CN108375429B - 一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法 - Google Patents
一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108375429B CN108375429B CN201810525601.2A CN201810525601A CN108375429B CN 108375429 B CN108375429 B CN 108375429B CN 201810525601 A CN201810525601 A CN 201810525601A CN 108375429 B CN108375429 B CN 108375429B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- micrometer
- swing arm
- lifting mechanism
- pressure sensor
- die
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 56
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 9
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 claims description 4
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 claims description 4
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 claims description 4
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 10
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
本发明系提供一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法，包括机架，机架上设有固定板，固定板的一侧固定有滑轨，滑轨的一侧滑动连接有滑块，滑块上固定有微型压力传感器，固定板上还固定有安装块，安装块上安装有千分尺升降机构，千分尺升降机构的输出端作用于滑块上；移动支架使微型压力传感器位于固晶摆臂吸嘴的正下方，调节千分尺升降机构直至微型压力传感器刚好接触到固晶摆臂吸嘴，调节千分尺升降机构使微型压力传感器上升1mm，微型压力传感器的读数为固晶摆臂的压力值。本发明能够显著简化固晶摆臂压力的测量操作，且各个结构的配合连贯可靠，能够为压力测量提供稳定可靠的前提条件，测量精度高、测量的重复再现性好。
Description
技术领域
本发明涉及压力测量，具体公开了一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法。
背景技术
晶片是微型电子元件的核心结构，在二极管、三极管等电子元件的制作过程中，需要将晶片固定于框架上，然后再进行注塑封装的操作。
固晶过程是电机驱动设有吸嘴的固晶摆臂摆动，固晶摆臂到达晶片盘或框架上方时，驱动固晶摆臂下降取料或供料，固晶摆臂升降的力度过大或过小都会影响固晶效果，因而一般都需要对固晶摆臂的压力进行测量。现有技术中，测量固晶摆臂压力的方法是通过手动测力计拉动固晶摆臂，测力计的读数便为固晶摆臂的压力，工人手动抬起测力计时，存在手抖动、拉起高度不准确等不确定因素，会严重影响测量结果。
发明内容
基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法，能够显著简化固晶摆臂压力的测量操作，且测量精度高、测量的重复再现性好。
为解决现有技术问题，本发明公开一种固晶摆臂的压力测量装置，包括机架，机架上设有固定板，固定板的一侧固定有滑轨，滑轨的一侧滑动连接有滑块，滑块上固定有微型压力传感器，固定板上还固定有安装块，安装块上安装有千分尺升降机构，千分尺升降机构的输出端作用于滑块上。
进一步的，机架和固定板之间还设有粗升降机构，粗升降机构的输出端与固定板固定连接。
进一步的，粗升降机构为丝杆升降机构。
进一步的，千分尺升降机构的输出端向下，滑块包括固定连接的安装座和受力驱动板，滑块安装于安装座上，千分尺升降机构的输出端作用于受力驱动板上，受力驱动板通过弹簧与固定板连接。
进一步的，千分尺升降机构包括固定套筒，固定套筒内连接有输出螺杆，输出螺杆的一端连接有微分筒，微分筒套设于固定套筒外。
进一步的，千分尺升降机构为数显千分尺结构。
本发明还公开一种固晶摆臂的压力测量方法，包括以下步骤：
A、移动支架，使微型压力传感器位于固晶摆臂吸嘴的正下方；
B、调节千分尺升降机构使滑块在滑轨中升降，直至微型压力传感器刚好接触到固晶摆臂吸嘴，设千分尺升降机构和微型压力传感器的读数为0；
C、调节千分尺升降机构使微型压力传感器上升1mm，微型压力传感器的读数为固晶摆臂的压力值。
本发明的有益效果为：本发明公开一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法，设置可靠的测量结构，能够显著简化测量固晶摆臂压力的操作，可显著降低作业人员的工作强度，且各个结构的配合连贯可靠，能够为压力测量提供稳定可靠的前提条件，测量精度高、测量的重复再现性好，装置整体结构简单，制作成本较低。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图。
图2为本发明在图1中a的放大结构示意图。
附图标记为：机架10、粗升降机构11、固定板20、滑轨21、滑块22、安装座221、受力驱动板222、微型压力传感器23、安装孔24、弹簧25、千分尺升降机构30、秃顶套筒31、输出螺杆32、微分筒33。
具体实施方式
为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。
参考图1、图2。
本发明实施例公开一种固晶摆臂的压力测量装置，包括机架10，机架10上设有固定板20，固定板20的一侧固定有滑轨21，滑轨21的一侧滑动连接有滑块22，滑块22上安装固定有微型压力传感器23，微型压力传感器23连接外部具有信号处理功能的显示器，微型压力传感器23的读数通过该显示器显示，固定板20上还固定有安装块24，安装块24上安装有千分尺升降机构30，千分尺升降机构30为去掉尺架和固晶砧的千分尺，通过上述千分尺的输出端来实现高精度的位置调节，千分尺升降机构30的输出端作用于滑块22上，千分尺升降机构30的输出端垂直于微型压力传感器23的测量面。
本发明的工作过程为：将本发明装置放到固晶装置的平台上，使微型压力传感器23对准固晶摆臂的吸嘴，调节千分尺升降机构30使微型压力传感器23与固晶摆臂的吸嘴刚好接触，千分尺升降机构30驱动微型压力传感器23上升1mm，微型压力传感器23获得固晶摆臂的压力值。
本发明设置可靠的测量结构，能够显著简化测量固晶摆臂压力的操作，可显著降低作业人员的工作强度，且各个结构的配合连贯可靠，能够为压力测量提供稳定可靠的前提条件，测量精度高、测量的重复再现性好，装置整体结构简单，制作成本较低。
在本实施例中，机架10和固定板20之间还设有粗升降机构11，粗升降机构11的输出端与固定板20固定连接，优选地，粗升降机构11为丝杆升降机构。粗升降机构11用于使本发明能够适应不同规格的固晶装置，粗升降机构11配合千分尺升降机构30使用，能够避免微型压力传感器23与固晶摆臂吸嘴的距离超过千分尺升降机构30的量程，可有效提高本发明装置的通用性能，调节粗升降机构11使微型压力传感器23接近固晶摆臂的吸嘴，再通过千分尺升降机构30调节微型压力传感器23进行测量操作。
在本实施例中，千分尺升降机构30的输出端向下，滑块22包括固定连接的安装座221和受力驱动板222，受力驱动板222与微型压力传感器23的测量面平行，滑块22安装于安装座221上，千分尺升降机构30的输出端作用于受力驱动板222上，受力驱动板222通过弹簧25与固定板20连接，弹簧25的轴心与千分尺升降机构30输出端的轴心平行，弹簧25通过受力驱动板222的作用可复位微型压力传感器23的位置。设置千分尺升降机构30的输出端向下，即千分尺升降机构30的调节端向上，能够有效方便调节操作，可提高调节效率。
在本实施例中，千分尺升降机构30包括固定套筒31，固定套筒31固定于安装块24中，固定套筒31内连接有输出螺杆32，输出螺杆32为千分尺升降机构30的输出端，输出螺杆32的一端连接有微分筒33，微分筒33套设于固定套筒31外，固定套筒31和微分筒33均设有刻度，通过旋转微分筒33能够调节输出螺杆32的位置。
在本实施例中，千分尺升降机构30为数显千分尺结构，数显千分尺为连接有数字显示屏的千分尺，能够通过显示屏获得千分尺的读数，精度更高。
本发明实施例还公开一种固晶摆臂的压力测量方法，包括以下步骤：
A、移动支架10，使微型压力传感器23位于固晶摆臂吸嘴的正下方；
B、调节千分尺升降机构30使滑块22在滑轨21中升降，直至微型压力传感器23刚好接触到固晶摆臂吸嘴，设千分尺升降机构30和微型压力传感器23的读数为0，即视此时千分尺升降机构30和微型压力传感器23的读数为0，以方便后续的调节、读数操作；
C、调节千分尺升降机构30使微型压力传感器23上升1mm，微型压力传感器23的读数为固晶摆臂的压力值。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (4)
1.一种固晶摆臂的压力测量装置，其特征在于，包括机架(10)，所述机架(10)上设有固定板(20)，所述固定板(20)的一侧固定有滑轨(21)，所述滑轨(21)的一侧滑动连接有滑块(22)，所述滑块(22)上固定有微型压力传感器(23)，所述固定板(20)上还固定有安装块(24)，所述安装块(24)上安装有千分尺升降机构(30)，所述千分尺升降机构(30)的输出端作用于所述滑块(22)上；
所述机架(10)和所述固定板(20)之间还设有粗升降机构(11)，所述粗升降机构(11)的输出端与所述固定板(20)固定连接；
所述千分尺升降机构(30)的输出端向下，所述滑块(22)包括固定连接的安装座(221)和受力驱动板(222)，所述滑块(22)安装于所述安装座(221)上，所述千分尺升降机构(30)的输出端作用于所述受力驱动板(222)上，所述受力驱动板(222)通过弹簧(25)与所述固定板(20)连接；
所述千分尺升降机构(30)包括固定套筒(31)，所述固定套筒(31)内连接有输出螺杆(32)，所述输出螺杆(32)的一端连接有微分筒(33)，所述微分筒(33)套设于所述固定套筒(31)外。
2.根据权利要求1所述的一种固晶摆臂的压力测量装置，其特征在于，所述粗升降机构(11)为丝杆升降机构。
3.根据权利要求1所述的一种固晶摆臂的压力测量装置，其特征在于，所述千分尺升降机构(30)为数显千分尺结构。
4.一种应用于权利要求1～3任一所述固晶摆臂的压力测量装置的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
A、移动支架(10)，使微型压力传感器(23)位于固晶摆臂吸嘴的正下方；
B、调节千分尺升降机构(30)使滑块(22)在滑轨(21)中升降，直至所述微型压力传感器(23)刚好接触到所述固晶摆臂吸嘴，设所述千分尺升降机构(30)和所述微型压力传感器(23)的读数为0；
C、调节所述千分尺升降机构(30)使所述微型压力传感器(23)上升1mm，所述微型压力传感器(23)的读数为固晶摆臂的压力值。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810525601.2A CN108375429B (zh) | 2018-05-28 | 2018-05-28 | 一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810525601.2A CN108375429B (zh) | 2018-05-28 | 2018-05-28 | 一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108375429A CN108375429A (zh) | 2018-08-07 |
| CN108375429B true CN108375429B (zh) | 2024-05-14 |
Family
ID=63033671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810525601.2A Active CN108375429B (zh) | 2018-05-28 | 2018-05-28 | 一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108375429B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114623964A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-06-14 | 南京理工大学 | 一种可测量持续推力的微推力测试装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101882563A (zh) * | 2009-05-07 | 2010-11-10 | 旺矽科技股份有限公司 | 晶粒取放机构 |
| CN104701224A (zh) * | 2015-03-27 | 2015-06-10 | 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司 | 双摆臂封装设备 |
| CN204497202U (zh) * | 2015-03-27 | 2015-07-22 | 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司 | 双摆臂封装设备 |
| CN204696082U (zh) * | 2015-04-22 | 2015-10-07 | 徐大林 | 一种固晶机摆臂传动机构 |
| CN106783683A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-05-31 | 安徽天裕汽车零部件制造有限公司 | 一种晶圆扫描清洗摆臂装置 |
| CN208333717U (zh) * | 2018-05-28 | 2019-01-04 | 东莞市佳骏电子科技有限公司 | 一种固晶摆臂的压力测量装置 |
-
2018
- 2018-05-28 CN CN201810525601.2A patent/CN108375429B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101882563A (zh) * | 2009-05-07 | 2010-11-10 | 旺矽科技股份有限公司 | 晶粒取放机构 |
| CN104701224A (zh) * | 2015-03-27 | 2015-06-10 | 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司 | 双摆臂封装设备 |
| CN204497202U (zh) * | 2015-03-27 | 2015-07-22 | 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司 | 双摆臂封装设备 |
| CN204696082U (zh) * | 2015-04-22 | 2015-10-07 | 徐大林 | 一种固晶机摆臂传动机构 |
| CN106783683A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-05-31 | 安徽天裕汽车零部件制造有限公司 | 一种晶圆扫描清洗摆臂装置 |
| CN208333717U (zh) * | 2018-05-28 | 2019-01-04 | 东莞市佳骏电子科技有限公司 | 一种固晶摆臂的压力测量装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108375429A (zh) | 2018-08-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108375429B (zh) | 一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法 | |
| CN111551311B (zh) | 压力传感器标定装置及标定方法 | |
| CN203416570U (zh) | 一种对位组装机 | |
| CN107990861B (zh) | 一种离合器片组高度测量方法及及离合器片组高度测量机 | |
| CN215766926U (zh) | 一种基于光谱共焦的曲面玻璃测量装置 | |
| CN208333717U (zh) | 一种固晶摆臂的压力测量装置 | |
| CN204228146U (zh) | 汽车玻璃升降器托板水平度测量仪 | |
| CN210123343U (zh) | 温控器寿命测试复位机 | |
| KR200483563Y1 (ko) | 벤딩각도의 조절이 용이한 벤딩장치 | |
| CN212932924U (zh) | 一种磁铁拉力检测机构 | |
| CN211205123U (zh) | Pcb板厚测量装置 | |
| CN209101977U (zh) | 一种零件孔深检测仪 | |
| CN107271777B (zh) | 阻值测量装置 | |
| CN211452134U (zh) | 一种传动轴总成的压缩长度以及重量的检测设备 | |
| CN210323196U (zh) | 一种碳化硅电热元件电阻测试装置 | |
| CN209820997U (zh) | 一种自动高效型邵氏硬度计检定装置 | |
| CN215491462U (zh) | 一种弹簧检测机构 | |
| CN213364086U (zh) | 一种光学设备压力检测装置 | |
| KR101490677B1 (ko) | 반도체용 기판 두께 측정기 | |
| CN220872061U (zh) | 一种弹簧钢丝质量检测装置 | |
| CN208238756U (zh) | 百分表率定装置 | |
| CN216385494U (zh) | 一种线性位移测量装置 | |
| CN219141801U (zh) | 一种位移检测装置 | |
| CN220398763U (zh) | 一种新型压铆测量机构 | |
| CN215338086U (zh) | 新型高度检具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |