JPH04171187A - マスクなどの搬送に使用される把持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はマスクなどの搬送に使用される把持装置に関す
る。

（従来の技術） マスクの加工工程に於いては化学的・物理的な表面処理
、フォトレジスト塗布及び、現像などのフォトリソグラ
フ処理などが行われる。

これら処理に於けるマスクの搬送にあってはマスクが機
械的な衝撃に弱く、また不純物を嫌うことから、特別な
注意が必要となる。またマスク搬送はイ？ラインシステ
ムを構成する上で重要な機能であり、製品のクリーン度
とスループットに大きな影響を与えるものとなる。

斯かるマスク搬送に使用される従来の装置としては、例
えばマスクの載置されたベルトを移動させることにより
搬送するようになしたベルト搬送装置とか、或いはマス
クの裏面を真空チャックで吸着保持させた状態で同チャ
ックを移動させることにより搬送するようになした裏面
吸着搬送装置などが知られている。

（発明が解決しようとする課題） 上記した在来のベルト搬送装置にあっては、マスクの移
送時にベルト駆動機構の摩擦部分や回転部分などでダス
トが発生し、これがマスクに付着して歩留りを低下させ
るという弊害が生じるのである。

また裏面吸着搬送装置にあっては、マスクの搬送中に真
空チャックの吸着面とマスク裏面との密着性が不完全と
なってバキュームリークが発生し、これがマスクの局部
温度低下を誘発するものとなって塗膜の均一性を悪化さ
せたり、リーク発生に伴いダストが巻き寄せられてマス
ク上に付着するという弊害が生じるのである。

さらに再装置に共通して言えることであるが、マスク裏
面と接触される材料に如何なるものを選択すべきか或い
は、搬送時のマスクのスリップをどのようにして防止す
るかなどの問題が残されている。

本発明は上記の如き問題点を抑制し或いは全く生じさせ
ることのない合理的なマスク搬送を実現させ得る新規な
把持装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明では、ステージに載置さ
れた被搬送品の一方の対向辺部を両側から挟持するため
の把持手段と同搬送品の前記対向辺部と直交した対向辺
部を同様に両側から挟持するための別の把持手段とを設
け、各把持手段は時間差をもって作動されるものとなし
たことを特徴とする。

このさい、ステージには被搬送品の周縁部を支持するた
めの複数の支持ビン（突起又は突条を含む、）を起立さ
せるようになす。

（作用） 二つの対向辺部を両側から挟持する把持手段は何れか一
方が先に作動され、他方が遅れて作動されることから、
マスクなどの被搬送品を垂直軸廻りの回転ずれを生じさ
せない状態で一定位置に正確且つ安定的に把持し得るも
のとなる。

この後、このように把持された被搬送品は本発明装置と
共に移動されることにより搬送されるのであってその途
中では慣性力を受けるが、二つの把持手段はその係止作
用により被搬送品を一定位置に正確に保持し続ける。そ
して搬送が終了すると、他のユニットに被搬送品を受は
渡す時二つの把持手段は被搬送品をそれまで把持してい
た位置に解放するのである。

また支持ビンは被搬送品の周縁部を支持して被搬送品の
有効エリアとステージとの直接接触を生じさせないよう
に機能する。

（実施例） 以下、本発明の具体的な実施例を図面により詳細に説明
する。

第１図は本発明装置の全体図に係り、（ａ）は平面図（
ｂ）はＸ−Ｘ部断面図そして（ｃ）はｙ−ｙ部断面図、
第２図（ａ）及び（ｂ）は一部を省略した平面図、第３
図及び第４図は作動説明図である。

図に於いて、ｌは水平な平板部材で一定個所にはステー
ジ３が形成される。該ステージ３は平板部材１の周囲で
ある一辺の中央個所から延出させた比較的長い張出部１
ａと同辺の両端個所から延出させた比較的短い一対の張
出部１ｂ、１ｂとからなっており、各張出部１ａ、ｌｂ
、ｌｂの先端にはマスクなどの被搬送品ｍの周縁部を支
持するための支持ビン２・・・が起立させである。

３及び４は何れも前記平板部材１に固定された側面部材
でこれらの接続位置には支持板５がこれら側面部材３．
４と一体に固定されている。なお５ａは該支持板５の中
央個所に設けられた透孔である。

６はロータリ・アクチエエータ（モーターも含む）で前
記支持板５の下面に固定されると共にその出力軸６ａは
前記透孔５ａを通じて同支持板５の上方べ貫通されてな
る。そして前記出力軸６ａの先端には方形状のローラ取
付板７が固定させてあってその上下各面には第２図に示
すように各−対の駆動用ローラ８ａ及び８ｂと９８及び
９ｂとが設けである。

１Ｇは前記支持板５の上面に止着されたガイドレール、
そして１１は同支持板５と同体に固定された鉤状部材１
２の上面に止着されたガイドレールであり、これら二つ
のガイドレール１０．１１は直交した状態になされてい
る。

そして前者ガイドレール１０にはこれに嵌合された複数
の摺動部材１３・・を介することにより二つの板部材１
４ａ、１４ｂを各々独立に案内させると共に各板部材１
４ａ、１４ｂには一定形状のスリットに１、ｋｌを設け
てこれに前記一対のローラ８ａ、８ｂを内嵌させ、ロー
ラ取付板７が出力軸６ａ廻りに揺動変位されることで二
つの板部材１４ａ、１４ｂがガイドレール１０に沿って
近接・離反されるようになしである。

また後者ガイドレール１１にもこれに嵌合された複数の
摺動部材１５・・を介することにより二つの板部材１６
ａ、１６ｂを各々独立に１案内させると共に各板部材１
６ａ、１６ｂには一定形状のスリン）ｋ２、ｋ２を設け
てこれに前記一対のローラ９ａ、９ｂを内嵌させ、ロー
ラ取付板７が出力軸６ａ廻りに揺動変位されることで二
つの板部材１６ａ、１６ｂがガイドレール１１に沿って
近接・離反されるようになしである。

しかして前記板部材１４ａには張出部１ａに沿った延長
部１７が設けられると共にその先端部上面には把持爪ｃ
ｌが設けられており、また他方の板部材１４ｂにはその
各側部に延長部１８ａ１１８ｂが設けられると共にこれ
らの各先端は前記各張出部１ｂ、１ｂの上面側に位置す
るようになされるほか、各部１８ａ、１８ｂの先端には
把持爪Ｃ２、ｃ２が固定されている。なお、１８ｃは板
部材１４ｂに固定された補強部材である。

また、別の二つの板部材１６ａ、１６ｂにはガイドレー
ル１１に沿って互いに異なる側方へ向かう張出部１９ａ
、１９ｂが設けられると共にこれら双方をさらに前記張
出部１ｂ、１ｂに沿って延長させるための延長部２０ａ
、２０ｂが設けられ、且つこれら各先端の上面には把持
爪ｃ３、ｃ３が設けられている。

なお、上記把持爪ｃ１、ｃ２、ｃ３による把持力が図示
しないスプリングなどの弾力を調整することにより適宜
に変化させ被搬送品の周縁部の破損を防止することが好
ましい。

このように構成した本発明品は例えば往復揺動される移
送アームに固定するか或いはモーターでプーリーを回す
ことで変位自在に案内される無端状のタイミングベルト
で固定するなどして使用する。

次に本発明装置の作用をマスクの搬送について説明する
。マスクｍは既存の適宜な移載装置により一定位置に一
時停止された本発明装置のステージＳ上に移載される。

このように移載されたマスクｍはその周縁部を複数の支
持ピン２・・・で水平に支持されるものとなる。このさ
い、支持ピン２・・・が一般にはマスクｍの有効エリア
外の位置を支持するものとなされていることからマスク
ｍの有効エリア内を傷つけるようなことは生じない。

この後ロータリ・アクチュエータ６が作動を開始される
のであり、これにより出力軸６ａｓローラ取付板７及び
ローラ８ａｓ　８ｂｓ　９ａｓ　９ｂが第３図に示され
る矢印方向ｆｌへ回転変位されるものとなる。

そしてローラ８ａｓ　８ｂ１９ａ１９ｂなどが第２図に
示される初期位置から第３図に示される中間位置、即ち
出力軸６ａ廻りに４５度回転変位されるまでの第一段階
では、二つの板部材１４ａ、１４ｂはスリットｋｌ、ｋ
ｌがローラ８ａ、８ｂの移動軌跡と合致されているため
全く変位しないのであり、また他方の板部材１６ａ、１
６ｂは各スリットに２、ｋ２がローラ９ａ、９ｂの移動
軌跡よりも外側へ漸次外れたものとなされているためロ
ーラの回転変位に伴って徐々に両方向より近接され、各
板部材１６ａ、１６ｂと同体の一対の把持爪Ｃ３、ｃ３
はマスクｍの一方の対向辺部をマスクｍの変位ずれを修
正しながら挟持するものとなる。

次いでローラ８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂなどが第３図に示
される位置から第４図に示される最終位置、即ち出力軸
６ａ廻りにさらに４５度矢印方向ｆ２へ回転変位される
までの第二段階では、一方の二つの板部材１４ａ、１４
ｂの各スリットに１、ｋｌがローラ８ａ、８ｂの移動軌
跡よりも外側へ漸次外れたものとなされているためロー
ラ８ａ、８ｂの回転変位に伴ってこれら板部材１４ａ、
１４ｂは徐々に両方向より近接され、各板部材１４ａ、
１４ｂと同体の一対の把持爪Ｃ１、ｃ２はマスクｍの他
方の対向辺部を出来るだけマスクｍの変位ずれを修正し
ながら挟持するものとなり、また他方の板部材１６ａ、
１６ｂの各スリットに２、ｋ２はローラ９ａ、９ｂの移
動軌跡に合致したものとなされているため一対の把持爪
Ｃ３、Ｃ３はマスクｍの把持状態を維持したまま全く変
位しないのである。

かくしてマスクｍはその四辺部を把持爪Ｃ１、ｃ２など
からなる把持手段Ｈ１と他の把持爪Ｃ３、Ｃ３などから
なる把持手段Ｈ２とで挟持された状態となる。

このさい各把持手段Ｈ１、Ｈ２が時間差をもってマスク
ｍを挟持するものとなるため、マスクｍは全通を同時に
挟持されたさいに発生していた垂直軸廻りの回転ずれの
生じない状態で一定位置に正確に把持されるものとなる
のである。

このようにマスクｍが把持されると、本発明装置の全体
は適宜な移送アームやタイミングベルトなどを介して他
所へ移動されるのであるが、このさいマスクｍに慣性力
などが作用するものとなってもマスクｍは二つの把持手
段Ｈ１、Ｈ２でしっかりと把持されているためその位置
ずれが発生する虞は全くない。

しかして本発明装置が移動を終えステージＳを水平姿勢
となされて一定位置に停止されると、前述したマスクｍ
の把持の場合とは逆の順序で各部が作動され、各把持手
段Ｈ１、Ｈ２はマスクｍをそれまで把持していた位置に
解放するものとなる。

こうして搬送されえマスクｍは適宜な移載装置などによ
り所要の場所、例えばキャリアなどへ移される。このさ
い、マスクｍはステージＳ上の一定位置に解放されてい
ることから、アライメント装置によるその位置修正を行
わないでも直接にキャリアに挿入させることが可能とな
る。

上記実施例に於いては４つのローラ８ａ、８ｂ、９ａ、
９ｂを一つのロータリ・アクチュエータ６で回転変位さ
せるようになしたが、そのうちの二つのローラ８ａ及び
８ｂ又は、９ａ及び９ｂを別のロータリ・アクチュエー
タで変位させるようになしてもよい。

また把持手段Ｈ１，Ｈ２の把持爪数をそれぞれ３．２点
で挟持させるようになしたが、両把持爪数を増加させた
挟持方法も可能である。更に、二つの対向辺部の把持を
Ｈ２からＨｌの順序で挟持するようになしたが逆順序で
行えるようになしてもよい。

（発明の効果） 上記した本発明によれば、ベルト搬送装置や裏面吸着搬
送装置に於いて必要であったベルトやバキュームを必要
としないでマスクの搬送が行えるものとなり、したがっ
てベルトやバキュームなどに関連して生じていた従来の
問題は軽減されるか或いは全（生じないものとなるので
ある。

またマスクは垂直軸廻りの回転ずれを伴うことな（一定
位置に正確且つ安定的に把持されるようになるため搬送
後に於けるアライメント装置によるｉの位置修正は必要
ないものとなり、例えば搬送を終えたマスクを位置修正
することなくキャリアなどに直接に挿入できるのである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の全体図に係り、（ａ）は平面図（
ｂ）はｘ−ｘ部断面図そして（ｃ）はｙ−ｙ部断面図、
第２図（ａ）及び（ｂ）は一部を省略した平面図、第３
図（ａ）及び（ｂ）そして第４図（１）及び（ｂ）は何
れも一部を省略した作動説明図である。 Ｈｌ及びＨ２・・・把持手段、ｍ・・・被搬送品、Ｓ・
・・ステージ、２・・・支持ピン。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ステージに載置された被搬送品の一方の対向辺部
   を挟持するための把持手段と同搬送品の前記対向辺部と
   直交した対向辺部を挟持するための別の把持手段とを設
   け、各把持手段は時間差をもって作動される構成となさ
   れていることを特徴としたマスクなどの搬送に使用され
   る把持装置。
2. （２）ステージには複数の支持ピンが起立させてあり、
   被搬送品はこれらピンによりその周縁部を支持されるこ
   とを特徴とする請求項１記載のマスクなどの搬送に使用
   される把持装置。