JPS61222147A - ウエ−ハの位置合わせ機構 - Google Patents
ウエ−ハの位置合わせ機構Info
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- JPS61222147A JPS61222147A JP5539185A JP5539185A JPS61222147A JP S61222147 A JPS61222147 A JP S61222147A JP 5539185 A JP5539185 A JP 5539185A JP 5539185 A JP5539185 A JP 5539185A JP S61222147 A JPS61222147 A JP S61222147A
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- JP
- Japan
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- wafer
- belt
- orientation flat
- alignment
- belts
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
半導体装置製造の例えば露光工程などにおけろウェーハ
のプリアライメントに使用されるウェーハの位置合わせ
機構において、 ウェーハ搬送用として使用される二列の搬送用ベルトの
速度が異なった際にウェーハが回転することを利用する
ことにより、 ウェーハの位置合わせ機構の構成を単純化したものであ
る。
のプリアライメントに使用されるウェーハの位置合わせ
機構において、 ウェーハ搬送用として使用される二列の搬送用ベルトの
速度が異なった際にウェーハが回転することを利用する
ことにより、 ウェーハの位置合わせ機構の構成を単純化したものであ
る。
本発明は、半導体装置製造の例えば露光工程などにおけ
るウェーハのプリアライメントに使用されるウェーハの
位置合わせ機構に関す。
るウェーハのプリアライメントに使用されるウェーハの
位置合わせ機構に関す。
半導体装置製造のウェーハ加工における露光工程などは
、加工内容からしてウェーハの向き方向を含む位置合わ
せが必要である。
、加工内容からしてウェーハの向き方向を含む位置合わ
せが必要である。
このような工程においては、加工ステージ上で全ての位
置合わせを行うことが困難である場合に、通常、ウェー
ハを加工ステージに載置する前に別の場所で予め位置合
わせをするプリアライメントを行い、その後加工ステー
ジに移送している。
置合わせを行うことが困難である場合に、通常、ウェー
ハを加工ステージに載置する前に別の場所で予め位置合
わせをするプリアライメントを行い、その後加工ステー
ジに移送している。
そして、このプリアライメントに使用される機構は単純
であることが望まれる。
であることが望まれる。
上記プリアライメントに使用される従来の機構の要部は
第４図の平面図に示す如くである。
第４図の平面図に示す如くである。
この機構は、図示されないウェーハストック部例えばマ
ガジンなどから移送載置されたウェーハＷを矢印Ａ方向
に移動させる二列の搬送用ベルト１１ａおよび１１ｂ、
搬送用ベルトｌｌａ 、 ｌｌｂを駆動するモータ１２
、ウェーハＷの移動を停止（ウェーハＷを二点鎖線で図
示）させるストッパ１３、この停止位置の近傍にあり載
置されたウェーハＷ（実線で図示）を回転（図示Ｂ方向
）させてウェーハＷの向き方向を合わせる回転テーブル
１４、この回転によりウェーハＷの向き方向が所定方向
になった際即ちウェーハＷのオリエンテーションフラッ
ト（以下オリフラと略称する）ＯＦが所定の位置に来た
際に例えば光学的方法によりそれを検出して信号を出力
するオリフラセンサ１５、二点鎖線図示のウェーハＷを
実線図示のように回転テーブル１４上に移送載置する移
送アーム１６、などからなっている。
ガジンなどから移送載置されたウェーハＷを矢印Ａ方向
に移動させる二列の搬送用ベルト１１ａおよび１１ｂ、
搬送用ベルトｌｌａ 、 ｌｌｂを駆動するモータ１２
、ウェーハＷの移動を停止（ウェーハＷを二点鎖線で図
示）させるストッパ１３、この停止位置の近傍にあり載
置されたウェーハＷ（実線で図示）を回転（図示Ｂ方向
）させてウェーハＷの向き方向を合わせる回転テーブル
１４、この回転によりウェーハＷの向き方向が所定方向
になった際即ちウェーハＷのオリエンテーションフラッ
ト（以下オリフラと略称する）ＯＦが所定の位置に来た
際に例えば光学的方法によりそれを検出して信号を出力
するオリフラセンサ１５、二点鎖線図示のウェーハＷを
実線図示のように回転テーブル１４上に移送載置する移
送アーム１６、などからなっている。
回転テーブル１４は、図示されないモータの駆動により
回転し、回転中にウェーハＷがずれないように真空チャ
ックを具えている。
回転し、回転中にウェーハＷがずれないように真空チャ
ックを具えている。
上述の説明から理解出来るようにウェーハＷは、回転テ
ーブル１４上にあってオリフラセンサ１５の信号により
回転が停止したところで所望の位置合わせ即ちプリアラ
イメントが完了する。そして、かく位置合わせされたウ
ェーハＷは、１６と同様な移送アームｌにより加工装置
例えば露光装置などのステージ２に移送載置されて加工
ステージに移される。
ーブル１４上にあってオリフラセンサ１５の信号により
回転が停止したところで所望の位置合わせ即ちプリアラ
イメントが完了する。そして、かく位置合わせされたウ
ェーハＷは、１６と同様な移送アームｌにより加工装置
例えば露光装置などのステージ２に移送載置されて加工
ステージに移される。
このウェーハの位置合わせ機構は、上述したように、ウ
ェーハＷの向き方向を合わせる個所の機構とその個所に
ウェーハＷを持ち込む機構とが別の構成になって、ウェ
ーハの位置合わせ機構全体として複雑であり、機構の価
格が高くなると共に故障発生の確率も高くなる問題があ
る。
ェーハＷの向き方向を合わせる個所の機構とその個所に
ウェーハＷを持ち込む機構とが別の構成になって、ウェ
ーハの位置合わせ機構全体として複雑であり、機構の価
格が高くなると共に故障発生の確率も高くなる問題があ
る。
上記問題点は、本発明の要旨を示した第１図（ａ）（ｂ
）の平面図に示す如くに、 平行する二列の搬送用ベルト２１ａ 、 ２１ｃとベル
ト２１ａ 、２１ｃの搬送方向Ａに対して面２３ａを向
けたストッパ２３とを具え、 二列のベルト２１ａ 、２１ｃ上に跨いで載せられたウ
ェーハＷを、ベルト２１ａ 、 ２１ｃの速度を等しく
した駆動により面２３ａに向けて移動（図（ａ）図示）
させた後、 ベルト２１ａ 、２１ｃの速度を異ならせた駆動により
ウェーハＷを面２３ａに接触させながら回転（図（ｂ）
図示Ｂ方向）させウェーハＷのオリフラＯＦを面２３ａ
に当接（図（ｂ）図示）させてウェーハＷの載置位置を
合わせるウェーハの位置合わせ機構によって解決される
。
）の平面図に示す如くに、 平行する二列の搬送用ベルト２１ａ 、 ２１ｃとベル
ト２１ａ 、２１ｃの搬送方向Ａに対して面２３ａを向
けたストッパ２３とを具え、 二列のベルト２１ａ 、２１ｃ上に跨いで載せられたウ
ェーハＷを、ベルト２１ａ 、 ２１ｃの速度を等しく
した駆動により面２３ａに向けて移動（図（ａ）図示）
させた後、 ベルト２１ａ 、２１ｃの速度を異ならせた駆動により
ウェーハＷを面２３ａに接触させながら回転（図（ｂ）
図示Ｂ方向）させウェーハＷのオリフラＯＦを面２３ａ
に当接（図（ｂ）図示）させてウェーハＷの載置位置を
合わせるウェーハの位置合わせ機構によって解決される
。
ベルト２１ａ 、 ２１ｃの速度を異ならせる例えば第
１図（ｂ）図示の如くベルト２１ａを停止させベルト２
１Ｃのみを駆動することにより、ウェーハＷはＢ方向に
回転すると共に入方向に押しやられる。
１図（ｂ）図示の如くベルト２１ａを停止させベルト２
１Ｃのみを駆動することにより、ウェーハＷはＢ方向に
回転すると共に入方向に押しやられる。
このことから、ウェーハＷは、ストッパ２３の面２３ａ
に接触しながら回転し、オリフラＯＦが面２３ａに当接
するに至る。そして、オリフラＯＦが直線であることか
ら、そこでウェーハＷの回転が停止する。
に接触しながら回転し、オリフラＯＦが面２３ａに当接
するに至る。そして、オリフラＯＦが直線であることか
ら、そこでウェーハＷの回転が停止する。
従ってこの停止を利用することによりウェーバＷの向き
方向を合わせることが可能である。
方向を合わせることが可能である。
そしてこのウェー八回転機構は、二列の搬送用ベルト２
１ａ 、 ２１ｃで構成されるので、ウェーハＷを回転
させる個所にウェーハＷを持ち込むための二列の搬送用
ベルトを、別々に駆動出来るようにすることによりその
まま利用することが可能である。
１ａ 、 ２１ｃで構成されるので、ウェーハＷを回転
させる個所にウェーハＷを持ち込むための二列の搬送用
ベルトを、別々に駆動出来るようにすることによりその
まま利用することが可能である。
なお、第１図（ａ）に示したウェーハＷの移動は、ウェ
ーハＷの縁を面２３ａの近傍に持ち込めば良いので、そ
の時点で該縁が面２３ａに接触するかしないかは問題に
ならない。
ーハＷの縁を面２３ａの近傍に持ち込めば良いので、そ
の時点で該縁が面２３ａに接触するかしないかは問題に
ならない。
かくして、本発明によるウェーハの位置合わせ機構は、
第４図に示す従来の機構と同様な機能を有しながらそれ
より極めて単純化され、価格が安くなると共に信頼性も
向上する。
第４図に示す従来の機構と同様な機能を有しながらそれ
より極めて単純化され、価格が安くなると共に信頼性も
向上する。
以下本発明によるウェーハの位置合わせ機構の実施例に
ついてその要部構成を示す第２図の平面図および第３図
（ａ） （ｂ）の部分平面図により説明する。
ついてその要部構成を示す第２図の平面図および第３図
（ａ） （ｂ）の部分平面図により説明する。
第２図は一つの実施例を示しており、この機構は、第４
図図示のｌｌａおよびｌｌｂに対応しモータ２２ａで駆
動される搬送用ベルト２１ａおよび２１ｂ１ベルト２１
ｂの延長線上にあってモータ２２ｂで駆動される搬送用
ベルト２１Ｃ１これらのベルトの搬送方向に面２３ａを
向けた平板状のストッパ２３、ベルト２１ａ 、２１ｃ
の搬送方向からウェーハＷが図上上下方向にずれないよ
うにウェーハＷをガイドするガイド板２４、ウェーハＷ
のオリフラＯＦが面２３ａに当接した際に第４図図示１
５と同様に作動するオリフラセンサ２５、などからなっ
ている。
図図示のｌｌａおよびｌｌｂに対応しモータ２２ａで駆
動される搬送用ベルト２１ａおよび２１ｂ１ベルト２１
ｂの延長線上にあってモータ２２ｂで駆動される搬送用
ベルト２１Ｃ１これらのベルトの搬送方向に面２３ａを
向けた平板状のストッパ２３、ベルト２１ａ 、２１ｃ
の搬送方向からウェーハＷが図上上下方向にずれないよ
うにウェーハＷをガイドするガイド板２４、ウェーハＷ
のオリフラＯＦが面２３ａに当接した際に第４図図示１
５と同様に作動するオリフラセンサ２５、などからなっ
ている。
この位置合わせ機構でウェーハＷを回転させるのは、ベ
ルト２１ａを停止させベルト２１ｃを駆動することによ
って行い、その際の作用は先に述べた通りであり、オリ
フラＯＦが面２３ａに当接したところでオリフラセンサ
２５の信号によりベルト２１ｃの駆動を停止して所望の
位置合わせ即ちプリアライメントを完了する。この後は
従来と同様に、移送アーム１がウェーハＷをステージ２
に移送載置することが出来る。
ルト２１ａを停止させベルト２１ｃを駆動することによ
って行い、その際の作用は先に述べた通りであり、オリ
フラＯＦが面２３ａに当接したところでオリフラセンサ
２５の信号によりベルト２１ｃの駆動を停止して所望の
位置合わせ即ちプリアライメントを完了する。この後は
従来と同様に、移送アーム１がウェーハＷをステージ２
に移送載置することが出来る。
この位置合わせ機構は、ベルト２１ａとベルト２１Ｃと
の駆動を分離させる必要があるとは言え、第４図図示機
構の如き真空チャ・ツクを具える回転テーブル１４や移
送アーム１６が不要になり、従来より極めて単純化され
ている。
の駆動を分離させる必要があるとは言え、第４図図示機
構の如き真空チャ・ツクを具える回転テーブル１４や移
送アーム１６が不要になり、従来より極めて単純化され
ている。
第３図（ａ） （ｂ）図示は、それぞれ第２図図示機構
の変形例である。
の変形例である。
前者は、ベルト２１ｂを削除してその部分まで伸ばした
ベルト２１ｃがベルト２１ｂの機能をも果たし、後者は
、更にモータ２２ａを削除して代わりにクラッチ２６を
設けてベルト２１ａとベルト２１ｃの駆動を分離出来る
ようにしたものである。
ベルト２１ｃがベルト２１ｂの機能をも果たし、後者は
、更にモータ２２ａを削除して代わりにクラッチ２６を
設けてベルト２１ａとベルト２１ｃの駆動を分離出来る
ようにしたものである。
この何れの場合も、ウェーハの位置合わせ機構としての
作用が第２図図示の場合と変わらないことは容易に理解
出来る。
作用が第２図図示の場合と変わらないことは容易に理解
出来る。
以上説明したように、本発明の構成によれば、半導体装
置製造の露光工程などにおけるウェーハのプリアライメ
ントに使用されるウェーハの位置合わせ機構の構成が単
純化され、該機構の低廉化並びに信頼性向上を可能にさ
せる効果がある。
置製造の露光工程などにおけるウェーハのプリアライメ
ントに使用されるウェーハの位置合わせ機構の構成が単
純化され、該機構の低廉化並びに信頼性向上を可能にさ
せる効果がある。
第１図（ａ） （ｂ）は本発明の要旨を示す平面図、第
２図は本発明による位置合わせ機構の実施例の要部を示
す平面図、 第３図（ａ） （ｂ）はその変形例を示す部分平面図、
第４図は従来の位置合わせ機構の要部を示す平面図、で
ある。 第１図〜第４図において、 １１ａ 、 ｌｌｂ 、 ２１ａ 〜２１ｃは搬送用ベ
ルト、１２．２２ａ 、 ２２ｂはモータ、 １３．２３はストッパ、 ２３ａは２３の面、 １４は回転テーブル、 ２４はガイド板、 １５．２５はオリフラセンサ、 １６は移送アーム、 ２６はクラッチ、 Ｗはウェーハ、 ＯＦはオリエンテーションフラット、 ＡはＷの移動方向、 ＢはＷの回転方向、である。 参臂【バの専旨視畔［モ改１４ ￥ｆ−を図 従来例の平ｆｙ酊 峯４ｒｌｆＪ
２図は本発明による位置合わせ機構の実施例の要部を示
す平面図、 第３図（ａ） （ｂ）はその変形例を示す部分平面図、
第４図は従来の位置合わせ機構の要部を示す平面図、で
ある。 第１図〜第４図において、 １１ａ 、 ｌｌｂ 、 ２１ａ 〜２１ｃは搬送用ベ
ルト、１２．２２ａ 、 ２２ｂはモータ、 １３．２３はストッパ、 ２３ａは２３の面、 １４は回転テーブル、 ２４はガイド板、 １５．２５はオリフラセンサ、 １６は移送アーム、 ２６はクラッチ、 Ｗはウェーハ、 ＯＦはオリエンテーションフラット、 ＡはＷの移動方向、 ＢはＷの回転方向、である。 参臂【バの専旨視畔［モ改１４ ￥ｆ−を図 従来例の平ｆｙ酊 峯４ｒｌｆＪ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 平行する二列の搬送用ベルト（２１ａ、２１ｃ）と該ベ
ルト（２１ａ、２１ｃ）の搬送方向に対して面（２３ｃ
）を向けたストッパ（２３）とを具え、 二列の該ベルト上に跨いで載せられたウェーハ（Ｗ）を
該ベルト（２１ａ、２１ｃ）の速度を等しくした駆動に
より該面（２３ａ）に向けて移動させた後、該ベルト（
２１ａ、２１ｃ）の速度を異ならせた駆動により該ウェ
ーハ（Ｗ）を該面（２３ａ）に接触させながら回転させ
該ウェーハ（Ｗ）のオリエンテーションフラット（ＯＦ
）を該面（２３ａ）に当接させて該ウェーハ（Ｗ）の載
置位置を合わせることを特徴とするウェーハの位置合わ
せ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5539185A JPS61222147A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | ウエ−ハの位置合わせ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5539185A JPS61222147A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | ウエ−ハの位置合わせ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61222147A true JPS61222147A (ja) | 1986-10-02 |
Family
ID=12997214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5539185A Pending JPS61222147A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | ウエ−ハの位置合わせ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61222147A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63308337A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Teru Kyushu Kk | スピンナ− |
| JPH08255824A (ja) * | 1988-02-12 | 1996-10-01 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738492A (en) * | 1980-08-20 | 1982-03-03 | Sharp Kk | Line display system for crt display unit |
-
1985
- 1985-03-19 JP JP5539185A patent/JPS61222147A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5738492A (en) * | 1980-08-20 | 1982-03-03 | Sharp Kk | Line display system for crt display unit |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63308337A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Teru Kyushu Kk | スピンナ− |
| JPH08255824A (ja) * | 1988-02-12 | 1996-10-01 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
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