JPS6334947A - ウエ−ハ搬送用治具 - Google Patents
ウエ−ハ搬送用治具Info
- Publication number
- JPS6334947A JPS6334947A JP61179694A JP17969486A JPS6334947A JP S6334947 A JPS6334947 A JP S6334947A JP 61179694 A JP61179694 A JP 61179694A JP 17969486 A JP17969486 A JP 17969486A JP S6334947 A JPS6334947 A JP S6334947A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- stopper
- size
- stoppers
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 70
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハ搬送用治具に関する。
従来、この種のウェーハ搬送用治具は、ウェーハの中心
を合わせる為のウェーハストッパーをつ工−ハサイズに
合わせて付替えるようになってぃた。
を合わせる為のウェーハストッパーをつ工−ハサイズに
合わせて付替えるようになってぃた。
第２図は従来のウェーハ搬送用治具の一例を示す上面図
である。
である。
同図では台５の上に６インチウェーハ６の中心部を真空
チャック２の上に吸着半固定させるため６インチ用ウェ
ーハストッパ１ａが取付けられている。
チャック２の上に吸着半固定させるため６インチ用ウェ
ーハストッパ１ａが取付けられている。
上述した従来のウェーハ搬送用治具は、ウェーハサイズ
に合わせて、ウェーハストッパーを取外し交換しなけれ
ばならないため不便であり、又、取替える際、ストッパ
ーの位置がずれて後工程でウェーハにきすをつける恐れ
がある欠点がある。
に合わせて、ウェーハストッパーを取外し交換しなけれ
ばならないため不便であり、又、取替える際、ストッパ
ーの位置がずれて後工程でウェーハにきすをつける恐れ
がある欠点がある。
本発明のウェーハ搬送用治具は、ウェーハを搬送し該ウ
ェーハの中心を真空チャックで吸着半固定さすウェーハ
搬送用治具において、サイズの異なる複数の前記ウェー
ハの各サイズに適合して所定の位置に自動的に受止める
複数のウェーハストッパーを備えている。
ェーハの中心を真空チャックで吸着半固定さすウェーハ
搬送用治具において、サイズの異なる複数の前記ウェー
ハの各サイズに適合して所定の位置に自動的に受止める
複数のウェーハストッパーを備えている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示す上面図である。
本実施例のウェーハ搬送用治具は、治具台５上に取付け
られ回転軸３を中心にして回転機構を有しウェーハスト
・ソバ一群として６インチ用ウェーハストッパー１ａと
５インチ用ウェーハストッパー１ｂと４インチ用ウェー
ハストッパーＩＣとが取付けられたウェーハストッパー
取付回転板１と、真空チャ・ツク２とが備えられている
。
られ回転軸３を中心にして回転機構を有しウェーハスト
・ソバ一群として６インチ用ウェーハストッパー１ａと
５インチ用ウェーハストッパー１ｂと４インチ用ウェー
ハストッパーＩＣとが取付けられたウェーハストッパー
取付回転板１と、真空チャ・ツク２とが備えられている
。
又、同図は６インチウェーハ６の中心部が真空チャック
２上に６インチ用ウェーハストッパー１ａによって吸着
半固定されている場合を示す。
２上に６インチ用ウェーハストッパー１ａによって吸着
半固定されている場合を示す。
次にこの実施例の動作について説明する。
まずこの治具台５上にどの大きさの種類ウェーハが搬送
されて来るかを事前に知った上ウェーハストッパー取付
回転板１を、搬送されて来るウェーハスの大きさに合せ
るべく中心軸３を中心にして回転させ例えば６インチ用
ウェーハストッパー１ａを真空チャック２がある方向に
向けて固定ビン４にて固定さす。
されて来るかを事前に知った上ウェーハストッパー取付
回転板１を、搬送されて来るウェーハスの大きさに合せ
るべく中心軸３を中心にして回転させ例えば６インチ用
ウェーハストッパー１ａを真空チャック２がある方向に
向けて固定ビン４にて固定さす。
このように所要のウェーハストッパーを固定させるとＡ
方向から搬送されて来るウェーハはその中心部が真空チ
ャック２上に来るように吸着半固定される。
方向から搬送されて来るウェーハはその中心部が真空チ
ャック２上に来るように吸着半固定される。
本実施例では３種類のウェーハの大きさに対応するスト
ッパーを示したが、２種類あるいは４種類以上の大きさ
に対応するウェーハ搬送用治具も可能である。
ッパーを示したが、２種類あるいは４種類以上の大きさ
に対応するウェーハ搬送用治具も可能である。
以上説明したように本発明は、ウェーハストッパ一群を
回転させ、所要のウェーハストッパーを固定することに
より、搬送されて来るウェーハサイズが替るたびごとに
ウェーハストッパーを取外さずに済み、ウェーハストッ
パーの位置ずれやそれによる後工程でのウェーハにきす
を起させない効果がある。
回転させ、所要のウェーハストッパーを固定することに
より、搬送されて来るウェーハサイズが替るたびごとに
ウェーハストッパーを取外さずに済み、ウェーハストッ
パーの位置ずれやそれによる後工程でのウェーハにきす
を起させない効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す上面図、第２図は従来
のウェーハ搬送用治具の一例を示す上面図である。 １・・・ウェーハストッパー取付回転板、１ａ・・・６
インチ用ウェーハストッパー、１ｂ・・・５インチ用ウ
ェーハストッパー、ＩＣ・・・４インチ用ウェーハス１
−ツバー１２・・・真空チャック、３・・・中心軸、４
・・・固定ピン、５・・・治具台、６・・・６インチウ
ェーハ。 を
のウェーハ搬送用治具の一例を示す上面図である。 １・・・ウェーハストッパー取付回転板、１ａ・・・６
インチ用ウェーハストッパー、１ｂ・・・５インチ用ウ
ェーハストッパー、ＩＣ・・・４インチ用ウェーハス１
−ツバー１２・・・真空チャック、３・・・中心軸、４
・・・固定ピン、５・・・治具台、６・・・６インチウ
ェーハ。 を
Claims (1)
- ウェーハを搬送し該ウェーハの中心を真空チャックで
吸着半固定させるウェーハ搬送用治具において、サイズ
の異なる複数の前記ウェーハの各サイズに適合して所定
の位置に自動的に受止める複数のウェーハストッパーを
備えたことを特徴とするウェーハ搬送用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61179694A JPS6334947A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | ウエ−ハ搬送用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61179694A JPS6334947A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | ウエ−ハ搬送用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334947A true JPS6334947A (ja) | 1988-02-15 |
Family
ID=16070240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61179694A Pending JPS6334947A (ja) | 1986-07-29 | 1986-07-29 | ウエ−ハ搬送用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6334947A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5705027A (en) * | 1995-04-18 | 1998-01-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of removing etching residues |
| JP2007271218A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Toto Ltd | 電気温水器システム |
-
1986
- 1986-07-29 JP JP61179694A patent/JPS6334947A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5705027A (en) * | 1995-04-18 | 1998-01-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of removing etching residues |
| JP2007271218A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Toto Ltd | 電気温水器システム |
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