JPH02292196A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はウェーハ搬送装置に係わり、さらに詳細にいえ
ばウェーハ搬送装置におけるウェーハ求心機構に関する
。

［従来技術］ ウェーハの検査等にあたっては、ウェーハを保管するバ
スケットからこれを取り出し検査装置等に送込む必要が
ある。この搬送には従来バスケットから取り出したウェ
ーハをベルトにのせて吸着ステージ上まで送りステージ
にウェーハを吸ｉｔることが一般的であったが、発塵等
の問題から近時は気圧差を利用した吸着機構を有するエ
アピンセットをマニピュレータによりウェーハ裏面の一
部を吸着したまま搬送する、いわゆるエアピンセット方
式の搬送装置が普及している。

これらの搬送機構において検査装置等にウェーハを検査
装置等に送込むにｒでは、ウェーハの位置出しが必要と
ざれる。この位置出しを行う場合、一般的にはウェーハ
を載置するエアピンセット又はステージの吸着を一旦切
ってウェーハとエアピンセット又はステージとが相対的
に移動可能な状態で円形ウェーハの外径に一致する内径
を持つ心出しガイドをウェーハに押しあててウェーハの
求心が行われる。

［従来技術の問題点とその課題］ しかしながら、上記従来装置の心出し機構にはウェーハ
裏面の損傷やそれに伴う発塵等の問題があった。

即ち、ガイドをウェーハに押しあてることによりウェー
ハとエアピンセット又はステージとが相対的に移動する
場合、ウェーハ下面とこれを載置しているエアピンセッ
ト又はステージが擦れ合うために、エアピンセット又は
ステージがセラミック，石英等の硬質材料であるときに
はウェーハ裏面の損傷やそれに伴い発塵等の問題が生じ
ていた。

これらの問題は良品率を向上ないし維持する上において
大きな問題となっていた。

本発明の目的は上記従来技術の欠点に鑑み、ウェーハ裏
面の損傷やそれに伴う発塵等の問題が生ぜず、ウェーハ
の品質管理に有用な心出し機構を有するウェーハ搬送装
置を提供することにある。

［ｊｌ題を解決するための千段］ 上記目的を達成するために本発明は、ウェーハの心出し
を含む位置出し手段を有し、所定の位置に置かれたウェ
ーハを検査装置等の装置へ受け渡すためのウェーハ搬送
装置において、前記心出し機構はウェーハの心出し用ガ
イドと、ウェーハを載置するエアピンセット又はステー
ジをウェーハが受ける力によりＸＹ方向に移動する移動
手段と、心出し終了時には該移動手段をロックする手段
とからなり、ウェーハを吸着したままエアピンセット又
はステージを移動することによって心出しを行うことを
特徴としている。

また、上記項の心出し用ガイドはウェーハの外径に略一
致する内径を持つことを特徴としている。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

衷凰■ユ 第１図は本発明の一実施例である心出し機構を説明する
ための構造図である。

１はオリエンテーションフラットを有するウェーハ、２
ａ．２ｂはウェーハ心出し用（求心用）ガイドでウェー
ハ１の外径に略一致する内径を持っている。これはウェ
ーハ１にはオリエンテーションフラットと称する部分が
あるのでこの部分がガイド２ａ，２ｂに接しても心出し
が可能なようにするためである。従って、外周部の変形
を小ざく押えたウェーハの場合にはガイドの内径の自由
度は大きくなる。心出し時に心出し用ガイド２ａ，２ｂ
はウｌ−ハ外周を左右方向から押す位置に移動する。

３はエアピンセットで、そこには吸引孔４が設けられて
おり、これによりウェーハを吸着固定する。

心出し時のウェーハの中心と心出し用ガイド２ａ，　２
ｂの内径を結ぶ円の中心との位置づれは直動ガイドと送
り体とからなるいわゆるＸＹステージ機構５．６により
エアピンセット３がウェーハ面に平行な平面方向に自由
に移動することによってこれを行う。

このＸＹステージ機構５．６は心出し終了時にはロック
機構（図示せず）によりロックざれる。

このロック機構は例えば電磁ソレノイドにより押圧して
自由度を失わすものでよい。

７はエアピンセット３を移動させるマニビュレー夕部で
、本発明とは関係が薄いので図面上では単純な機構とし
ているがカム等を用いて複雑な動作をさせる機構とする
ことができる。

以上のような構成の実施例の動作を説明する。

マニピュレータ部７によりエアピンセット３をウェーハ
が収納されたバスケットまで移動し、真空引きされた吸
引孔４によりウェーハをエアピンセット３で吸着した後
、ウェーハを図示の求心位置に移動する。ウェーハが求
心位置に移動ざれたことを確認ざれると、２つのウェー
ハ心出し用ガィド２ａ，２ｂはウェー〆纂挟むようにウ
ェーハ側に等最移動する。

求心による位置ずれはＸ方向Ｙ方向に弱い力で移動する
ＸＹステージ機構５．６によって吸収ざれる。求心動作
完了とともにロック機構によりＸＹステージ機構５．６
が動かないように固定ざれる。その後、位置出し等を施
して検査装置等に受け渡す等の次の動作が行われる。

なお、これらの動作の全体はマイクロコンピュータ（図
示せず）等でコントロールする。

本実施例では心出し用ガイドは一対のものから構成ざれ
ているが、１つのものにもすることができる。この場合
のガイドの内径の円弧の長さは充分とりエアピンセット
をガイドに押すようにする。

！ｍ 第２図は本発明の第２の実施例を示す構造図である。

第１の実施例との相違点は求心による位置ずれを吸収す
る機構とウェーハ心出し用（求心用）ガイドの形状ない
し配置位置である。

本実施例ではエアピンセット３に吸着ざれたウェーハが
マニピュレータで移動ざれ、ウェーハ心出し用ガイド８
ａ，８ｂに押しつけられる。このときの位置づれはスラ
イド機構９と回転機構１０によって吸収ざれ、ウェーハ
の心出しが行われる。

マニビュレータ７と心出し用ガイドＢａ，Ｂｂとは互い
に干渉しない位置に配置する。

第１の実施例および第２の実施例は共にエアピンセット
方式のもので説明したが、搬送用ベルトと心出し用吸着
チャックを有するいわゆるベルト方式のものに対しても
吸着チャックをウェーハ面に平行な平面方向に自由に移
動することにより応用することができるのはいうまでも
ない。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、ウェーハを吸着したまま
エアピンセット又はステージを移動することによって心
出しを行うことができるので、ウ工一ハ裏面の損傷やそ
れに伴う発塵等の問題が必なくなり、良品率を向上ない
し維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である心出し機構を説明する
ための構造図、第２図は他の実施例を説明するための構
造図である。 １・・・・・・ウェーハ ２ａ，２ｂ・・・・・・心出し用（求心用）ガイド３・
・・・・・エアピンセット　４・・・・・・吸看孔５，
６・・・・・・ＸＹステージ機構 ７・・・・・・マニピュレータ部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェーハの心出しを含む位置出し手段を有し、所
   定の位置に置かれたウェーハを検査装置等の装置へ受け
   渡すためのウェーハ搬送装置において、 前記心出し機構はウェーハの心出し用ガイドと、ウェー
   ハを載置するエアピンセット又はステージをウェーハが
   受ける力によりＸＹ方向に移動する移動手段と、心出し
   終了時には該移動手段をロックする手段とからなり、ウ
   ェーハを吸着したままエアピンセット又はステージを移
   動することによつて心出しを行うことを特徴とするウェ
   ーハ搬送装置。
2. （２）第１項の心出し用ガイドはウェーハの外径に略一
   致する内径を持つことを特徴とするウェーハ搬送装置。 平面の微細形状の差を演算する手段とを有することを特
   徴とする試料形状測定装置。 （２）第１項の干渉縞を検出する干渉縞検出手段