CN111604921A - 一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，包括主体，所述主体外部设有工作区，所述主体于所述工作区内能左右运动，所述主体内设有联动腔，所述联动腔内固定设有联动电机，所述联动电机左右两端对称且动力连接设有转杆，右侧所述转杆外圆面且于所述联动腔内固定设有主动锥齿轮，本发明通过将硅晶片进行先除尘后输送的方式，先将硅晶片由吸盘固定，通过除尘口对硅晶片表面进行吹气除尘，再通过机器手将硅晶片左右两端夹住进行翻转，再对硅晶片背面进行除尘，机器手移动过程中带动硅晶片旋转达到全方位除尘效果，两侧吸尘口通过吸气防止灰尘扩散，避免硅晶片被二次污染。

Description

一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备
技术领域
本发明涉及机器人抓取设备技术领域，具体为一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备。
背景技术
在工业生产中，硅晶片被广泛运用于集成电路的制造，通过切割及研磨其表面的痕迹损伤后，硅晶片刻蚀数以百万计的晶体管以达到各种功能，而晶体管细小脆弱，硅晶片表面不能有任何灰尘或污染，刻蚀之前的清洗变得尤为重要，现有技术大多是在超净间工人穿洁净服进行工作，提高了各项成本。本发明阐明的一种能解决上述问题的装置。
发明内容
技术问题：刻蚀晶体管前，硅晶片大多在超净间且工作人员全身穿戴洁净服进行工作，而工作人员穿洁净服前各项清理工作也提高了成本，降低了效率。
为解决上述问题，本例设计了一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，本例的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，包括主体，所述主体外部设有工作区，所述主体于所述工作区内能左右运动，所述主体内设有联动腔，所述联动腔内固定设有联动电机，所述联动电机左右两端对称且动力连接设有转杆，右侧所述转杆外圆面且于所述联动腔内固定设有主动锥齿轮，左右两侧所述转杆远离所述联动电机一端穿过所述主体并延伸至所述工作区内，左右两侧所述转杆于所述工作区内一端固定连接有固定块，所述转杆于所述工作区内能左右滑动的滑动连接设有滑块，所述滑块前端固定连接设有推杆，所述主体上方固定连接设有控制块，所述控制块内且于所述联动腔正上方设有控制电机，所述控制电机与所述推杆上端电性连接，所述控制块左右两端固定连接设有连接杆，两侧所述连接杆远离所述控制块一端固定连接设有头部朝向所述工作区底部的深度相机，所述深度相机向下拍摄以确定硅晶片位置从而控制固定设有位于所述推杆下方的机器手装置，所述机器手装置与所述推杆之间能上下滑动的滑动连接设有伸缩杆，所述机器手装置固定连接于所述伸缩杆底部且随所述伸缩杆上下移动，左右两侧所述机器手装置之间固定设有除尘装置，所述除尘装置上端固定连接设有位于所述联动腔下方的转动装置底部，所述转动装置内包括设有开口向下的转动腔，所述转动腔内且于所述主体下端左右壁之间能转动的设有转动块，所述转动块上端轴心固定连接设有转动杆，所述转动杆连通于所述联动腔与所述转动腔且于所述联动腔内向上延伸至固定连接于位于所述联动腔内下端且与所述主动锥齿轮相啮合的从动锥齿轮，所述除尘装置下端且位于所述工作区内底部固定设有底座，机器手抓取位于所述底座左端的硅晶片并输送到位于所述底座右端的晶片盒内。
可优选地，所述转动块内中心固定设有吸气机，所述吸气机左右两端对称设有开口向下的吸气管，所述吸气机正下方固定设有升降电机，所述升降电机下端动力连接设有螺杆。
可优选地，所述除尘装置包括设有固定连接于所述转动块下端的升降固定块，所述螺杆远离所述升降电机一端向下延伸且贯通于所述升降固定块中心，所述螺杆下端固定连接设有螺杆固定块，所述螺杆上且位于所述升降固定块与所述螺杆固定块之间能上下滑动的滑动连接设有升降转动块，所述升降转动块前端表面固定连接设有开口向下的真空发生器，所述真空发生器与所述控制电机电性连接，所述真空发生器下端固定连接设有真空吸盘，所述升降固定块下端左右两侧对称固定连接设有升降固定杆，所述吸气管于所述转动块内向下延伸贯通有所述升降固定块及所述升降固定杆并于所述升降固定杆末端设有开口向下的吸气口。
可优选地，所述联动腔正上方固定设有吹气机，所述吹气机前后固定设有开口向下的后吹气管及前吹气管，所述前吹气管末端高于所述后吹气管末端且位于所述真空吸盘上方。
可优选地，所述控制电机正上方固定设有微型电脑，所述控制块上端轴心固定连接设有滑动连接杆，所述控制块上方固定设有滑动杆，所述滑动杆右端动力连接设有位于所述工作区右上端的滑动电机且左端能转动的转动连接设有位于所述工作区左上端的，所述滑动连接杆上端固定连接设有滑动连接于所述滑动杆上的下端，所述滑动杆正后方设有左右端固定连接的导杆，所述于所述滑动杆及所述导杆上左右滑动。
可优选地，所述机器手装置内包括设有开口朝向所述真空发生器的联动块，所述联动块靠近所述真空发生器一端设有滑动夹腔，所述滑动夹腔上下两侧对称设有带轮腔，所述带轮腔内且正对滑动夹腔上下两端固定设有从动带轮，所述上下两侧从动带轮轴心固定连接设有带轮杆，所述滑动夹腔上下两端对称且转动连接于所述带轮杆的分别设有向所述滑动夹腔中心滑动的夹板，所述带轮腔内远离所述滑动夹腔一端固定设有主动带轮，上下两侧所述主动带轮轴心之间固定连接设有蜗杆，所述主动带轮与所述从动带轮之间绕设有传动带，上下两侧所述带轮腔之间位于所述联动块内且远离所述滑动夹腔一端设有蜗轮腔，所述蜗轮腔上下壁之间固定设有能转动的涡轮，所述蜗杆轴心与所述涡轮上端表面相啮合，所述涡轮远离所述滑动夹腔一端轴心固定连接设有涡轮杆。
可优选地，所述联动块靠近所述伸缩杆一端外表面固定连接设有固定转块，所述固定转块内设有开口朝向所述蜗轮腔一端的切换腔，所述切换腔上下壁之间且位于所述靠近所述伸缩杆一端转动连接设有动力杆，所述涡轮杆远离所述涡轮一端延伸至所述切换腔内并与所述动力杆位于所述切换腔内一端转动连接，所述涡轮杆后端上下两侧对称固定连接设有内连接块，所述切换腔内靠近所述伸缩杆一端内壁上下两侧对称固定连接设有外连接块，所述动力杆外圆面上下两侧对称固定连接设有电磁滑动块，所述电磁滑动块内设有与所述内连接块及所述外连接块正对且相同的凹槽，所述伸缩杆下端外表面固定连接设有电磁电机，所述动力杆远离所述切换腔一端向外延伸且贯通所述伸缩杆下端与所述电磁电机动力连接。
可优选地，所述伸缩杆右侧下端且位于所述联动块上方固定设有探测器，所述探测器右端与所述伸缩杆固定连接。
可优选地，所述底座左右两侧对称设有位于所述工作区内前后壁之间前后输送的输送带，左侧所述输送带前后输送硅晶片，右侧所述输送带上设有前后输送的晶体盒。
本发明的有益效果是：本发明通过将硅晶片进行先除尘后输送的方式，先将硅晶片由吸盘固定，通过除尘口对硅晶片表面进行吹气除尘，再通过机器手将硅晶片左右两端夹住进行翻转，再对硅晶片背面进行除尘，机器手移动过程中带动硅晶片旋转达到全方位除尘效果，两侧吸尘口通过吸气防止灰尘扩散，避免硅晶片被二次污染。
附图说明
为了易于说明，本发明由下述的具体实施例及附图作以详细描述。
图1为本发明的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备的整体结构示意图；
图2为图1的“A-A”方向的结构示意图；
图3为图1的“B-B”方向的结构示意图；
图4为图1的“C”的结构放大示意图；
图5为图1的“D”的结构放大示意图；
图6为图4的“E”的结构放大示意图。
具体实施方式
下面结合图1-图6对本发明进行详细说明，为叙述方便，现对下文所说的方位规定如下：下文所说的上下左右前后方向与图1本身投影关系的上下左右前后方向一致。
本发明所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，包括主体11，所述主体11外部设有工作区16，所述主体11于所述工作区16内能左右运动，所述主体11内设有联动腔12，所述联动腔12内固定设有联动电机13，所述联动电机13左右两端对称且动力连接设有转杆14，右侧所述转杆14外圆面且于所述联动腔12内固定设有主动锥齿轮15，左右两侧所述转杆14远离所述联动电机13一端穿过所述主体11并延伸至所述工作区16内，左右两侧所述转杆14于所述工作区16内一端固定连接有固定块17，所述转杆14于所述工作区16内能左右滑动的滑动连接设有滑块18，所述滑块18前端固定连接设有推杆19，所述主体11上方固定连接设有控制块20，所述控制块20内且于所述联动腔12正上方设有控制电机21，所述控制电机21与所述推杆19上端电性连接，所述控制块20左右两端固定连接设有连接杆23，两侧所述连接杆23远离所述控制块20一端固定连接设有头部朝向所述工作区16底部的深度相机24，所述深度相机24向下拍摄以确定硅晶片位置从而控制固定设有位于所述推杆19下方的机器手装置101，所述机器手装置101与所述推杆19之间能上下滑动的滑动连接设有伸缩杆25，所述机器手装置101固定连接于所述伸缩杆25底部且随所述伸缩杆25上下移动，左右两侧所述机器手装置101之间固定设有除尘装置103，所述除尘装置103上端固定连接设有位于所述联动腔12下方的转动装置102底部，所述转动装置102内包括设有开口向下的转动腔27，所述转动腔27内且于所述主体11下端左右壁之间能转动的设有转动块28，所述转动块28上端轴心固定连接设有转动杆26，所述转动杆26连通于所述联动腔12与所述转动腔27且于所述联动腔12内向上延伸至固定连接于位于所述联动腔12内下端且与所述主动锥齿轮15相啮合的从动锥齿轮29，所述除尘装置103下端且位于所述工作区16内底部固定设有底座30，机器手抓取位于所述底座30左端的硅晶片并输送到位于所述底座30右端的晶片盒内。
有益地，所述转动块28内中心固定设有吸气机31，所述吸气机31左右两端对称设有开口向下的吸气管32，所述吸气机31正下方固定设有升降电机33，所述升降电机33下端动力连接设有螺杆34。
有益地，所述除尘装置103包括设有固定连接于所述转动块28下端的升降固定块35，所述螺杆34远离所述升降电机33一端向下延伸且贯通于所述升降固定块35中心，所述螺杆34下端固定连接设有螺杆固定块36，所述螺杆34上且位于所述升降固定块35与所述螺杆固定块36之间能上下滑动的滑动连接设有升降转动块37，所述升降转动块37前端表面固定连接设有开口向下的真空发生器39，所述真空发生器39与所述控制电机21电性连接，所述真空发生器39下端固定连接设有真空吸盘40，所述升降固定块35下端左右两侧对称固定连接设有升降固定杆41，所述吸气管32于所述转动块28内向下延伸贯通有所述升降固定块35及所述升降固定杆41并于所述升降固定杆41末端设有开口向下的吸气口42。
有益地，所述联动腔12正上方固定设有吹气机43，所述吹气机43前后固定设有开口向下的后吹气管44及前吹气管45，所述前吹气管45末端高于所述后吹气管44末端且位于所述真空吸盘40上方。
有益地，所述控制电机21正上方固定设有微型电脑46，所述控制块20上端轴心固定连接设有滑动连接杆47，所述控制块20上方固定设有滑动杆48，所述滑动杆48右端动力连接设有位于所述工作区16右上端的滑动电机49且左端能转动的转动连接设有位于所述工作区16左上端的50，所述滑动连接杆47上端固定连接设有滑动连接于所述滑动杆48上的51下端，所述滑动杆48正后方设有左右端固定连接的导杆52，所述51于所述滑动杆48及所述导杆52上左右滑动。
有益地，所述机器手装置101内包括设有开口朝向所述真空发生器39的联动块61，所述联动块61靠近所述真空发生器39一端设有滑动夹腔53，所述滑动夹腔53上下两侧对称设有带轮腔54，所述带轮腔54内且正对滑动夹腔53上下两端固定设有从动带轮55，所述上下两侧从动带轮55轴心固定连接设有带轮杆56，所述滑动夹腔53上下两端对称且转动连接于所述带轮杆56的分别设有向所述滑动夹腔53中心滑动的夹板57，所述带轮腔54内远离所述滑动夹腔53一端固定设有主动带轮58，上下两侧所述主动带轮58轴心之间固定连接设有蜗杆63，所述主动带轮58与所述从动带轮55之间绕设有传动带59，上下两侧所述带轮腔54之间位于所述联动块61内且远离所述滑动夹腔53一端设有蜗轮腔60，所述蜗轮腔60上下壁之间固定设有能转动的涡轮62，所述蜗杆63轴心与所述涡轮62上端表面相啮合，所述涡轮62远离所述滑动夹腔53一端轴心固定连接设有涡轮杆64。
有益地，所述联动块61靠近所述伸缩杆25一端外表面固定连接设有固定转块65，所述固定转块65内设有开口朝向所述蜗轮腔60一端的切换腔66，所述切换腔66上下壁之间且位于所述靠近所述伸缩杆25一端转动连接设有动力杆67，所述涡轮杆64远离所述涡轮62一端延伸至所述切换腔66内并与所述动力杆67位于所述切换腔66内一端转动连接，所述涡轮杆64后端上下两侧对称固定连接设有内连接块68，所述切换腔66内靠近所述伸缩杆25一端内壁上下两侧对称固定连接设有外连接块70，所述动力杆67外圆面上下两侧对称固定连接设有电磁滑动块69，所述电磁滑动块69内设有与所述内连接块68及所述外连接块70正对且相同的凹槽，所述伸缩杆25下端外表面固定连接设有电磁电机71，所述动力杆67远离所述切换腔66一端向外延伸且贯通所述伸缩杆25下端与所述电磁电机71动力连接。
有益地，所述伸缩杆25右侧下端且位于所述联动块61上方固定设有探测器74，所述探测器74右端与所述伸缩杆25固定连接。
有益地，所述底座30左右两侧对称设有位于所述工作区16内前后壁之间前后输送的输送带72，左侧所述输送带72前后输送硅晶片，右侧所述输送带72上设有前后输送的晶体盒73。
以下结合图1至图6对本文中的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备的使用步骤进行详细说明：初始状态时，真空吸盘40位于底座30中心正上方，左右两侧输送带72同时将硅晶片和晶体盒输送到机器人左右两侧，左右两侧机器手装置101的夹板57与真空吸盘40平行且正对真空吸盘40方向，推杆19位于真空吸盘40两侧相等距离。
确定硅晶片位置时，深度相机24启动，对下方左侧输送带72上的硅晶片拍照确定位置，将信息传输到微型电脑46经过微型电脑46处理得到真空吸盘40要向左移的距离及真空吸盘40向下移动的距离，微型电脑46控制滑动电机49转动滑动杆48从而带动51在滑动杆48上向左滑动，51带动机器人整体向左移动直至真空吸盘40位于左侧输送带72上硅晶片正上方，滑动电机49停止，微型电脑46控制升降电机33启动转动螺杆34进而带动升降转动块37连同真空发生器39及真空吸盘40向下滑动，真空吸盘40将硅晶片于中心处吸住，进而上升到原位。
除尘开始，吹气机43启动通过前吹气管45将纯净气体于末端排出，从而开始对被真空吸盘40吸住的硅晶片表面进行吹气除尘，吸气机31启动通过左右两侧吸气口42对真空吸盘40周围进行抽气，将前吹气管45对硅晶片除去的灰尘由吸气口42排出避免硅晶片二次沾染灰尘，控制电机21启动控制左右两侧的推杆19带动伸缩杆25进而带动机器手装置101调整位置将夹扣处对准被真空吸盘40吸住的硅晶片，探测器74启动对硅晶片的厚度及位置进行探测，通过微型电脑46处理进而控制联动电机13启动，带动转杆14转动进而带动左右两侧滑块18在转杆14上向硅晶片靠拢的同时转杆14带动主动锥齿轮15转动进而带动从动锥齿轮29转动，从动锥齿轮29带动转动杆26转动进而带动转动块28在转动腔27内转动，升降固定块35上端与转动块28下端固定连接进而转动块28带动升降固定块35转动，升降固定块35带动真空吸盘40进而转动被真空吸盘40吸住的硅晶片进行旋转，前吹气管45不动继续保持吹气状态对旋转的硅晶片进行螺杆固定块3蜗轮腔60度全面除尘，夹板57前端靠近硅晶片的同时微型电脑46控制电磁电机71，进而控制电磁滑动块69向联动块61方向移动从而使电磁滑动块69与内连接块68相接合，进而通过转动涡轮杆64带动涡轮62转动，涡轮62带动蜗杆63转动，蜗杆63带动上下对称的主动带轮58转动进而通过传动带59带动从动带轮55带动带轮杆56转动，带轮杆56带动上下对称的夹板57通过对硅晶片厚度进行调整，滑块18继续向中心移动直到硅晶片左右两端位于上下夹板57之间，夹板57向中心移动夹住硅晶片。
翻转时，真空发生器39停止，硅晶片不再被真空吸盘40吸住，控制电机21控制推杆19进而带动伸缩杆25及机器手装置101往下移动，从而带动硅晶片往下移动，电磁电机71控制电磁滑动块69向靠近伸缩杆25方向移动，进而与固定转块65内壁相接合，涡轮杆64保持固定不再转动，动力杆67带动固定转块65转动进而带动整个联动块61转动，左右两侧联动块61转动带动中间夹住的硅晶片翻转，后吹气管44启动与前吹气管45同时对硅晶片进行除尘，控制电机21控制推杆19带动伸缩杆25将机器手装置101复位，真空发生器39启动通过真空吸盘40将硅晶片吸住，后吹气管44停止，前吹气管45对硅晶片背面进行除尘，联动电机13启动带动两侧滑块18向两侧外端移动，进而通过主动锥齿轮15带动从动锥齿轮29从而带动下方硅晶片进行转动，从而使前吹气管45对硅晶片背面进行螺杆固定块3蜗轮腔60度除尘，吸气口42一直保持吸尘状态。
输送时继续保持除尘及吸尘状态，右侧深度相机24启动对下方拍照确定73的位置，滑动电机49启动带动51向右移动进而带动硅晶片向右方73上方移动，当后吹气管44位于73上方时，吹气机43启动后吹气管44对73进行除尘，滑块18向真空吸盘40移动，重复硅晶片旋转除尘动作，夹板57将硅晶片夹住翻转使其正面朝上，随后机器手装置101上升真空吸盘40吸住硅晶片，滑块18向外端移动，硅晶片正面再次进行螺杆固定块3蜗轮腔60度除尘，升降电机33启动带动硅晶片向下移动直至将硅晶片放入73内，73密封，随后进行下一片硅晶片的除尘及运输。
本发明的有益效果是：本发明通过将硅晶片进行先除尘后输送的方式，先将硅晶片由吸盘固定，通过除尘口对硅晶片表面进行吹气除尘，再通过机器手将硅晶片左右两端夹住进行翻转，再对硅晶片背面进行除尘，机器手移动过程中带动硅晶片旋转达到全方位除尘效果，两侧吸尘口通过吸气防止灰尘扩散，避免硅晶片被二次污染。
通过以上方式，本领域的技术人员可以在本发明的范围内根据工作模式做出各种改变。

Claims (9)

1.一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，包括主体，其特征在于:所述主体外部设有工作区，所述主体于所述工作区内能左右运动，所述主体内设有联动腔，所述联动腔内固定设有联动电机，所述联动电机左右两端对称且动力连接设有转杆，右侧所述转杆外圆面且于所述联动腔内固定设有主动锥齿轮，左右两侧所述转杆远离所述联动电机一端穿过所述主体并延伸至所述工作区内，左右两侧所述转杆于所述工作区内一端固定连接有固定块，所述转杆于所述工作区内能左右滑动的滑动连接设有滑块，所述滑块前端固定连接设有推杆，所述主体上方固定连接设有控制块，所述控制块内且于所述联动腔正上方设有控制电机，所述控制电机与所述推杆上端电性连接，所述控制块左右两端固定连接设有连接杆，两侧所述连接杆远离所述控制块一端固定连接设有头部朝向所述工作区底部的深度相机，所述深度相机向下拍摄以确定硅晶片位置从而控制固定设有位于所述推杆下方的机器手装置，所述机器手装置与所述推杆之间能上下滑动的滑动连接设有伸缩杆，所述机器手装置固定连接于所述伸缩杆底部且随所述伸缩杆上下移动，左右两侧所述机器手装置之间固定设有除尘装置，所述除尘装置上端固定连接设有位于所述联动腔下方的转动装置底部，所述转动装置内包括设有开口向下的转动腔，所述转动腔内且于所述主体下端左右壁之间能转动的设有转动块，所述转动块上端轴心固定连接设有转动杆，所述转动杆连通于所述联动腔与所述转动腔且于所述联动腔内向上延伸至固定连接于位于所述联动腔内下端且与所述主动锥齿轮相啮合的从动锥齿轮，所述除尘装置下端且位于所述工作区内底部固定设有底座，机器手抓取位于所述底座左端的硅晶片并输送到位于所述底座右端的晶片盒内。
2.如权利要求1所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述转动块内中心固定设有吸气机，所述吸气机左右两端对称设有开口向下的吸气管，所述吸气机正下方固定设有升降电机，所述升降电机下端动力连接设有螺杆。
3.如权利要求2所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述除尘装置包括设有固定连接于所述转动块下端的升降固定块，所述螺杆远离所述升降电机一端向下延伸且贯通于所述升降固定块中心，所述螺杆下端固定连接设有螺杆固定块，所述螺杆上且位于所述升降固定块与所述螺杆固定块之间能上下滑动的滑动连接设有升降转动块，所述升降转动块前端表面固定连接设有开口向下的真空发生器，所述真空发生器与所述控制电机电性连接，所述真空发生器下端固定连接设有真空吸盘，所述升降固定块下端左右两侧对称固定连接设有升降固定杆，所述吸气管于所述转动块内向下延伸贯通有所述升降固定块及所述升降固定杆并于所述升降固定杆末端设有开口向下的吸气口。
4.如权利要求1所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述联动腔正上方固定设有吹气机，所述吹气机前后固定设有开口向下的后吹气管及前吹气管，所述前吹气管末端高于所述后吹气管末端且位于所述真空吸盘上方。
5.如权利要求1所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述控制电机正上方固定设有微型电脑，所述控制块上端轴心固定连接设有滑动连接杆，所述控制块上方固定设有滑动杆，所述滑动杆右端动力连接设有位于所述工作区右上端的滑动电机且左端能转动的转动连接设有位于所述工作区左上端的，所述滑动连接杆上端固定连接设有滑动连接于所述滑动杆上的下端，所述滑动杆正后方设有左右端固定连接的导杆，所述于所述滑动杆及所述导杆上左右滑动。
6.如权利要求1所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述机器手装置内包括设有开口朝向所述真空发生器的联动块，所述联动块靠近所述真空发生器一端设有滑动夹腔，所述滑动夹腔上下两侧对称设有带轮腔，所述带轮腔内且正对滑动夹腔上下两端固定设有从动带轮，所述上下两侧从动带轮轴心固定连接设有带轮杆，所述滑动夹腔上下两端对称且转动连接于所述带轮杆的分别设有向所述滑动夹腔中心滑动的夹板，所述带轮腔内远离所述滑动夹腔一端固定设有主动带轮，上下两侧所述主动带轮轴心之间固定连接设有蜗杆，所述主动带轮与所述从动带轮之间绕设有传动带，上下两侧所述带轮腔之间位于所述联动块内且远离所述滑动夹腔一端设有蜗轮腔，所述蜗轮腔上下壁之间固定设有能转动的涡轮，所述蜗杆轴心与所述涡轮上端表面相啮合，所述涡轮远离所述滑动夹腔一端轴心固定连接设有涡轮杆。
7.如权利要求6所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述联动块靠近所述伸缩杆一端外表面固定连接设有固定转块，所述固定转块内设有开口朝向所述蜗轮腔一端的切换腔，所述切换腔上下壁之间且位于所述靠近所述伸缩杆一端转动连接设有动力杆，所述涡轮杆远离所述涡轮一端延伸至所述切换腔内并与所述动力杆位于所述切换腔内一端转动连接，所述涡轮杆后端上下两侧对称固定连接设有内连接块，所述切换腔内靠近所述伸缩杆一端内壁上下两侧对称固定连接设有外连接块，所述动力杆外圆面上下两侧对称固定连接设有电磁滑动块，所述电磁滑动块内设有与所述内连接块及所述外连接块正对且相同的凹槽，所述伸缩杆下端外表面固定连接设有电磁电机，所述动力杆远离所述切换腔一端向外延伸且贯通所述伸缩杆下端与所述电磁电机动力连接。
8.如权利要求6所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述伸缩杆右侧下端且位于所述联动块上方固定设有探测器，所述探测器右端与所述伸缩杆固定连接。
9.如权利要求1所述的一种对硅晶片具有运输并除尘功能的机器人抓取设备，其特征在于：所述底座左右两侧对称设有位于所述工作区内前后壁之间前后输送的输送带，左侧所述输送带前后输送硅晶片，右侧所述输送带上设有前后输送的晶体盒。
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