JPH0621244Y2 - ウェハ把持装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、半導体製品の製造に用いるウェハ把持装置
に関するもので、更に述べると、多種類のプロセスに用
いることのできるウェハ把持装置に関するものである。

〔従来の技術〕

ウェハの移し替え、例えば、ウェハキャリヤ内のウェハ
をウェハボートに移し替える場合には、ウェハ把持装置
が用いられている。

このウェハ把持装置は、第５図に示す様に内側にウェハ
の周縁が嵌合する如く設けられたウェハ溝１を形成した
爪２を、互に対向して設け、該爪２を互いに内方に移動
せしめてウェハ３を挟持（チャッキング）したり、又、
前記と逆方向に移動せしめてチャッキングを解除したり
して、所定のウェハ３の移し替えを行なっている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

従来例のウェハ把持装置では、ウェハの移し替え時にウ
ェハ溝１にウェハ３が接触するので、ウェハ溝１にウェ
ハ３の表面層成分がはがれ付着する。

しかし、多段式炉でウェハを処理する場合、各チューブ
が同一プロセスであれば問題がないが、異なるプロセス
のチューブがあると、先に移し替えられたウェハの表面
層成分が次に移し替えるウェハに付着し、当該半導体チ
ップの不良化の原因となる。

そこで、各チューブ毎に専用のウェハ把持装置を配設
し、上記問題点を解決することが考えられるが、この方
法は多くのスペースと設備費を必要とする問題がある。

又、一台のウェハ把持装置の爪２を、異なるプロセスの
チューブ毎に取り替えて使用することも考えられるが、
上記爪２の交換作業が面倒で多くの時間を必要とするの
で稼働率が悪い。

この考案は上記事情に鑑み、プロセスの異なる各チュー
ブのウェハ移し替えを、他のプロセスの影響を上記ウェ
ハが受けることなく、１台の装置で行なうことを目的と
する。

〔課題を解決するための手段〕

この考案は、互いに対向する可動なローラ支持部材と、
該ローラ支持部材の内側に設けられた回転可能なウエハ
支持ローラと、該ウエハ支持ローラの外周面に形成さ
れ、かつ、その外周を囲む様に形成された多角形状のウ
エハ支持溝と、から構成されたことを特徴とするウエハ
把持装置、により前記目的を達成しようとするものであ
る。

〔作用〕

ローラ支持部材を互いに内方に向って移動させると、ウ
ェハはウェハ支持ローラの支持溝に嵌合接触し、チャッ
キングされる。

そして、ローラ支持部材を前記と逆方向に移動すると、
ウェハは支持溝から外れ、チャッキングが解除される。

次に、各ウェハ支持ローラを90度回転させると、支持ロ
ーラのウェハ接触部側には、回転前と異なるウェハの支
持溝が現われるので、前記と同様な要領で前記とプロセ
スの異なるチューブのウェハのチャッキングなどを行な
う。

〔実施例〕

この考案の一実施例を添附図面により説明する。

ローラ支持部材10,11の上端はロッド12,13を介して、図
示しない駆動装置に接続されている。ローラ支持部材1
0,11の下部には垂直方向に間隔をおいて、３本の円柱状
の支持ローラ14〜19が互に平行に配設されている。

該ローラ14,16,17,19は、ウェハＷの倒れるのを防止
し、又、ローラ15,18は、ローラ16,19とローラ14,17間
のウェハＷのガイドを目的とするものである。

支持ローラ14〜19の外周には、多角形状、例えば、第２
図、第３図に示す様な４角形状に連続するウェハの複数
の支持溝20が形成されている。

これらの支持ローラ15〜19は、図示しない駆動装置、例
えばステッピングモータにより同期して90゜づつ回転す
る。

なお、この支持ローラ14〜19は円柱状に限定されるもの
ではなく、その外周に多角形状に連続するウェハの複数
の支持溝を形成できればよいので、例えば第４図に示す
様な４角柱状でもよい。

次に、上記実施例の作動につき説明すると、図示しない
ウェハ突き上げ装置によりウェハＷを突き上げ、支持ロ
ーラ14〜16と支持ローラ17〜19との間にウェハＷを位置
せしめる。

この時、各ローラ17〜19の内側には、ウェハの支持溝20
の第１溝20aが位置し、又、この第１溝20aの移動軌跡内
に、ウェハＷの外周縁Ｗａが位置しており、ウェハ移し
替え装置Ｔはローラ支持部材10,11が開いたＴ１の位置
にある。

次に、ローラ支持部材10,11を内方に移動させ、ウェハ
Ｗを掬うようにしながら、第１溝20aに嵌合接触させて
チャッキングし、ウェハ移し替え装置ＴをＴ２の状態に
する。

その後、予め定められたウェハ移し替え作業を行い、ロ
ーラ支持部材10,11を前記と逆方向に移動し、ウェハＷ
のチャッキングを解除する。

次にステッピングモータにより支持ローラ14〜16と支持
ローラ17〜19を互いに内方に90度回転させて第２溝20b
を内側にし、前記要領で前記とプロセスの異なるチュー
ブで処理するウェハＷのチャッキングなどを行なう。

このようにプロセスの異なるチューブ毎に支持ローラ14
〜19を90゜づつ回転させて、プロセスの異なるチューブ
で処理するウェハに対応させた第１溝〜第４溝20a〜20d
を用いるようにする。

〔考案の効果〕

この考案は、以上のようにローラ支持部材の内側に垂直
方向に間隔をおいて配設された複数のウェハ支持ローラ
と、該ウェハ支持ローラの外周に多角形状に連続して形
成されたウェハの支持溝を有するので、支持ローラを回
転すると、支持ローラのウェハ接触部側には、回転前と
異なるウェハ支持溝が現われる。

このように、プロセスの異なるチューブ毎に、支持ロー
ラを回転すれば、各プロセス専用のウェハの支持溝が現
われるので、他のプロセスの成分が処理ウェハに混入す
ることはない。

従って、１台のウェハ把持装置で、プロセスの異なる複
数のチューブをまかなうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す平面図、第２図は、第
１図の要部拡大図、第３図は、第２図の平面図、第４図
は、第２図の支持ローラ変形例を示す正面図、第５図
は、従来例を示す縦断面図である。 10,11…支持部材 14〜19…支持ローラ 20…ウェハの支持溝

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに対向する可動なローラ支持部材と、
   該ローラ支持部材の内側に設けられた回転可能なウエハ
   支持ローラと、該ウエハ支持ローラの外周面に形成さ
   れ、かつ、その外周を囲む様に形成された多角形状のウ
   エハ支持溝と、から構成されたことを特徴とするウエハ
   把持装置。