JPS63236342A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はウェハ搬送装置に関し、特にバッチ式プラズマ
ＣＶＤ装置等に好適に適用し得るウェハ搬送装置に関す
る。

従来の技術 例えば、平行平板型のパッチ式プラズマＣＶＤ装置にお
いて、反応室内の処理済ウエノ・と未処理ウェハを交換
する方式には、一般的に第３図のように反応室内の供給
位置２ｏと取出位置１９及びローダからの供給位置２２
とアンローダへの取出位置２３を別にするアーム割出方
式が用いられている。

発明が解決しようとする問題点 ところが、この方式ではウェハの搬入・搬出を同時に行
うことができず、搬送に時間を要するという問題があり
、さらに、アーム停止位置が反応室内の供給位置２０と
取出位置１９、ローダからの供給位置２２とアンローダ
への取出位置２３及び定位置の６ケ所必要で、アームが
大きくなるばかりか角度制御も複雑になるという問題が
あった。

本発明は従来のこのような問題点に鑑み、搬送時間を短
かくできると共に装置がコンパクトなウェハ搬送装置の
提供を目的とする。

問題点を解決するだめの手段 本発明のウェハ搬送装置は、ウェハを供給するローダ部
と、ウェハを取出すアンローダ部と、ウェハ処理部との
間のウェハ搬送装置であって、ウェハをベルト搬送する
予備室の両側に前記ローダ部とアンローダ部を接続し、
この予備室の中間部と前記ウエノ・処理部との間でウエ
ノ・を受渡しするダブル移載アームを配設したことを特
徴とする特許である。

作　　　用 本発明は上記構成を有するので、ローダ部から供給され
たウェハをベルト搬送して予備室の中間部に位置させた
状態でダブル移動アームを作動させることにより、ウェ
ハ処理部で処理済のウェハを予備室の中間部に取り出す
と同時に未処理のウェハをウェハ処理部内供給すること
ができ、予備室の中間部に取り出した処理済ウェハをア
ンローダ部にベルト搬送する間に次のローダ部から供給
されたウニ・へを中間部に搬送することができ、以上の
動作を繰り返すことによりウェハ処理部に対するウェハ
の搬入・搬出を短時間で能率的に行うことができる。

実施例 以下、本発明の実施例を第１図及び第２図にもとづいて
説明する。ローダ１及びアンローダ４はそれぞれ３＠の
カセット室１０から構成され、それぞれロータリポンプ
及びメカニカルブースタポンプによって真空引したり、
Ｎ２ガスによって大気に戻すことができる。

各カセット室１０と予備室２はゲート了ａによって分離
されている。カセット室１０には、モータによって上昇
・下降可能なカセット台（図示せず）が配設されると共
にカセット台上のカセットからウェハを予備室２内に向
って搬出するベルト（図示せず）が設けられている。

予備室２は同様にロータリポンプ及びメカニカルブース
タポンプによって真空引することができる。予備室２と
反応室３はゲー）７ｂによって分離されている。予備室
２内には、ローダ１に対応するポジション２”　ｒ　２
　ｂ　、　２　ｃ　、中間部のポジション２ｄ、アンロ
ーダ４に対応するポジション２ｅ　、２ｆ　、２ｇ　、
及び中間部のポジション２ｄと反応室３内のポジション
３ａとの間のポジション２ｈが設けられ、各ポジション
には光ファイバーの透過型センサーが設けられてウェハ
の有無を検出できる。ポジション２ａと２ｄ間、２ｄと
２ｑ間は搬送ベルトが設けられている。前記ポジション
２ｄと２ｈ間及び２ｈと３ａ間は供給アーム８と取出ア
ーム９を備えたダブル移載アームにて同時にウェハ移載
できるように構成されている。

反応室３は同様にロータリポンプ及びメカニカルブース
タポンプによって真空引することができ圧力制御できる
。反応室３内のサセプタ５上には１１枚のウェハを載せ
ることができ、時計回りに回転する。又、サセプタ６の
原点検出とピッチ検出が可能でポジション３ａを原点と
し、１枚目のウェハを搬入する。反応室３では、上部及
び下部電極でサセプタ６を加熱でき、温調器によって約
３００℃に制御されたサセプタ５上のウェハは、真空度
的３００ｍＴＯＲＲ下で反応ガスを供給し、高周波電源
１〜２ＫＷでプラズマを発生させ、ウェハに薄膜を形成
することができる。

前記の供給アーム８と取出アーム９の作動機構は、第２
図ａ、ｂに示すように、アーム移載モータ１１を回転さ
せるとトルクテンダー１２．ギヤボックス１３を通じて
供給アームカム１４ａと取出アームカム１４ｂが同時に
回転する。このカムの形状にそってカムフォロア１５ａ
　、　１５ｂが扇形ギヤを有するレバー１６ａ、１６ｂ
を動かし、それぞれ中間ギヤ１７を通じてアーム駆動ギ
ヤ列１８ａ、１８ｂが回転し、供給アーム８及び取出ア
ーム９が同期して動くように構成されている。

次に実施例による作用を第１図とウェハポジションの流
れを示す第１表にもとづいて説明する。

サセプタ６上に処理済ウェハが１１枚ある状態で、ウェ
ハ搬出のためサセプタ６を回転させながら原点検出する
。それと並行して未処理ウェハをポジション１ａ、１ｂ
、ＩＣのいずれかからベルト搬送しポジション２ｄへ運
ぶ。ここでウェハの向きを一定にするためのオリエンタ
ルフラット合わせ（姿勢規制）を行う。次に、カム１４
ａ。

１４ｂを半回転させると供給アーム８が動きポジション
２ｄのウェハは２ｈの移載される。供給アーム８に連動
して取出アーム９がポジション２１１’から２ｄへ動く
。この時ポジション２ｈ′にはウェハがないのでポジシ
ョン２ｄにはウェハが移載されない。（ステップ１） さらに、カム１４ａ、１４ｂを半回転させると取出アー
ム９がポジション３ａのウェハをポジション２　ｈ’へ
移載する。取出アーム９に連動して供給アーム８が動く
とポジション２ｈのウェハはポジシラン３ａへ移載され
る。この処理と並行してローダからは次のウェハがポジ
ション２ｄへ搬送サレ、オリエンタルフラット合わせを
している。

（ステップ２） 次に、カム１４ａ、１４ｂを半回転させると供給アーム
８が動いてポジション２ｄのウェハは２ｈへ移載される
。供給アーム８に連動して取出アーム９が動きポジショ
ン２ｈ′のウェハがポジション２ｄへ移載される。

この処理と並行してサセプタが１ピッチ回転しポジショ
ン３ａには２番目の処理済ウエノ・が来る。

（ステップ３） さらに、カム１４ａ、１４ｂ回転させると取出アーム９
が動いてポジション３ａのウェハをポジション２ｈ′へ
移載する。取出アーム９に連１読して供給アーム８が動
きポジション２ｈのウェハはポジション３ａへ移載され
る。この処理と並行してポジション２ｄのウェハはポジ
ション４ａ　、　４ｂ　。

４ｃのいずれかへベルト搬送され、ローダからは次のウ
ェハがポジション２ｄへ搬送されてオリエンタルフラッ
ト合わせする。（ステップ４）このようにしてステップ
２３まで処理すると反応室３内のすべてのウェハを最小
時間で交換できる。

第　　　１　　　表 「 Ｎ１〜１１・・団・未処理ウェハ ０１〜１１・・・・・・処理済ウェハ 発明の効果 本発明のウェハ搬送によれば、ダブル移載アームを用い
てウェハ処理部と予備室の中間部との間でのウェハ供給
と取出しを同時に行え、かつ中間部とローダ部及びアン
ローダ部間の搬送もベルト搬送にて同期して搬送できる
ため、ウェハ処理部に対するウェハの出し入れ搬送時間
を大幅に短縮できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明をプラズマＣＶＤ装置に適用した一実施
例の全体概略平面図、第２図ａはダブル移載アームの、
駆励機構の構成図、同すは同アームの動作説明図、第３
図は従来のウェハ移載装置の動作を示す平面図である。 １・・・・・ローダ、２・・・・・・予備室、３・・・
・・・反応室（ウェハ処理部）、４・・・・・・アンロ
ーダ、８・・・°゛°供給アーム、９・・・・・・取出
アーム。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第３
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハを供給するローダ部と、ウェハを取出すアンロー
   ダ部と、ウェハ処理部との間のウェハ搬送装置であって
   、ウェハをベルト搬送する予備室の両側に前記ローダ部
   とアンローダ部を接続し、この予備室の中間部と前記ウ
   ェハ処理部との間でウェハを受渡しするダブル移載アー
   ムを配設したことを特徴とするウェハ搬送装置。