に導かれて水平方向に移動する。

これによりフレーム６は、矢印Ａ１０方向に移
動して第２図の実線の位置から鎖線の位置になる
ので、円板１は、同方向に所定量移動し、ウエハ
用キヤリヤの補充されるべきウエハ溝３ａの位置
が前記クランプされているウエハの直下となる。
この状態において、前記クランプ装置を下降させ
て前記ウエハ溝３ａにウエハを挿入する。このよ
うにして、キヤリヤ３内の間欠しているウエハを
補充し、キヤリヤ内のウエハを間隙のない様に整
列せしめる。

次にウエハの表裏を逆にする場合について説明
すると、回転板１の支持部２８に固定されている
ウエハ用キヤリヤ３内のウエハ５６を前述の様に
して突き上げ、第３図の実線の位置から鎖線の位
置にし該ウエハ５６を図示しないウエハのクラン
プ装置により、ウエハ用キヤリヤ３の上方で保持
するとともに、該突き上げ板１７（第４図、第５
図の押し上げ板５１に相当する）を元の位置に戻
す。そしてジグシリンダ４を矢印Ａ４方向に駆動
してホルダ２２を同方向に移動しキヤリヤクラン
プ５を第１図の鎖線の位置から実線の位置にして
キヤリヤ３から離し、その固定を解除する。この
状態で駆動装置例えばモータ（図示しない）を駆
動させて、外歯車１５を回転せしめると、内歯車
１４および円板１が同時に回転する。円板１を
180°回転するとキヤリヤ内のウエハは、表と裏が
逆の状態となる。

このように裏返しを必要とするウエハのみをキ
ヤリヤ内に残して180°回転せしめると、所望のウ
エハを表裏逆にすることができる。

本考案は、以上の様に、回転板をフレームに回
動自在に設け、該フレームに前記回転板を回動せ
しめる装置を設けたので、キヤリヤを180°回転す
ることができ、従つてウエハの表裏を自動的に逆
にすることができる。

又、回転板を水平に移動せしめる装置を設けた
のでキヤリヤを水平方向に移動させ、ウエハを間
欠なく収容することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本考案の実施例を示す図で第
１図は平面図、第２図は、側面図、第３図は−
線断面図、第４図、第５図はウエハ移動用突き
上げ装置を示す図で第４図はその全体を示す斜視
図、第５図は、第４図の要部拡大図である。 １……回転板、２……ウエハ突き上げ用穴。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハ用キヤリヤが載置される回転板にウエハ
   の突き上げ用穴を形成し、該穴の周辺に前記キヤ
   リヤを載置する支持部を形成し、該回転板をフレ
   ームに回動自在に設け、該フレームに前記回転板
   を回動せしめる装置を設け、又、前記フレームを
   水平に移動せしめる装置を設けたウエハ移し換え
   用微動移動及び回転装置。