JPH0110933Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、ウエハ処理に用いるウエハボート
の自動搬送装置に関するもので、この装置は、同
一工程のウエハボートのみならず異なる工程のウ
エハボートの搬送も可能である。

従来の技術 ウエハは、ウエハボート（半導体基板用熱処理
ボート）に収容し、多段形式熱処理炉に出し入れ
されるが、このボートの出し入れは、ウエハボー
ト出し入れ機構のパドルにより行なわれている。

従来、ウエハボートをパドルにのせたり、降ろ
したりする作業は、エレベータにチヤツク支持具
を設け、該支持具の両側にチヤツクを設けた熱処
理ボートの自動搬送装置により行なつている。

考案が解決しようとする問題点 しかし、従来例では、異なるプロセス（Ｐ形又
はＮ形半導体）のウエハボートを搬送するとチヤ
ツクにＮ形、Ｐ形の成分が付着し、Ｎ形半導体用
のウエハボートにＰ形の成分が付着したり、又、
逆にＰ形半導体用のウエハボートにＮ形の成分が
付着する。そのため、ウエハの熱処理中に異なつ
たプロセスの成分がウエハに付着するので、良質
の半導体装置を得ることができない。

本考案は、上記の点に鑑み、異なつたプロセス
の成分をウエハボートに付着させることなく該ボ
ートを搬送することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この考案は、支持アームの両側に、互いに平行
な回転軸を設け、該回転軸にボートホルダーを設
け、該ボートホルダーの複数の取手支持面に取手
溝を形成し、上記の問題点を解決せんとするもの
である。

作 用 回転軸を90度回すと、ボートホルダーも同時に
90度回転し、上面には、回転前と異なつた取手支
持面が表われ、回転前と異なる取手溝が表われ
る。

実施例 本考案の実施例を添附図面により説明すると図
において１は、支持アームで、その両側には回転
軸２が設けられ、その一端には、ボートホルダー
３が平行に設けられている。このボートホルダー
３は、例えば、略々長形に形成され、その上面お
よび側面即ち、取手支持面３ａ，３ｂに互いに平
行な取手溝４ａ，４ｂが形成されている。

この取手溝４ａ，４ｂは、ウエハボート８の取
手８ａ，８ｂを収納できる大きさで、かつ、各取
手溝４ａ，４ｂの中心線は、第２図に示す様に支
持面３ａ，３ｂに垂直な回転軸２の中心線と平行
で、かつ、該中心線から各々等しい距離ｌにあ
る。

回転軸２の他端には、回転カム５が設けられ、
このカム５はシリンダ継手６ａを介してシリンダ
６に回転自在に設けられている。

なお、図において７は、ボートホルダ３を矢印
Ａ３方向に移動させ、ウエハボート８を逃がした
り、又はホルドさせたりするシリンダ、９はカム
５の回転を規制するストツパーピン、１０，１１
は、図示しないエレベータを支持アーム１１に接
続させる連結アーム、１２は、ウエハボート８に
収容されたウエハ、１３，１４は、スライダ１５
のレールである。

次に本実施例の作動につき説明すると、熱処理
終了後、炉から搬出されたＮ形半導体用のウエハ
ボート８の取手８ａ，８ｂをこのウエハボート専
用の取手溝４ａから外し、シリンダ６を駆動して
回転カム５を矢印Ａ５方向に回転すると回転軸２
が回転し、同時にボートホルダー３も同方向に回
転する。このカム５は90度回転すると、ストツパ
ーピン９により回転が止められ、シリンダ６の運
転も自動的に停止するが、この時ボートホルダー
３の取手支持面３は、上面３ａが側面３ｂに移動
し、側面３ｂが上面３ａに位置するので、Ｐ形半
導体用のウエハボート専用の取手溝３ｂが上部に
表われる。

この取手溝４ｂにＰ形半導体用のウエハボート
の取手８ａ，８ｂを嵌合する。

このようにして支持されたウエハボート８はエ
レベータ（図示しない）でボート出し入れ機構の
パドルにのせられ拡散炉（図示せず）に運ばれ、
ウエハの熱処理が行なわれる。

なお、Ｎ形半導体用のウエハボートを搬送する
時は、前記と逆の要領でボートホルダー３を90度
逆回転させ、Ｎ形半導体用のウエハボート専用の
取手溝４ａに取手８ａを嵌合すればよい。

他の実施例 本考案は、上記実施例に限定されるものではな
く、例えば第３図の様に、各取手溝４ａ，４ｂを
取手支持面３ａ，３ｂに垂直な回転軸２の中心線
と平行でかつ該中心線から各々異なる距離l₁，l₂
にしてもよい。

この実施例では、回転軸２を回転すると、ボー
トホルダー３は第４図の実線で示す位置から鎖線
で示す位置３Ａに変化する。

この時、取手溝間の距離ｄから距離Ｄ（Ｄ＞ｄ）
に変化するので、ボートホルダー回転前より長い
ウエハボート８を支持することができる。

又、取手溝は、ボートホルダ３の三面（上面及
び両側面）を取手支持面とし、各支持面に形成し
てもよく、更には、第４図に示す様に四面（上面
３ａ、下面３ｃ、両側面３ｂ，３ｄ）を取手支持
面とし、各面に取手溝４ａ〜４ｄを形成してもよ
い。

考案の効果 本考案は、以上の様に構成したので、回転軸を
駆動し、ボートホルダーを回すと、回転前と異な
る取手溝に変わる。そして、この取手溝でプロセ
スの異なるウエハボートを支持するので該ウエハ
ボートにプロセスの異なる半導体成分が付着する
ことはない。

従つて、ウエハに異なつたプロセスの成分が付
着することがないので、良質の半導体装置を得る
ことができる。

又、取手溝が、取手支持面に垂直な回転軸の中
心線と平行で、かつ該中心線からの距離が、異な
る中心線を有するので、ウエハホルダーを回転す
ることにより取手間の距離を変更することができ
る。

従つて、一つのボートホルダーで長さの異なる
ウエハボートを支持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す斜視図、第２
図は、第１図の要部を示す正面図、第３図は他の
実施例を示す正面図で、第２図に相当する図、第
４図は第３図の実施例の使用状態を示す図、第５
図は、更に他の実施例を示す正面図で第２図に相
任する図である。 １……支持アーム、２……回転軸、３……ボー
トホルダー、２ａ，３ｂ……取手支持面。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 支持アームの両側に回転軸を設け、該回転軸
   にボートホルダーを設け、該ボートホルダーの
   複数の取手支持面に取手溝を形成したことを特
   徴とするウエハボートの自動搬送装置。 ２ 各々の取手溝が取手支持面に垂直な回転軸の
   中心線と平行でかつ該中心線からの距離が同じ
   中心線を有することを特徴とする実用新案登録
   請求の範囲第１項記載のウエハボートの自動搬
   送装置。 ３ 各々の取手溝が、取手支持面に垂直な回転軸
   の中心線と平行で、かつ該中心線からの距離
   が、異なる中心線を有することを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハボー
   トの自動搬送装置。 ４ 複数の取手支持面が二面であることを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエ
   ハボートの自動搬送装置。 ５ 複数の取手支持面が、四面であることを特徴
   とする実用新案登録請求の範囲第１項記載のウ
   エハボートの自動搬送装置。 ６ ボートホルダーが90度づつ回転することを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   ウエハボートの自動搬送装置。