CN108375429B - 一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法 - Google Patents
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Abstract
本发明系提供一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法,包括机架,机架上设有固定板,固定板的一侧固定有滑轨,滑轨的一侧滑动连接有滑块,滑块上固定有微型压力传感器,固定板上还固定有安装块,安装块上安装有千分尺升降机构,千分尺升降机构的输出端作用于滑块上;移动支架使微型压力传感器位于固晶摆臂吸嘴的正下方,调节千分尺升降机构直至微型压力传感器刚好接触到固晶摆臂吸嘴,调节千分尺升降机构使微型压力传感器上升1mm,微型压力传感器的读数为固晶摆臂的压力值。本发明能够显著简化固晶摆臂压力的测量操作,且各个结构的配合连贯可靠,能够为压力测量提供稳定可靠的前提条件,测量精度高、测量的重复再现性好。
Description
技术领域
本发明涉及压力测量,具体公开了一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法。
背景技术
晶片是微型电子元件的核心结构,在二极管、三极管等电子元件的制作过程中,需要将晶片固定于框架上,然后再进行注塑封装的操作。
固晶过程是电机驱动设有吸嘴的固晶摆臂摆动,固晶摆臂到达晶片盘或框架上方时,驱动固晶摆臂下降取料或供料,固晶摆臂升降的力度过大或过小都会影响固晶效果,因而一般都需要对固晶摆臂的压力进行测量。现有技术中,测量固晶摆臂压力的方法是通过手动测力计拉动固晶摆臂,测力计的读数便为固晶摆臂的压力,工人手动抬起测力计时,存在手抖动、拉起高度不准确等不确定因素,会严重影响测量结果。
发明内容
基于此,有必要针对现有技术问题,提供一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法,能够显著简化固晶摆臂压力的测量操作,且测量精度高、测量的重复再现性好。
为解决现有技术问题,本发明公开一种固晶摆臂的压力测量装置,包括机架,机架上设有固定板,固定板的一侧固定有滑轨,滑轨的一侧滑动连接有滑块,滑块上固定有微型压力传感器,固定板上还固定有安装块,安装块上安装有千分尺升降机构,千分尺升降机构的输出端作用于滑块上。
进一步的,机架和固定板之间还设有粗升降机构,粗升降机构的输出端与固定板固定连接。
进一步的,粗升降机构为丝杆升降机构。
进一步的,千分尺升降机构的输出端向下,滑块包括固定连接的安装座和受力驱动板,滑块安装于安装座上,千分尺升降机构的输出端作用于受力驱动板上,受力驱动板通过弹簧与固定板连接。
进一步的,千分尺升降机构包括固定套筒,固定套筒内连接有输出螺杆,输出螺杆的一端连接有微分筒,微分筒套设于固定套筒外。
进一步的,千分尺升降机构为数显千分尺结构。
本发明还公开一种固晶摆臂的压力测量方法,包括以下步骤:
A、移动支架,使微型压力传感器位于固晶摆臂吸嘴的正下方;
B、调节千分尺升降机构使滑块在滑轨中升降,直至微型压力传感器刚好接触到固晶摆臂吸嘴,设千分尺升降机构和微型压力传感器的读数为0;
C、调节千分尺升降机构使微型压力传感器上升1mm,微型压力传感器的读数为固晶摆臂的压力值。
本发明的有益效果为:本发明公开一种固晶摆臂的压力测量装置及测量方法,设置可靠的测量结构,能够显著简化测量固晶摆臂压力的操作,可显著降低作业人员的工作强度,且各个结构的配合连贯可靠,能够为压力测量提供稳定可靠的前提条件,测量精度高、测量的重复再现性好,装置整体结构简单,制作成本较低。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图。
图2为本发明在图1中a的放大结构示意图。
附图标记为:机架10、粗升降机构11、固定板20、滑轨21、滑块22、安装座221、受力驱动板222、微型压力传感器23、安装孔24、弹簧25、千分尺升降机构30、秃顶套筒31、输出螺杆32、微分筒33。
具体实施方式
为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能,下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。
参考图1、图2。
本发明实施例公开一种固晶摆臂的压力测量装置,包括机架10,机架10上设有固定板20,固定板20的一侧固定有滑轨21,滑轨21的一侧滑动连接有滑块22,滑块22上安装固定有微型压力传感器23,微型压力传感器23连接外部具有信号处理功能的显示器,微型压力传感器23的读数通过该显示器显示,固定板20上还固定有安装块24,安装块24上安装有千分尺升降机构30,千分尺升降机构30为去掉尺架和固晶砧的千分尺,通过上述千分尺的输出端来实现高精度的位置调节,千分尺升降机构30的输出端作用于滑块22上,千分尺升降机构30的输出端垂直于微型压力传感器23的测量面。
本发明的工作过程为:将本发明装置放到固晶装置的平台上,使微型压力传感器23对准固晶摆臂的吸嘴,调节千分尺升降机构30使微型压力传感器23与固晶摆臂的吸嘴刚好接触,千分尺升降机构30驱动微型压力传感器23上升1mm,微型压力传感器23获得固晶摆臂的压力值。
本发明设置可靠的测量结构,能够显著简化测量固晶摆臂压力的操作,可显著降低作业人员的工作强度,且各个结构的配合连贯可靠,能够为压力测量提供稳定可靠的前提条件,测量精度高、测量的重复再现性好,装置整体结构简单,制作成本较低。
在本实施例中,机架10和固定板20之间还设有粗升降机构11,粗升降机构11的输出端与固定板20固定连接,优选地,粗升降机构11为丝杆升降机构。粗升降机构11用于使本发明能够适应不同规格的固晶装置,粗升降机构11配合千分尺升降机构30使用,能够避免微型压力传感器23与固晶摆臂吸嘴的距离超过千分尺升降机构30的量程,可有效提高本发明装置的通用性能,调节粗升降机构11使微型压力传感器23接近固晶摆臂的吸嘴,再通过千分尺升降机构30调节微型压力传感器23进行测量操作。
在本实施例中,千分尺升降机构30的输出端向下,滑块22包括固定连接的安装座221和受力驱动板222,受力驱动板222与微型压力传感器23的测量面平行,滑块22安装于安装座221上,千分尺升降机构30的输出端作用于受力驱动板222上,受力驱动板222通过弹簧25与固定板20连接,弹簧25的轴心与千分尺升降机构30输出端的轴心平行,弹簧25通过受力驱动板222的作用可复位微型压力传感器23的位置。设置千分尺升降机构30的输出端向下,即千分尺升降机构30的调节端向上,能够有效方便调节操作,可提高调节效率。
在本实施例中,千分尺升降机构30包括固定套筒31,固定套筒31固定于安装块24中,固定套筒31内连接有输出螺杆32,输出螺杆32为千分尺升降机构30的输出端,输出螺杆32的一端连接有微分筒33,微分筒33套设于固定套筒31外,固定套筒31和微分筒33均设有刻度,通过旋转微分筒33能够调节输出螺杆32的位置。
在本实施例中,千分尺升降机构30为数显千分尺结构,数显千分尺为连接有数字显示屏的千分尺,能够通过显示屏获得千分尺的读数,精度更高。
本发明实施例还公开一种固晶摆臂的压力测量方法,包括以下步骤:
A、移动支架10,使微型压力传感器23位于固晶摆臂吸嘴的正下方;
B、调节千分尺升降机构30使滑块22在滑轨21中升降,直至微型压力传感器23刚好接触到固晶摆臂吸嘴,设千分尺升降机构30和微型压力传感器23的读数为0,即视此时千分尺升降机构30和微型压力传感器23的读数为0,以方便后续的调节、读数操作;
C、调节千分尺升降机构30使微型压力传感器23上升1mm,微型压力传感器23的读数为固晶摆臂的压力值。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (4)
1.一种固晶摆臂的压力测量装置,其特征在于,包括机架(10),所述机架(10)上设有固定板(20),所述固定板(20)的一侧固定有滑轨(21),所述滑轨(21)的一侧滑动连接有滑块(22),所述滑块(22)上固定有微型压力传感器(23),所述固定板(20)上还固定有安装块(24),所述安装块(24)上安装有千分尺升降机构(30),所述千分尺升降机构(30)的输出端作用于所述滑块(22)上;
所述机架(10)和所述固定板(20)之间还设有粗升降机构(11),所述粗升降机构(11)的输出端与所述固定板(20)固定连接;
所述千分尺升降机构(30)的输出端向下,所述滑块(22)包括固定连接的安装座(221)和受力驱动板(222),所述滑块(22)安装于所述安装座(221)上,所述千分尺升降机构(30)的输出端作用于所述受力驱动板(222)上,所述受力驱动板(222)通过弹簧(25)与所述固定板(20)连接;
所述千分尺升降机构(30)包括固定套筒(31),所述固定套筒(31)内连接有输出螺杆(32),所述输出螺杆(32)的一端连接有微分筒(33),所述微分筒(33)套设于所述固定套筒(31)外。
2.根据权利要求1所述的一种固晶摆臂的压力测量装置,其特征在于,所述粗升降机构(11)为丝杆升降机构。
3.根据权利要求1所述的一种固晶摆臂的压力测量装置,其特征在于,所述千分尺升降机构(30)为数显千分尺结构。
4.一种应用于权利要求1~3任一所述固晶摆臂的压力测量装置的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
A、移动支架(10),使微型压力传感器(23)位于固晶摆臂吸嘴的正下方;
B、调节千分尺升降机构(30)使滑块(22)在滑轨(21)中升降,直至所述微型压力传感器(23)刚好接触到所述固晶摆臂吸嘴,设所述千分尺升降机构(30)和所述微型压力传感器(23)的读数为0;
C、调节所述千分尺升降机构(30)使所述微型压力传感器(23)上升1mm,所述微型压力传感器(23)的读数为固晶摆臂的压力值。
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