CN106783683A - 一种晶圆扫描清洗摆臂装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体和支撑板，第一壳体的侧壁上焊接有支撑板，所述支撑板的顶端设有固定座，固定座的内部设有第一电动机，第一电动机的输出轴连接有偏心轮，偏心轮的顶端粘连有三个吸盘，所述第一壳体的内部设有第一连接臂，第一连接臂与第一壳体活动连接，第一连接臂的顶端延伸至第一壳体的上方，第一连接臂的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸，第一气缸的活塞杆焊接有第二连接臂，第二连接臂与第一凹槽的侧壁滑动连接。本发明能够对晶圆的双面均进行清洗，翻转方便快捷，不需要手工操作，能从多个角度对晶圆进行扫描清洗，清洗效果好，工作效率高。

Description

一种晶圆扫描清洗摆臂装置

技术领域

本发明涉及晶圆清洗技术领域，尤其涉及一种晶圆扫描清洗摆臂装置。

背景技术

一般来说，芯片生产全部工艺过程中，高达20％的步骤为晶圆清洗，晶圆表面有四大常见类型的污染：微细颗粒、有机残余物、无机残余物、需要去除的氧化层，晶圆清洗的目的是为了去除附着于晶圆表面上的有机化合物、金属杂质或微细颗粒、需要去除的氧化层，专利CN104810310A中提出了一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其解决了在晶圆清洗时，清洗效果差，存在清洗死角的问题，但其只能对晶圆的一面进行清洗，需要人工进行翻转，清洗不方便，而且其对晶圆的清洗角度调整不方便，为此我们提出一种晶圆扫描清洗摆臂装置，来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆扫描清洗摆臂装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体和支撑板，第一壳体的侧壁上焊接有支撑板，所述支撑板的顶端设有固定座，固定座的内部设有第一电动机，第一电动机的输出轴连接有偏心轮，偏心轮的顶端粘连有三个吸盘，所述第一壳体的内部设有第一连接臂，第一连接臂与第一壳体活动连接，第一连接臂的顶端延伸至第一壳体的上方，第一连接臂的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸，第一气缸的活塞杆焊接有第二连接臂，第二连接臂与第一凹槽的侧壁滑动连接，第二连接臂的顶端焊接有水平设置的横杆，横杆的一侧内部设有空腔，空腔内设有水平设置的第二电动机，第二电动机的输出轴连接有喷嘴安装座，喷嘴安装座的底端连接有喷嘴装置，所述横杆的底端连接有翻转夹持装置，翻转夹持装置包括连接杆，连接杆的顶端焊接在横杆上，连接杆的底端焊接有第二壳体，第二壳体的内部设有第三电动机，第三电动机的输出轴连接有夹持箱，夹持箱的内部设有第二气缸，第二气缸的活塞杆铰接有活动夹板，活动夹板延伸至夹持箱的外部，夹持箱远离第二壳体的一侧侧壁上连接有固定夹板，固定夹板和活动夹板的中间位置相互铰接，且夹持箱位于偏心轮的一侧。

优选的，所述第一壳体的内部设有第三电动机和垂直设置的转轴，转轴位于第三电动机与第一连接臂之间，转轴与第一壳体的侧壁活动连接，转轴上安装有第一齿轮和滚筒，滚筒位于第一齿轮的上方，滚筒与第一连接臂之间连接有传动皮带，第三电动机的输出轴连接有第二齿轮，第二齿轮与第一齿轮相互啮合。

优选的，所述喷嘴装置包括固定板、万向管、喷嘴和导管，固定板和万向管的内部均设有导管，导管连接有喷嘴，万向管的一端连接有固定板，万向管的另一端连接有喷嘴。

优选的，所述第一壳体的内壁底端设有环形滑轨，第一连接臂的底端设有环形滑块，环形滑轨与环形滑轨相配合。

优选的，三个吸盘在偏心轮的顶端呈三角形设置。

优选的，所述固定夹板和活动夹板相互靠近的一侧均设有橡胶片，橡胶片上开有防滑纹。

优选的，所述第三电动机为伺服电机，第二齿轮与第一齿轮的传动比为1：3至1:5。

本发明的有益效果：本发明设有翻转夹持装置，在第一连接臂、第二连接臂、横杆、和第一气缸的配合下，翻转夹持装置能够对晶圆进行夹持翻转，使得喷嘴装置能够对晶圆的双面均进行清洗；通过第一电动机、偏心轮、第二电动机、万向管、第三电动机的设置，能够从多个角度对晶圆进行扫描清洗，清洗效果更好，通过伺服电机、第一齿轮、第二齿轮和传动皮带的配合，能够精准的控制横杆的摆动角度，清洗效果更好，本装置能够对晶圆的双面均进行清洗，翻转方便快捷，不需要手工操作，能从多个角度对晶圆进行扫描清洗，清洗效果好，工作效率高。

附图说明

图1为本发明提出的一种晶圆扫描清洗摆臂装置的结构示意图；

图2为本发明提出的一种晶圆扫描清洗摆臂装置的翻转夹持装置的结构示意图；

图3为本发明提出的一种晶圆扫描清洗摆臂装置的喷嘴装置的结构示意图；

图4为本发明提出的一种晶圆扫描清洗摆臂装置的偏心轮与吸盘的结构示意图。

图中：1第一壳体、2第一气缸、3第一连接臂、4支撑板、5固定座、6第一电动机、7偏心轮、8吸盘、9翻转夹持装置、91连接杆、92第三电动机、93第二壳体、94第二气缸、95夹持箱、96活动夹板、97固定夹板、10横杆、11第二电动机、12喷嘴安装座、13喷嘴装置、14第三电动机、15第二齿轮、16第一齿轮、17滚筒、18转轴、19传动皮带、20第二连接臂。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体1和支撑板4，第一壳体1的侧壁上焊接有支撑板4，支撑板4的顶端设有固定座5，固定座5的内部设有第一电动机6，第一电动机6的输出轴连接有偏心轮7，偏心轮7的顶端粘连有三个吸盘8，第一壳体1的内部设有第一连接臂3，第一连接臂3与第一壳体1活动连接，第一连接臂3的顶端延伸至第一壳体1的上方，第一连接臂3的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸2，第一气缸2的活塞杆焊接有第二连接臂20，第二连接臂20与第一凹槽的侧壁滑动连接，第二连接臂20的顶端焊接有水平设置的横杆10，横杆10的一侧内部设有空腔，空腔内设有水平设置的第二电动机11，第二电动机11的输出轴连接有喷嘴安装座12，喷嘴安装座12的底端连接有喷嘴装置13，横杆10的底端连接有翻转夹持装置9，翻转夹持装置9包括连接杆91，连接杆91的顶端焊接在横杆10上，连接杆91的底端焊接有第二壳体93，第二壳体93的内部设有第三电动机92，第三电动机92的输出轴连接有夹持箱95，夹持箱95的内部设有第二气缸94，第二气缸94的活塞杆铰接有活动夹板96，活动夹板96延伸至夹持箱95的外部，夹持箱95远离第二壳体93的一侧侧壁上连接有固定夹板97，固定夹板97和活动夹板96的中间位置相互铰接，且夹持箱95位于偏心轮7的一侧，第一壳体1的内部设有第三电动机14和垂直设置的转轴18，转轴18位于第三电动机14与第一连接臂3之间，转轴18与第一壳体1的侧壁活动连接，转轴18上安装有第一齿轮16和滚筒17，滚筒17位于第一齿轮16的上方，滚筒17与第一连接臂3之间连接有传动皮带19，第三电动机14的输出轴连接有第二齿轮15，第二齿轮15与第一齿轮16相互啮合，喷嘴装置13包括固定板、万向管、喷嘴和导管，固定板和万向管的内部均设有导管，导管连接有喷嘴，万向管的一端连接有固定板，万向管的另一端连接有喷嘴，第一壳体1的内壁底端设有环形滑轨，第一连接臂3的底端设有环形滑块，环形滑轨与环形滑轨相配合，三个吸盘8在偏心轮7的顶端呈三角形设置，固定夹板97和活动夹板96相互靠近的一侧均设有橡胶片，橡胶片上开有防滑纹，第三电动机14为伺服电机，第二齿轮15与第一齿轮16的传动比为1：3至1:5。

实施例：将晶圆放置在偏心轮7上的吸盘8上，吸盘8将偏心轮7固定住，第一电动机6带动偏心轮7转动，偏心轮7带动晶圆做偏心运动，晶圆在转动的同时，其一端与反复的经过固定夹板97和活动夹板96的中间位置，在需要进行翻转时，控制第二气缸94带动活动夹板96运动，与固定夹板97相配合将晶圆夹持住，第一气缸2带动第二连接臂20和横杆10上升，横杆10带动翻转夹持装置9上升，到达一定高度后，第三电动机92带动夹持箱旋转180度，对晶圆进行翻转，翻转完成后，第一气缸2带动第二连接臂20和横杆10下降，横杆10带动翻转夹持装置9下降，第二气缸94带动活动夹板96运动，将晶圆松开，放置在吸盘8上，对其另一面进行清洗；通过第三电动机14带动第二齿轮15运动，第二齿轮15与第一齿轮16相互啮合，第一齿轮16带动转轴18和传动皮带19运动，带动第一连接臂3、第二连接臂10和横杆10转动，第二电动机11带动喷嘴安装座12旋转，对喷嘴装置13角度进行调整，还可通过万向管对两个喷嘴角度进行调整，方便清洁。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆扫描清洗摆臂装置，包括第一壳体（1）和支撑板（4），第一壳体（1）的侧壁上焊接有支撑板（4），其特征在于，所述支撑板（4）的顶端设有固定座（5），固定座（5）的内部设有第一电动机（6），第一电动机（6）的输出轴连接有偏心轮（7），偏心轮（7）的顶端粘连有三个吸盘（8），所述第一壳体（1）的内部设有第一连接臂（3），第一连接臂（3）与第一壳体（1）活动连接，第一连接臂（3）的顶端延伸至第一壳体（1）的上方，第一连接臂（3）的顶端开有第一凹槽，第一凹槽的底端侧壁上安装有第一气缸（2），第一气缸（2）的活塞杆焊接有第二连接臂（20），第二连接臂（20）与第一凹槽的侧壁滑动连接，第二连接臂（20）的顶端焊接有水平设置的横杆（10），横杆（10）的一侧内部设有空腔，空腔内设有水平设置的第二电动机（11），第二电动机（11）的输出轴连接有喷嘴安装座（12），喷嘴安装座（12）的底端连接有喷嘴装置（13），所述横杆（10）的底端连接有翻转夹持装置（9），翻转夹持装置（9）包括连接杆（91），连接杆（91）的顶端焊接在横杆（10）上，连接杆（91）的底端焊接有第二壳体（93），第二壳体（93）的内部设有第三电动机（92），第三电动机（92）的输出轴连接有夹持箱（95），夹持箱（95）的内部设有第二气缸（94），第二气缸（94）的活塞杆铰接有活动夹板（96），活动夹板（96）延伸至夹持箱（95）的外部，夹持箱（95）远离第二壳体（93）的一侧侧壁上连接有固定夹板（97），固定夹板（97）和活动夹板（96）的中间位置相互铰接，且夹持箱（95）位于偏心轮（7）的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述第一壳体（1）的内部设有第三电动机（14）和垂直设置的转轴（18），转轴（18）位于第三电动机（14）与第一连接臂（3）之间，转轴（18）与第一壳体（1）的侧壁活动连接，转轴（18）上安装有第一齿轮（16）和滚筒（17），滚筒（17）位于第一齿轮（16）的上方，滚筒（17）与第一连接臂（3）之间连接有传动皮带（19），第三电动机（14）的输出轴连接有第二齿轮（15），第二齿轮（15）与第一齿轮（16）相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述喷嘴装置（13）包括固定板、万向管、喷嘴和导管，固定板和万向管的内部均设有导管，导管连接有喷嘴，万向管的一端连接有固定板，万向管的另一端连接有喷嘴。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述第一壳体（1）的内壁底端设有环形滑轨，第一连接臂（3）的底端设有环形滑块，环形滑轨与环形滑轨相配合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，三个吸盘（8）在偏心轮（7）的顶端呈三角形设置。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述固定夹板（97）和活动夹板（96）相互靠近的一侧均设有橡胶片，橡胶片上开有防滑纹。

7.根据权利要求2所述的一种晶圆扫描清洗摆臂装置，其特征在于，所述第三电动机（14）为伺服电机，第二齿轮（15）与第一齿轮（16）的传动比为1：3至1:5。