JPH0314723B2 - - Google Patents
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- JPH0314723B2 JPH0314723B2 JP59181968A JP18196884A JPH0314723B2 JP H0314723 B2 JPH0314723 B2 JP H0314723B2 JP 59181968 A JP59181968 A JP 59181968A JP 18196884 A JP18196884 A JP 18196884A JP H0314723 B2 JPH0314723 B2 JP H0314723B2
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- belt conveyor
- spinner
- support member
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- conveyor
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 37
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 36
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は搬送装置に関する。特に、半導体ウエ
ーハ等の被搬送物をスピナー等の処理装置よりな
る支持部材上に搬送する搬送装置において、上記
の処理装置を使用してなす処理作業に使用される
処理領域のスペースフアクタを向上する改良に関
する。
ーハ等の被搬送物をスピナー等の処理装置よりな
る支持部材上に搬送する搬送装置において、上記
の処理装置を使用してなす処理作業に使用される
処理領域のスペースフアクタを向上する改良に関
する。
半導体装置の製造工程において、半導体ウエー
ハ・フオトマスク・レチクル等はベルトコンベア
等の搬送装置によつて自動的に搬送されることが
一般である。
ハ・フオトマスク・レチクル等はベルトコンベア
等の搬送装置によつて自動的に搬送されることが
一般である。
例えば、フオトレジストをスピンコートするス
ピナーに半導体ウエーハ等の被搬送物を搬送する
場合は、従来の技術においては、下記するような
２種の搬送装置が使用されている。
ピナーに半導体ウエーハ等の被搬送物を搬送する
場合は、従来の技術においては、下記するような
２種の搬送装置が使用されている。
第１の従来技術例
第２図参照
１はベルトコンベアであり、その上に乗せられ
る半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて
示す）を図において右方向に移動する。３はテー
ブルでありベルトコンベア１によつて送られてき
た半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて
示す）を受け取つて支持する。半導体ウエーハ等
の被搬送物２（破線をもつて示す）の受け取りを
容易確実にするため、ベルトコンベア１に対向し
て設けられた切り込み３１中にベルトコンベア３
２が設けられている。また、テーブル３の中心部
には、図において右方向に向つて切り込み３３が
設けられている。半導体ウエーハ等の被搬送物２
（破線をもつて示す）が乗せられると、テーブル
３は、図において右方向に移動する。４１はスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材４のエアチヤ
ツク部である。テーブル３の切り込み３３の奥部
とスピナー等の処理装置よりなる支持部材４のエ
アチヤツク部４１とが対応する位置でテーブル３
は移動を止め、エアチヤツク部４１は切り込み３
３を貫通して上昇して半導体ウエーハ等の被搬送
物２（破線をもつて示す）をテーブル３から受け
取つて支持する。半導体ウエーハ等の被搬送物２
（破線をもつて示す）をスピナー等の処理装置よ
りなる支持部材４のエアチヤツク部４１に渡して
空になつたテーブル３は図において左方向に移動
する。この場合、切り込み３３が存在するので、
エアチヤツク４１の存在にかゝわらず、テーブル
３は図において左方向に移動することができる。
る半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて
示す）を図において右方向に移動する。３はテー
ブルでありベルトコンベア１によつて送られてき
た半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて
示す）を受け取つて支持する。半導体ウエーハ等
の被搬送物２（破線をもつて示す）の受け取りを
容易確実にするため、ベルトコンベア１に対向し
て設けられた切り込み３１中にベルトコンベア３
２が設けられている。また、テーブル３の中心部
には、図において右方向に向つて切り込み３３が
設けられている。半導体ウエーハ等の被搬送物２
（破線をもつて示す）が乗せられると、テーブル
３は、図において右方向に移動する。４１はスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材４のエアチヤ
ツク部である。テーブル３の切り込み３３の奥部
とスピナー等の処理装置よりなる支持部材４のエ
アチヤツク部４１とが対応する位置でテーブル３
は移動を止め、エアチヤツク部４１は切り込み３
３を貫通して上昇して半導体ウエーハ等の被搬送
物２（破線をもつて示す）をテーブル３から受け
取つて支持する。半導体ウエーハ等の被搬送物２
（破線をもつて示す）をスピナー等の処理装置よ
りなる支持部材４のエアチヤツク部４１に渡して
空になつたテーブル３は図において左方向に移動
する。この場合、切り込み３３が存在するので、
エアチヤツク４１の存在にかゝわらず、テーブル
３は図において左方向に移動することができる。
スピンコートが完了した後半導体ウエーハ等の
被搬送物２（破線をもつて示す）を次工程に搬送
するにも同様のテーブル（図示せず）を利用する
ことができる。
被搬送物２（破線をもつて示す）を次工程に搬送
するにも同様のテーブル（図示せず）を利用する
ことができる。
第２の従来技術例
第３図参照
１はベルトコンベアであり、その上に乗せられ
る半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて
示す）を図において右方向に移動する。５は一対
のベルトコンベアであり、図に破線をもつて示す
位置まで、平行移動することができる。４はスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材であり４１は
そのエアチヤツク部である。半導体ウエーハ等の
被搬送物２（破線をもつて示す）をスピナー等の
処理装置よりなる支持部材４に装着するにあたつ
ては、一対のベルトコンベア５を図に実線をもつ
て示す位置にもたらし、ベルトコンベア１と同時
に動作させて半導体ウエーハ等の被搬送物２（破
線をもつて示す）をスピナー等の処理装置よりな
る支持部材４のエアチエツク部４１に対向する位
置まで移動し、ここで、一対のベルトコンベア５
を停止し、スピナー等の処理装置よりなる支持部
材４のエアチエツク部４１を動作させて半導体ウ
エーハ等の被搬送物２（破線をもつて示す）を支
持する。その後、一対のベルトコンベア５は図に
破線をもつて示す位置に移動してスピナー等の処
理装置４の運転に要するスペースを確保する。ス
ピンコートが完了した後は一対のベルトコンベア
５は再び図に実線をもつて示す位置に移動して半
導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて示
す）を支持し、ベルトコンベア１とは逆の方向に
配置される他のベルトコンベア（図示せず）と共
に動作して半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線
をもつて示す）を次工程に搬送する。
る半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて
示す）を図において右方向に移動する。５は一対
のベルトコンベアであり、図に破線をもつて示す
位置まで、平行移動することができる。４はスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材であり４１は
そのエアチヤツク部である。半導体ウエーハ等の
被搬送物２（破線をもつて示す）をスピナー等の
処理装置よりなる支持部材４に装着するにあたつ
ては、一対のベルトコンベア５を図に実線をもつ
て示す位置にもたらし、ベルトコンベア１と同時
に動作させて半導体ウエーハ等の被搬送物２（破
線をもつて示す）をスピナー等の処理装置よりな
る支持部材４のエアチエツク部４１に対向する位
置まで移動し、ここで、一対のベルトコンベア５
を停止し、スピナー等の処理装置よりなる支持部
材４のエアチエツク部４１を動作させて半導体ウ
エーハ等の被搬送物２（破線をもつて示す）を支
持する。その後、一対のベルトコンベア５は図に
破線をもつて示す位置に移動してスピナー等の処
理装置４の運転に要するスペースを確保する。ス
ピンコートが完了した後は一対のベルトコンベア
５は再び図に実線をもつて示す位置に移動して半
導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて示
す）を支持し、ベルトコンベア１とは逆の方向に
配置される他のベルトコンベア（図示せず）と共
に動作して半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線
をもつて示す）を次工程に搬送する。
第１の従来技術に係る搬送装置にあつては、ベ
ルトコンベア１とスピナー等の処理装置４との間
にテーブル３が配置されることが必須であり、ス
ペースフアクタが悪く、また、第２の従来技術に
係る搬送装置にあつては、搬送方向と直交する方
向にスピナー等の処理装置４の周囲にスペースを
必要とするばかりでなく、機構が複雑でしかも可
動部を有するベルトコンベアが、同様に回転体で
あるスピナー等の処理装置に近接して配置される
必要があるので、スペースフアクタが悪く、しか
も、操作上の制約も免れないという欠点がある。
ルトコンベア１とスピナー等の処理装置４との間
にテーブル３が配置されることが必須であり、ス
ペースフアクタが悪く、また、第２の従来技術に
係る搬送装置にあつては、搬送方向と直交する方
向にスピナー等の処理装置４の周囲にスペースを
必要とするばかりでなく、機構が複雑でしかも可
動部を有するベルトコンベアが、同様に回転体で
あるスピナー等の処理装置に近接して配置される
必要があるので、スペースフアクタが悪く、しか
も、操作上の制約も免れないという欠点がある。
本発明の目的は、上記欠点を解消し、半導体ウ
エーハ・フオトマスク・レチクル等の被搬送物
を、スピナー等の処理装置の処理領域に搬送する
搬送装置において、上記処理装置を使用してなす
処理作業に使用しうる処理領域を十分に確保する
ことを可能にする搬送装置を提供することにあ
る。
エーハ・フオトマスク・レチクル等の被搬送物
を、スピナー等の処理装置の処理領域に搬送する
搬送装置において、上記処理装置を使用してなす
処理作業に使用しうる処理領域を十分に確保する
ことを可能にする搬送装置を提供することにあ
る。
上記の目的は、ほゞ平行であり且つ離隔した状
態で被搬送物２をその上に乗せて搬送を行ない、
その１端７１を中心として他端が相互に離隔する
方向に回動可能とされている１対の搬送ベルト７
と、この１対の搬送ベルト７の前記の１端７１を
中心として前記の他端を回動させる回動機構７
５，７６と、前記の搬送ベルト７の前記の他端が
前記の１端７１を中心として回動した状態におい
て前記の搬送ベルト７に挟まれる空間に位置する
ことになり、上下方向に移動可能であり、その上
端位置において前記の被搬送物２を支持する機能
を有する支持部材４とを具備し、この支持部材４
上の領域が前記の被搬送２の処理領域とされるこ
とゝされている搬送装置をもつて達成される。
態で被搬送物２をその上に乗せて搬送を行ない、
その１端７１を中心として他端が相互に離隔する
方向に回動可能とされている１対の搬送ベルト７
と、この１対の搬送ベルト７の前記の１端７１を
中心として前記の他端を回動させる回動機構７
５，７６と、前記の搬送ベルト７の前記の他端が
前記の１端７１を中心として回動した状態におい
て前記の搬送ベルト７に挟まれる空間に位置する
ことになり、上下方向に移動可能であり、その上
端位置において前記の被搬送物２を支持する機能
を有する支持部材４とを具備し、この支持部材４
上の領域が前記の被搬送２の処理領域とされるこ
とゝされている搬送装置をもつて達成される。
本発明に係る搬送装置は、第１図ａ，ｂ、第４
図ａ，ｂ、第５図ａ，ｂに示すように、第１のベ
ルトコンベア６の搬送方向Ａに、第１のベルトコ
ンベア６に対向して、すなわち、第１のベルトコ
ンベア６によつて搬送されて来た半導体ウエーハ
等の被搬送物２がそのまゝ引き続き搬送されうる
ように第２のベルトコンベア７が設けられてお
り、この第２のベルトコンベア７は相互に平行し
ている２本の単位ベルトコンベアの組よりなり、
その１端７１を支点としてその搬送方向Ａから離
れる方向に回動しうるようにされているので、ま
ず、破線をもつて示す半導体ウエーハ等の被搬送
物２を第１のベルトコンベア６上から第２のベル
トコンベア７上に搬送する場合は、第２のベルト
コンベア７を図に実線をもつ示す姿勢にもたらし
て、第１のベルトコンベア６と第２のベルトコン
ベア７を同時に動作させて半導体ウエーハ等の被
搬送物２を第２のベルトコンベア７の上に移動
し、半導体ウエーハ等の被搬送物２をスピナー等
の処理装置よりなる支持部材４等の上に移し、第
２のベルトコンベア７を図に破線をもつて示す姿
勢にもたらせば、第２のベルトコンベア７のあつ
た空間はオープンスペースとなつて作業空間とし
て利用しうることになり、スペースフアクタが向
上する。そして、このオープンスペースに、スピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材４を配置する
ことができ、操作上も有利である。換言すれば、
搬送ベルト７に重なる位置に、処理領域となる支
持部材４を設けることができ、一方、搬送ベルト
７自身は、処理を実施する際には回動開脚するこ
とができるので、処理の邪魔にならない。
図ａ，ｂ、第５図ａ，ｂに示すように、第１のベ
ルトコンベア６の搬送方向Ａに、第１のベルトコ
ンベア６に対向して、すなわち、第１のベルトコ
ンベア６によつて搬送されて来た半導体ウエーハ
等の被搬送物２がそのまゝ引き続き搬送されうる
ように第２のベルトコンベア７が設けられてお
り、この第２のベルトコンベア７は相互に平行し
ている２本の単位ベルトコンベアの組よりなり、
その１端７１を支点としてその搬送方向Ａから離
れる方向に回動しうるようにされているので、ま
ず、破線をもつて示す半導体ウエーハ等の被搬送
物２を第１のベルトコンベア６上から第２のベル
トコンベア７上に搬送する場合は、第２のベルト
コンベア７を図に実線をもつ示す姿勢にもたらし
て、第１のベルトコンベア６と第２のベルトコン
ベア７を同時に動作させて半導体ウエーハ等の被
搬送物２を第２のベルトコンベア７の上に移動
し、半導体ウエーハ等の被搬送物２をスピナー等
の処理装置よりなる支持部材４等の上に移し、第
２のベルトコンベア７を図に破線をもつて示す姿
勢にもたらせば、第２のベルトコンベア７のあつ
た空間はオープンスペースとなつて作業空間とし
て利用しうることになり、スペースフアクタが向
上する。そして、このオープンスペースに、スピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材４を配置する
ことができ、操作上も有利である。換言すれば、
搬送ベルト７に重なる位置に、処理領域となる支
持部材４を設けることができ、一方、搬送ベルト
７自身は、処理を実施する際には回動開脚するこ
とができるので、処理の邪魔にならない。
以下、図面を参照しつゝ、本発明の実施例に係
る搬送装置についてさらに説明する。
る搬送装置についてさらに説明する。
第４図ａ，ｂ参照
第４図ａ，ｂは、本発明の実施例に係る搬送装
置の平面図と側面図である。６は第１のベルトコ
ンベアであり、その上に乗せられる半導体ウエー
ハ・フオトマスク・レチクル等の被搬送物２（破
線をもつて示す）を搬送方向Ａの方向に移動す
る。７は、相互に平行し離間している搬送ベルト
の一対よりなる開閉脚型の第２のベルトコンベア
であり、その１端７１を支点として開脚し図に破
線を持つて示す姿勢に回動可能である。４はスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材であり４１は
そのエアチヤツク部であり４２はスピン用モータ
である。半導体ウエーハ・フオトマスク，レチク
ル等２（破線をもつて示す）をスピナー等の処理
装置よりなる支持部材４に装着するにあたつて
は、一対よりなる第２のベルトコンベア７を図に
実線をもつて示す姿勢は閉脚し第１のベルトコン
ベア６と第２のベルトコンベア７とを同時に移動
させて半導体ウエーハ・フオトマスク・レチクル
等２（破線をもつて示す）を第２のベルトコンベ
ア７の上に移動する。スピナー等の処理装置より
なる支持部材４のエアチヤツク部４１を上昇して
半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて示
す）を支持する。第２のベルトコンベア７は図に
破線をもつて示す姿勢に開脚し、その中間にスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材４のための空
間を確保する。
置の平面図と側面図である。６は第１のベルトコ
ンベアであり、その上に乗せられる半導体ウエー
ハ・フオトマスク・レチクル等の被搬送物２（破
線をもつて示す）を搬送方向Ａの方向に移動す
る。７は、相互に平行し離間している搬送ベルト
の一対よりなる開閉脚型の第２のベルトコンベア
であり、その１端７１を支点として開脚し図に破
線を持つて示す姿勢に回動可能である。４はスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材であり４１は
そのエアチヤツク部であり４２はスピン用モータ
である。半導体ウエーハ・フオトマスク，レチク
ル等２（破線をもつて示す）をスピナー等の処理
装置よりなる支持部材４に装着するにあたつて
は、一対よりなる第２のベルトコンベア７を図に
実線をもつて示す姿勢は閉脚し第１のベルトコン
ベア６と第２のベルトコンベア７とを同時に移動
させて半導体ウエーハ・フオトマスク・レチクル
等２（破線をもつて示す）を第２のベルトコンベ
ア７の上に移動する。スピナー等の処理装置より
なる支持部材４のエアチヤツク部４１を上昇して
半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて示
す）を支持する。第２のベルトコンベア７は図に
破線をもつて示す姿勢に開脚し、その中間にスピ
ナー等の処理装置よりなる支持部材４のための空
間を確保する。
スピンコートが終了して半導体ウエーハ等の被
搬送物２（破線をもつて示す）を次工程に搬送す
るにあたつては、第２のベルトコンベア７を閉脚
して再び図に実線をもつて示す姿勢にもたらし、
スピナー等の処理装置４のエアチヤツク部４１を
下降させて半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線
をもつて示す）を第２のベルトコンベア７上に乗
せ、これと次段のベルトコンベア（図示せず）を
同時に動作させる。
搬送物２（破線をもつて示す）を次工程に搬送す
るにあたつては、第２のベルトコンベア７を閉脚
して再び図に実線をもつて示す姿勢にもたらし、
スピナー等の処理装置４のエアチヤツク部４１を
下降させて半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線
をもつて示す）を第２のベルトコンベア７上に乗
せ、これと次段のベルトコンベア（図示せず）を
同時に動作させる。
第５図ａ，ｂ参照
第５図ａ，ｂは、本発明の他の実施例に係る搬
送装置の平面図と、その主要部の側面図である。
第４図に示す実施例と異なるところは、本発明の
要旨に係る搬送ベルト７（相互に平行し離隔して
いる１対の単位ベルトコンベアよりなり、この１
対の単位ベルトコンベアのそれぞれが開閉脚さう
るようにされている搬送ベルト）が２組使用され
ていることである。図において、６は第１のベル
トコンベアでありインロード用である。その上に
乗せられる半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線
をもつて示す）は矢印Ａの方向に移動する。７ａ
は本発明の要旨に係り一対よりなる開閉脚型の第
２ベルトコンベア（インロード用）であり、その
１端７１を支点として開脚し図に破線をもつて示
す姿勢に回動可能である。この開閉脚動作は、モ
ータ９とこれによつて駆動される回動機構をなす
歯車７５とこれと噛み合つている歯車７６との組
み合わせ等によつてなされる。７４はウエーハサ
イドである。４はスピナー等の処理装置であり４
１はそのエアチヤツク部である。７ｂは、本発明
の要旨に係り７ａと同一構造の開閉脚型の第２の
ベルトコンベア（アイトロード用）であるが配置
方向が７ａの場合と逆にされている。両者がイン
ロード用であるに反し、後者はアウトロード用だ
からである。８は通常のベルトコンベアでありア
ウトロード用に使用され、半導体ウエーハ等の被
搬送物２（破線をもつて示す）は矢印Ａの方向に
移動する。
送装置の平面図と、その主要部の側面図である。
第４図に示す実施例と異なるところは、本発明の
要旨に係る搬送ベルト７（相互に平行し離隔して
いる１対の単位ベルトコンベアよりなり、この１
対の単位ベルトコンベアのそれぞれが開閉脚さう
るようにされている搬送ベルト）が２組使用され
ていることである。図において、６は第１のベル
トコンベアでありインロード用である。その上に
乗せられる半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線
をもつて示す）は矢印Ａの方向に移動する。７ａ
は本発明の要旨に係り一対よりなる開閉脚型の第
２ベルトコンベア（インロード用）であり、その
１端７１を支点として開脚し図に破線をもつて示
す姿勢に回動可能である。この開閉脚動作は、モ
ータ９とこれによつて駆動される回動機構をなす
歯車７５とこれと噛み合つている歯車７６との組
み合わせ等によつてなされる。７４はウエーハサ
イドである。４はスピナー等の処理装置であり４
１はそのエアチヤツク部である。７ｂは、本発明
の要旨に係り７ａと同一構造の開閉脚型の第２の
ベルトコンベア（アイトロード用）であるが配置
方向が７ａの場合と逆にされている。両者がイン
ロード用であるに反し、後者はアウトロード用だ
からである。８は通常のベルトコンベアでありア
ウトロード用に使用され、半導体ウエーハ等の被
搬送物２（破線をもつて示す）は矢印Ａの方向に
移動する。
半導体ウエーハ等の被搬送物２（破線をもつて
示す）をスピナー等の処理装置４に装着するにあ
たつては、モータ９を回転して回動機構をなす歯
車７５と７６とを回転させて１対よりなり開閉脚
型の第２のベルトコンベア（インロード用）７ａ
を図に実線をもつて示す姿勢に閉脚し、ベルト用
モータ７２を回転して搬送ベルト７３を動作させ
てこの第２のベルトコンベア（インロード用）７
ａを動作させる。このとき、第１のベルトコンベ
ア６も同時に動作して半導体ウエーハ等の被搬送
物２（破線をもつて示す）は第２のベルトコベア
（インロード用）７ａの上に移動する。スピナー
等の処理装置よりなる支持部材４のエアチヤツク
部４１を上昇して半導体ウエーハ等の被搬送物２
（破線をもつて示す）を支持する。開閉脚型の第
２のベルトコンベア（インロード用）７ａは図に
破線をもつて示す姿勢に開脚し、その中間にスピ
ナー等の処理装置４のための空間を確保する。
示す）をスピナー等の処理装置４に装着するにあ
たつては、モータ９を回転して回動機構をなす歯
車７５と７６とを回転させて１対よりなり開閉脚
型の第２のベルトコンベア（インロード用）７ａ
を図に実線をもつて示す姿勢に閉脚し、ベルト用
モータ７２を回転して搬送ベルト７３を動作させ
てこの第２のベルトコンベア（インロード用）７
ａを動作させる。このとき、第１のベルトコンベ
ア６も同時に動作して半導体ウエーハ等の被搬送
物２（破線をもつて示す）は第２のベルトコベア
（インロード用）７ａの上に移動する。スピナー
等の処理装置よりなる支持部材４のエアチヤツク
部４１を上昇して半導体ウエーハ等の被搬送物２
（破線をもつて示す）を支持する。開閉脚型の第
２のベルトコンベア（インロード用）７ａは図に
破線をもつて示す姿勢に開脚し、その中間にスピ
ナー等の処理装置４のための空間を確保する。
スピンコートが終了して半導体ウエーハ等の被
搬送物２（破線をもつて示す）を次工程に搬送す
るにあたつては、他の開閉脚型の第２のベルトコ
ンベア（アウトロード用）７ｂを閉脚して図に実
線をもつて示す姿勢にもたらし、スピナー等の処
理装置よりなる支持部材４のエアチヤツク部４１
を下降させて半導体ウエーハ等の被搬送物２（破
線をもつて示す）を他な開閉脚型の第２のベルト
コンベア（アウトロード用）７ｂ上に乗せ、これ
を次段のアウトロードコンベア８に向つて搬送す
る。なお、第５図ｂに示す１０は全体上下用シリ
ンダを示す。
搬送物２（破線をもつて示す）を次工程に搬送す
るにあたつては、他の開閉脚型の第２のベルトコ
ンベア（アウトロード用）７ｂを閉脚して図に実
線をもつて示す姿勢にもたらし、スピナー等の処
理装置よりなる支持部材４のエアチヤツク部４１
を下降させて半導体ウエーハ等の被搬送物２（破
線をもつて示す）を他な開閉脚型の第２のベルト
コンベア（アウトロード用）７ｂ上に乗せ、これ
を次段のアウトロードコンベア８に向つて搬送す
る。なお、第５図ｂに示す１０は全体上下用シリ
ンダを示す。
この実施例においては、スペースフアクタがさ
らに向上する。
らに向上する。
以上説明せるとおり、本発明に係る搬送装置
は、相互に離隔して配置される１対の単位ベルト
コンベアを有し、この１対の単位ベルトコンベア
は閉脚して相互に平行する姿勢と開脚してそれら
の間に空間の存在を許す姿勢との間を往復するこ
とができ、閉脚状態においては上記１対の単位ベ
ルトコンベアが被搬送物の搬送をなすことがで
き、開脚状態においては上記の空間に、処理装置
等をなす被搬送物支持部材が装入されることがで
き、この支持部材が上記の被搬送物の処理領域と
して使用されることゝされているので、本発明に
係る搬送装置は、被搬送物を処理領域に搬送する
搬送装置として機能し、また、搬送ベルトと重な
る位置に、処理領域となる支持部材を装入してこ
の搬送ベルトと重なる位置において被搬送物の処
理をなすことができ、スペースフアクタが向上す
る。
は、相互に離隔して配置される１対の単位ベルト
コンベアを有し、この１対の単位ベルトコンベア
は閉脚して相互に平行する姿勢と開脚してそれら
の間に空間の存在を許す姿勢との間を往復するこ
とができ、閉脚状態においては上記１対の単位ベ
ルトコンベアが被搬送物の搬送をなすことがで
き、開脚状態においては上記の空間に、処理装置
等をなす被搬送物支持部材が装入されることがで
き、この支持部材が上記の被搬送物の処理領域と
して使用されることゝされているので、本発明に
係る搬送装置は、被搬送物を処理領域に搬送する
搬送装置として機能し、また、搬送ベルトと重な
る位置に、処理領域となる支持部材を装入してこ
の搬送ベルトと重なる位置において被搬送物の処
理をなすことができ、スペースフアクタが向上す
る。
第１図ａ，ｂは、本発明に係る搬送装置の概念
的構成を示す平面図と側面図である。第２図、第
３図は従来技術に係る搬送装置の概念的構成図で
ある。第４図ａ，ｂは本発明の実施例に係る搬送
装置の概念的構成を示す平面図と側面図である。
第５図ａ，ｂは本発明の他の実施例に係る搬送装
置の概念的構成を示す平面図とその主要部の側面
図である。 １，３２，５……ベルトコンベア、２……半導
体ウエーハ等の被搬送物、３……テーブル、３
１，３３……切り込み、４……スピナー等の処理
装置よりなる支持部材、４１……エアチヤツク
部、６……第１のベルトコンベア、７……本発明
の要旨に係る搬送ベルト（相互に平行し、離隔し
ている単位ベルトコンベアの組よりなり開閉脚可
能とされている第２のベルトコンベア）、７ａ…
…本発明の要旨に係る開閉脚型の第２のベルトコ
ンベア（インロード用）、７ｂ……本発明の要旨
に係る開閉脚型の第２のベルトコンベア（アウト
ロード用）、７１……第２のベルトコンベアの一
端、７２……ベルト用モータ、７３……搬送ベル
ト、７４……ウエーハサイド、７５，７６……回
動機構（歯車）、８……アウトロード用のベルト
コンベア、９……モータ、１０……全体上下用シ
リンダ、Ａ……移送方向。
的構成を示す平面図と側面図である。第２図、第
３図は従来技術に係る搬送装置の概念的構成図で
ある。第４図ａ，ｂは本発明の実施例に係る搬送
装置の概念的構成を示す平面図と側面図である。
第５図ａ，ｂは本発明の他の実施例に係る搬送装
置の概念的構成を示す平面図とその主要部の側面
図である。 １，３２，５……ベルトコンベア、２……半導
体ウエーハ等の被搬送物、３……テーブル、３
１，３３……切り込み、４……スピナー等の処理
装置よりなる支持部材、４１……エアチヤツク
部、６……第１のベルトコンベア、７……本発明
の要旨に係る搬送ベルト（相互に平行し、離隔し
ている単位ベルトコンベアの組よりなり開閉脚可
能とされている第２のベルトコンベア）、７ａ…
…本発明の要旨に係る開閉脚型の第２のベルトコ
ンベア（インロード用）、７ｂ……本発明の要旨
に係る開閉脚型の第２のベルトコンベア（アウト
ロード用）、７１……第２のベルトコンベアの一
端、７２……ベルト用モータ、７３……搬送ベル
ト、７４……ウエーハサイド、７５，７６……回
動機構（歯車）、８……アウトロード用のベルト
コンベア、９……モータ、１０……全体上下用シ
リンダ、Ａ……移送方向。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ほぼ平行であり、且つ離隔した状態で被搬送
物２をその上に乗せて搬送を行ない、１端７１を
中心として他端が相互に離隔する方向に回動可能
とされている１対の搬送ベルト７と、 該１対の搬送ベルト７の前記１端７１を中心と
して前記他端を回動させる回動機構７５，７６
と、 前記搬送ベルト７の前記他端が前記１端７１を
中心として回動した状態において前記搬送ベルト
７に挟まれる空間に位置して、上下に移動可能で
あり、その上端位置において前記被搬送物２を支
持する支持部材４と を具備し、 該支持部材４上の領域が前記被搬送物２の処理
領域とされてなる ことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181968A JPS6160509A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 搬送装置 |
| US06/767,466 US4685551A (en) | 1984-08-31 | 1985-08-20 | Delivery apparatus |
| DE8585401684T DE3565667D1 (en) | 1984-08-31 | 1985-08-27 | Delivery apparatus |
| EP85401684A EP0174252B1 (en) | 1984-08-31 | 1985-08-27 | Delivery apparatus |
| IE2151/85A IE57169B1 (en) | 1984-08-31 | 1985-08-30 | Delivery apparatus |
| KR8506331A KR890002396B1 (en) | 1984-08-31 | 1985-08-30 | Delivery apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59181968A JPS6160509A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6160509A JPS6160509A (ja) | 1986-03-28 |
| JPH0314723B2 true JPH0314723B2 (ja) | 1991-02-27 |
Family
ID=16110009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59181968A Granted JPS6160509A (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | 搬送装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4685551A (ja) |
| EP (1) | EP0174252B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6160509A (ja) |
| KR (1) | KR890002396B1 (ja) |
| DE (1) | DE3565667D1 (ja) |
| IE (1) | IE57169B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4496447B2 (ja) * | 2000-07-06 | 2010-07-07 | 株式会社Ｉｈｉ | 基板移載装置 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01185455A (ja) * | 1988-01-20 | 1989-07-25 | Nec Home Electron Ltd | 機能検査システム |
| US4846334A (en) * | 1988-02-29 | 1989-07-11 | Eagle-Picher Industries, Inc. | Conveyor for tire uniformity measurement machine |
| US5421446A (en) * | 1993-03-12 | 1995-06-06 | United Parcel Service Of America, Inc. | Article diverter apparatus for use in conveyor systems |
| US6073342A (en) * | 1996-11-27 | 2000-06-13 | Fuji Machine Mfg., Co., Ltd. | Circuit-substrate-related-operation performing system |
| JP5259907B2 (ja) * | 2000-09-01 | 2013-08-07 | クロッシング オートメーション インコーポレイテッド | 加工ツール、加工物を位置合わせする方法、及び加工物を次々に加工する方法 |
| US6530157B1 (en) | 2001-09-04 | 2003-03-11 | Process Integration | Precise positioning device for workpieces |
| US7416073B1 (en) * | 2007-02-09 | 2008-08-26 | Geo. M. Martin Company | Diverting flat belt support system |
| US8776391B1 (en) | 2007-04-13 | 2014-07-15 | Align Technology, Inc. | System for post-processing orthodontic appliance molds |
| EP3929120A4 (en) * | 2019-02-19 | 2022-11-23 | Murata Machinery, Ltd. | TRANSPORT SYSTEM |
| US20230124666A1 (en) * | 2019-10-02 | 2023-04-20 | Soroosh Mahmoodi | Two-axis spin coating method and apparatus |
| CN116573336B (zh) * | 2023-07-12 | 2023-09-12 | 江苏久亿矿山机械有限公司 | 一种煤矿刮板输送机 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3860232A (en) * | 1971-07-08 | 1975-01-14 | Merrill David Martin | Adjustable stacker layboy |
| US3840064A (en) * | 1972-08-02 | 1974-10-08 | Acme Cleveland Corp | Core and mold transfer device |
| JPS50118283U (ja) * | 1974-03-14 | 1975-09-26 | ||
| US4217977A (en) * | 1978-09-15 | 1980-08-19 | The Silicon Valley Group, Inc. | Conveyor system |
| JPS5643158U (ja) * | 1979-09-11 | 1981-04-20 | ||
| US4534157A (en) * | 1982-06-29 | 1985-08-13 | Figgie International Inc. | Case lift outfeed apparatus |
| JPS5978538A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-07 | Toshiba Corp | ダイボンダ装置 |
| US4507078A (en) * | 1983-03-28 | 1985-03-26 | Silicon Valley Group, Inc. | Wafer handling apparatus and method |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP59181968A patent/JPS6160509A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-20 US US06/767,466 patent/US4685551A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-08-27 DE DE8585401684T patent/DE3565667D1/de not_active Expired
- 1985-08-27 EP EP85401684A patent/EP0174252B1/en not_active Expired
- 1985-08-30 KR KR8506331A patent/KR890002396B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1985-08-30 IE IE2151/85A patent/IE57169B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4496447B2 (ja) * | 2000-07-06 | 2010-07-07 | 株式会社Ｉｈｉ | 基板移載装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0174252A1 (en) | 1986-03-12 |
| JPS6160509A (ja) | 1986-03-28 |
| EP0174252B1 (en) | 1988-10-19 |
| IE852151L (en) | 1986-02-28 |
| DE3565667D1 (en) | 1988-11-24 |
| US4685551A (en) | 1987-08-11 |
| KR890002396B1 (en) | 1989-07-03 |
| IE57169B1 (en) | 1992-05-20 |
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