CN115855353B - 位移量控制装置及方法、压力传感器的生产方法及设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种压力传感器隔离膜片位移量控制装置及方法以及压力传感器的生产设备和生产方法。所述装置包括膜片定位组件、运动机构，膜片定位组件采用相对设置的两组，每个膜片定位组件包括滑块座、定位滑块、千分尺，压力传感器处于两个滑块座之间，膜座的两端面上分别设有隔离膜片，且定位滑块活动安装在滑块座上，定位滑块一端的端面采用与隔离膜片相适配的膜片定位结构，千分尺与定位滑块的第二端相连，运动机构与滑块座相连，用于带动两个滑块座做相对运动，通过转动千分尺来调节定位滑块的第一端的端面与压力传感器的隔离膜片之间的距离。该装置能够有效地提升压力传感器的测量精度。

Description

位移量控制装置及方法、压力传感器的生产方法及设备

技术领域

本发明涉及一种压力传感器隔离膜片位移量控制装置及方法以及压力传感器的生产设备和生产方法。

背景技术

膜片式压力传感器在膜座的两端设置有隔离膜片，隔离膜片将压力传输通道的外端口封闭，为了便于隔离膜片安装和稳定，一般还会在隔离膜片外侧设置焊环。

现有技术中，在向压力传感器的储油腔室内填充硅油时，使测量膜片保持在固定的初始位置，此时膜片式压力传感器内部形成稳定的压力体系。但是，现有的压力传感器在制作中工艺上存在的问题是：在向储油腔室内填充硅油的过程中，由于隔离膜片易发生变形，从而推动内部硅油流动，这就使每台膜片式压力传感器的隔离膜片的初始位置因发生不同情况而改变，从而影响压力传感器的测量精度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中的上述不足，提供一种压力传感器隔离膜片位移量控制装置及方法以及压力传感器的加工设备和生产方法，所述压力传感器隔离膜片位移量控制装置及方法能够有效地保证每一台压力传感器的隔离膜片的位移量能保持一致，从而可有效提升压力传感器的测量精度。

为解决上述问题，本发明采用以下技术方案：

一种压力传感器隔离膜片位移量控制装置，包括膜片定位组件、运动机构，所述膜片定位组件采用相对设置的两组，每个所述膜片定位组件包括滑块座、定位滑块、千分尺，待加工的压力传感器的膜座处于两组膜片定位组件的两个滑块座之间，所述膜座的两端面上分别设有隔离膜片，所述定位滑块的轴线与膜座的轴线重合，且定位滑块活动安装在滑块座上，从而能够相对于滑块座做沿自身轴线方向的移动，所述定位滑块靠近所述隔离膜片的第一端的端面与所述隔离膜片相对设置，且第一端的端面采用与所述隔离膜片相适配的膜片定位结构，所述千分尺的轴线与膜座的轴线重合，千分尺与定位滑块的远离膜座的第二端相连，所述运动机构与滑块座相连，用于带动两个滑块座做相对运动，通过转动千分尺来调节定位滑块的第一端的端面与压力传感器的隔离膜片之间的距离。

优选的，所述滑块座包括背板、第一安装板和第二安装板，所述背板与所述运动机构相连，所述第一安装板设于所述背板上，第一安装板上开设有安装通孔，所述定位滑块的第一端安装在所述安装通孔内，所述第二安装板上开设有通孔，所述千分尺的测微螺杆穿过所述通孔后与所述定位滑块的第二端连接。

优选的，所述定位滑块与所述安装通孔之间设有用于防止定位滑块转动的防转结构，所述定位滑块的第二端具有内孔，所述内孔的内壁上设有连接凹槽，所述测微螺杆上设有连接凸环，所述测微螺杆伸入所述内孔中，且所述连接凸环卡设在所述连接凹槽内。

优选的，所述膜片定位组件还包括密封单元，所述密封单元包括第一密封圈、第二密封圈，所述定位滑块的安装通孔内设有第一凹槽，所述第一密封圈设于所述第一凹槽内，所述定位滑块的外壁面上设有第二凹槽，所述第二密封圈设于所述第二凹槽内。

优选的，所述运动机构包括平行滑台气缸、滑轨和两个滑台，所述滑轨沿膜座的轴线方向设置，所述两个滑台滑设在所述滑轨上，两个滑块座分别安装在两个滑台上，在平行滑台气缸的驱动下，滑台带动滑块座在滑轨上移动。

优选的，所述压力传感器隔离膜片位移量控制装置还包括基座，所述基座包括底板和立板，所述立板连接在所述底板上，所述膜片定位组件和所述运动机构设置在所述立板上，所述立板上还设有传感器定位座，传感器定位座处于膜片定位组件下方，所述传感器定位座呈U形，所述压力传感器卡设在所述传感器定位座中。

优选的，所述压力传感器隔离膜片位移量控制装置还包括负压发生组件，所述负压发生组件包括负压发生单元、第一气管、第二气管，所述负压发生单元用于提供负压，所述定位滑块开设有与膜片定位结构连通的负压通道，所述第一气管的一端与所述负压发生单元连通，另一端与所述定位滑块的负压通道连通，所述第二气管的一端与所述负压发生单元连通，另一端与所述压力传感器内部的储油腔室连通。

本发明还提供一种压力传感器的生产设备，包括硅油加注组件和上述的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，所述硅油加注组件包括硅油加注装置和充油管，所述硅油加注装置用于提供硅油，所述充油管的一端与所述硅油加注装置连通，另一端与所述压力传感器内部的储油腔室连通。

优选的，所述压力传感器隔离膜片位移量控制装置采用上述的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，所述设备还包括切换阀，所述第二气管的中部与所述充油管的中部通过所述切换阀相连，所述第二气管的后段与所述充油管的后段合并为一根，形成共同管。

本发明还提供一种压力传感器隔离膜片位移量控制方法，采用上述的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，所述方法包括：

启动运动机构，以带动两个滑块座相互远离，

将待加工的压力传感器放置在两个相对设置的定位滑块之间，

再次启动运动机构，带动两个滑块座相互靠近，以使两个定位滑块的膜片定位结构分别与压力传感器的两个隔离膜片对应，

转动两个千分尺，驱动两个膜片定位结构分别与压力传感器两侧的两个隔离膜片分别抵接，再反转两个千分尺，使两个定位滑块分别退回至预设位置，并使两个膜片定位结构与压力传感器的两个隔离膜片之间的间距为相同的预设值。

本发明还提供一种压力传感器的生产方法，采用上述的压力传感器的生产设备进行生产，所述方法包括：

采用上述的方法，使两个膜片定位结构与压力传感器的两个隔离膜片之间的间距为相同的预设值；

调节切换阀，使得充油管与共用管连通，

启动硅油加注装置对压力传感器的储油腔室进行注油，以使得硅油溢出至共用管，

开启负压发生单元，以使得定位滑块内部的负压通道内为负压环境，将压力传感器两侧的隔离膜片吸附到膜片定位结构上，

检查储油腔室的硅油是否溢出至共用管，且在储油腔室的硅油溢出至共用管时，将共用管从储油腔室拔出，并密封储油腔室。

本发明还提供一种压力传感器的生产方法，采用上述的压力传感器的生产设备进行生产，所述方法包括：

采用上述的方法，使两个膜片定位结构与压力传感器的两个隔离膜片之间的间距为相同的预设值；

调节切换阀，使得充油管与共用管连通，

开启负压发生单元，使得定位滑块内部的负压通道内为负压环境，以将压力传感器两侧的隔离膜片吸附到膜片定位结构上，

启动硅油加注装置对压力传感器的储油腔室进行注油，并使硅油溢出至共用管，

将共用管从储油腔室拔出，并密封储油腔室。

本发明中的压力传感器隔离膜片位移量控制装置以及方法通过采用膜片定位组件在各种不同情况下均能够准确地控制每台膜片式压力传感器两侧的隔离膜片的位移量一致，从而保证每台压力传感器的充油量一致，进而可以提高压力传感器的测量精度。

附图说明

图1是本发明实施例1中的压力传感器隔离膜片位移量控制装置的主视图；

图2是本发明实施例1中的压力传感器隔离膜片位移量控制装置的结构示意图；

图3是本发明实施例1中的膜片定位组件的结构示意图；

图4是图3的剖视图；

图5是图4中A处的放大图；

图6是本发明实施例1中的定位滑块的结构示意图；

图7是本发明实施例1中的平行滑台气缸的结构示意图；

图8是本发明实施例1中的滑块座的结构示意图；

图9是本发明实施例1中的压力传感器的结构示意图。

图中：1-基座，111-底板，112-立板，113-螺栓安装孔，2-平行滑台气缸，21-滑台，22-滑轨，3-压力传感器，31-膜座，32-隔离膜片，33-安装座，34-充油孔，35-传感器定位座，4-滑块座，41-背板，42-第一安装板，421-安装通孔，422-膜座定位槽，423-第一凹槽，43-第二安装板，5-定位滑块，51-膜片定位结构，52-

负压通道，53-第二凹槽，54-螺杆连接座，541-连接凹槽，542-连接凸环，543-内孔，6-千分尺，61-测微螺杆，62-固定套筒，7-负压接头，8-第一气管，9-负压发生单元，10-第一密封圈，11-第二密封圈，12-第二气管，13-切换阀，14-充油管，15-共用管，16-硅油加注装置。

具体实施方式

下面将结合本发明中的附图，对发明中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”等指示方位或位置关系是基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于和简化描述，而并不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须设有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或者暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“设置”、“安装”“固定”等应做广义理解，例如可以是固定连接可以是可拆卸地连接，或者一体地连接；可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明提供一种压力传感器隔离膜片位移量控制装置，包括膜片定位组件、运动机构，所述膜片定位组件采用相对设置的两组，每个所述膜片定位组件包括滑块座、定位滑块、千分尺，待加工的压力传感器的膜座处于两组膜片定位组件的两个滑块座之间，所述膜座的两端面上分别设有隔离膜片，所述定位滑块的轴线与膜座的轴线重合，且定位滑块活动安装在滑块座上，从而能够相对于滑块座做沿自身轴线方向的移动，所述定位滑块靠近所述隔离膜片的第一端的端面与所述隔离膜片相对设置，且第一端的端面采用与所述隔离膜片相适配的膜片定位结构，所述千分尺的轴线与膜座的轴线重合，千分尺与定位滑块的远离膜座的第二端相连，所述运动机构与滑块座相连，用于带动两个滑块座做相对运动，通过转动千分尺来调节定位滑块的第一端的端面与压力传感器的隔离膜片之间的距离。

本发明还提供一种压力传感器的生产设备，包括硅油加注组件和上述的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，所述硅油加注组件包括硅油加注装置和充油管，所述硅油加注装置用于提供硅油，所述充油管的一端与所述硅油加注装置连通，另一端与所述压力传感器内部的储油腔室连通。

本发明还提供一种压力传感器隔离膜片位移量控制方法，采用上述的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，所述方法包括：

启动运动机构，以带动两个滑块座相互远离，

将待加工的压力传感器放置在两个相对设置的定位滑块之间，

再次启动运动机构，带动两个滑块座相互靠近，以使两个定位滑块的膜片定位结构分别与压力传感器的两个隔离膜片对应，

转动两个千分尺，驱动两个膜片定位结构分别与压力传感器两侧的两个隔离膜片分别抵接，再反转两个千分尺，使两个定位滑块分别退回至预设位置，并使两个膜片定位结构与压力传感器的两个隔离膜片之间的间距为相同的预设值。

本发明还提供一种压力传感器的生产方法，采用上述的压力传感器的生产设备进行生产，所述方法包括：

采用权利要求上述的方法，使两个膜片定位结构与压力传感器的两个隔离膜片之间的间距为相同的预设值；

调节切换阀，使得充油管与共用管连通，

启动硅油加注装置对压力传感器的储油腔室进行注油，使得硅油溢出至共用管，

开启负压发生单元，以使得定位滑块内部的负压通道内为负压环境，将压力传感器两侧的隔离膜片吸附到膜片定位结构上，

检查储油腔室的硅油是否溢出至共用管，当储油腔室的硅油溢出至共用管时，将共用管从储油腔室拔出，并密封储油腔室，

本发明还提供一种压力传感器的生产方法，采用上述的压力传感器的生产设备进行生产，所述方法包括：

采用上述的方法，使两个膜片定位结构与压力传感器的两个隔离膜片之间的间距为相同的预设值；

调节切换阀，使得充油管与共用管连通，

开启负压发生单元，使得定位滑块内部的负压通道内为负压环境，以将压力传感器两侧的隔离膜片吸附到膜片定位结构上，

启动硅油加注装置，对压力传感器的储油腔室进行注油，并使硅油溢出至共用管，

将共用管从储油腔室拔出，并密封储油腔室。

实施例1

如图1、2所示，本实施例公开一种压力传感器隔离膜片位移量控制装置，主要用于膜片式压力传感器的生产中。

如图9所示，待加工的膜片式压力传感器(下称压力传感器3)包括膜座31、位于膜座31两侧的隔离膜片32、以及安装座33，其中，膜座31固定安装在安装座33上。

所述控制装置包括膜片定位组件和运动机构，膜片定位组件采用相对设置的两组，且两组膜片定位组件沿该组件的轴线对称设置。本实施例中，两组膜片定位组件的轴线位于同一水平线上，每个膜片定位组件包括滑块座4、定位滑块5、千分尺6，待加工的压力传感器3的膜座31处于两组膜片定位组件的两个滑块座4之间，膜座31的两端面上分别设有隔离膜片32(如图9所示)，定位滑块5的轴线与膜座31的轴线重合，且定位滑块5活动安装在滑块座4上，从而能够相对于滑块座4做沿自身轴线方向的移动，定位滑块5靠近隔离膜片32的第一端的端面与隔离膜片32相对设置(两者面对面设置)，且第一端的端面采用与隔离膜片32相适配的膜片定位结构51，千分尺6的轴线与膜座31的轴线重合，千分尺6沿水平方向设置，且千分尺6的轴线与定位滑块5的轴线重合，千分尺6与定位滑块5的远离膜座31的第二端相连，运动机构与滑块座4相连，用于带动两个滑块座4做相对运动：首先，运动机构驱动两个滑块座4相互远离(两者做反向运动)，以使压力传感器3能够放入两个滑块座4之间，然后，运动机构驱动两个滑块座4相互靠近(两者做相向运动)，以将压力传感器3固定在两个滑块座4之间。在此之后，通过转动千分尺6来调节定位滑块5沿其轴向运动，以使两个定位滑块5分别与膜座的两个隔离膜片接触，进而反向转动千分尺6，以调节定位滑块5的第一端的端面与压力传感器3的隔离膜片32之间的距离为预设值，其中千分尺6能够精确地控制定位滑块5的位移量，从而通过膜片定位结构51能够精确地控制其与隔离膜片32之间的距离，使得每台压力传感器的隔离膜片32的位移量一致，从而保证每台压力传感器的充油量一致，进而达到提升压力传感器的测量精度的目的。

其中，预设值为隔离膜片32的最大可位移量，在压力传感器3的制作过程中，转动千分尺6调节定位滑块5的第一端的端面与隔离膜片32之间的距离为该预设值，即使膜片定位结构51与隔离膜片32之间的距离为该预设值，当隔离膜片32在注油与外力的作用下朝向定位滑块5的第一端的端面运动，直至隔离膜片32与膜片定位结构51完全贴合，此时，隔离膜片32达到最大可位移量。

压力传感器3在测量过程(即在使用过程)中，隔离膜片32此时处于最大可位移量位置(即初始位置)，其与膜座31端面之间的距离与上述的预设值相同，隔离膜片32在测量过程中的最大可位移量与制作过程中的最大可位移量相同，当被测介质的压力增大时，隔离膜片32从远离膜座31端面的位置朝向靠近膜座31端面的位置运动，当被测介质的压强从零增加到达到压力传感器3设计的最大测量值时，此时，隔离膜片32的可位移量从预设值(最大可位移量)减小到零，即刚好与膜座31端面完全贴合，若被测介质压强继续增加，隔离膜片32因与膜座31端面完全贴合而不会再将压强传递到压力传感器3的测量单元，从而使过压时测量单元得到很好的保护，避免压力传感器3的测量单元因过压而受到损伤。

如图3、8所示，在本实施例中，滑块座4为U形，其包括背板41、第一安装板42和第二安装板43，背板41与运动机构相连，第一安装板42与第二安装板43均设于背板41上，且均与背板41垂直，第一安装板42上开设有安装通孔421，定位滑块5的第一端安装在安装通孔421内，并且能够沿着安装通孔421的轴向滑动，第二安装板43上开设有通孔，且千分尺6包括固定套筒62与测微螺杆61，固定套筒62套设在测微螺杆61的后端外部，千分尺6的测微螺杆61穿过第二安装板43的通孔后与定位滑块5的第二端连接，固定套筒62位于第二安装板43的外侧。

如图8所示，安装通孔421靠近压力传感器3的一侧凹陷形成膜座定位槽422，膜座定位槽422与压力传感器3的膜座31相适配，压力传感器3的膜座31的两侧分别嵌设在两端的膜座定位槽422内，并且膜座31的两侧分别支撑在两端的膜座定位槽422的槽底。

上述安装结构简单可靠，便于将定位滑块5与千分尺6安装到滑块座4上，并且能够可靠地固定传感器的膜座31的位置，从而进一步地提升隔离膜片32位移量的精度，保证每台压力传感器的充油量一致，进而能够进一步提升压力传感器的测量精度。

在本实施例中，为了保证在操作过程中易于读数，操作不易出错，千分尺6采用电子数显千分尺。

如图4、5、6所示，定位滑块5与安装通孔421之间设有用于防止定位滑块5转动的防转结构，防转结构可以采用定位筋或者花键配合等方式，以用于防止定位滑块5相对于安装通孔421发生转动。定位滑块5的第二端为螺杆连接座54，螺杆连接座54上开设有与测微螺杆61相适配的内孔543，在内孔543的内壁上设有连接凹槽541，测微螺杆61上设有与连接凹槽541相对应的连接凸环542，测微螺杆61伸入螺杆连接座54的内孔543中，且连接凸环542可转动地卡设在连接凹槽541内。上述结构保证了测微螺杆61和定位滑块5之间的可靠连接，又通过连接凹槽541与连接凸环542的配合，精确控制定位滑块5的位移量，且使定位滑块5不会发生转动。

如图4、6、8所示，膜片定位组件还包括密封单元，密封单元包括第一密封圈10、第二密封圈11，定位滑块5的安装通孔421的内壁凹陷形成第一凹槽423，且第一凹槽423位于膜座定位槽422的内侧，第一密封圈10设于第一凹槽423内，当膜座定位槽422的槽底与膜座31的端面抵接时，第一密封圈10与第一凹槽423以及膜座31的端面均采用过盈配合。定位滑块5的外壁面上设有第二凹槽53，第二密封圈11设于第二凹槽53内，第二密封圈11与第二凹槽53以及安装通孔421的内壁均采用过盈配合。

第一密封圈10与第二密封圈11采用过盈配合的安装方式，能够完全密封膜座31、安装通孔421、定位滑块5之间的间隙，从而确保整片隔离膜片32完全地贴合在膜片定位结构51上。

如图7所示，运动机构包括平行滑台气缸2、滑轨22和两个滑台21，滑轨22沿膜座31的轴线方向设置，两个滑台21滑设在滑轨22上，两个滑块座4分别安装在两个滑台21上，在平行滑台气缸2的驱动下，滑台21带动滑块座4在滑轨22上移动。

如图1、2所示，压力传感器隔离膜片位移量控制装置还包括基座1，基座1包括底板111和立板112，立板112连接在底板111上，立板112与底板111形成L型结构，并且底板111上设有多个螺栓安装孔113，从而能够将基座1牢固地安装在工作台上。膜片定位组件和运动机构设置在立板112上，立板112上还设有传感器定位座35，传感器定位座35处于膜片定位组件下方，传感器定位座35为U形卡环结构，压力传感器3的安装座33卡设在传感器定位座35中。

如图1所示，本实施例中，压力传感器隔离膜片位移量控制装置还包括负压发生组件，负压发生组件包括负压发生单元9、第一气管8、第二气管12，负压发生单元9用于提供负压，定位滑块5上开设有与膜片定位结构51连通的负压通道52，并且定位滑块5的外表面设有负压接头7，负压通道52呈L型。第一气管8的一端与负压发生单元9连通，另一端通过负压接头7与定位滑块5的负压通道52的一端连通，负压通道52的另一端与贯穿膜片定位结构51。第二气管12的一端与负压发生单元9连通，另一端与压力传感器3内部的储油腔室连通，以用于对储油腔室内部抽真空与干燥。在压力传感器3的储油腔室充油之前，需要负压发生单元9通过第一气管8将负压通道52内抽为真空，以使得隔离膜片32紧密贴合在膜片定位结构51上，从而保证每台压力传感器的隔离膜片32的位移量一致，进而保证每台压力传感器的充油量一致。

在本实施例中，防转结构54还能防止第一气管8打绞。

本实施例中的压力传感器隔离膜片位移量控制装置通过千分尺6能够精确地控制定位滑块5的位移量，从而通过膜片定位结构51能够精确地控制隔离膜片32的位移量，使得每台压力传感器的隔离膜片32的位移量一致，保证每台压力传感器的充油量一致，进而在无需标定的情况下精准地控制每台压力传感器的测量误差，提高了压力传感器的测量精度；并且，通过采用负压抽吸方式，将整片隔离膜片32的各个部分吸附在膜片定位结构51上，使整片隔离膜片32完全与膜片定位结构51结合，进一步提升了隔离膜片32位移量的精度，保证每台压力传感器的充油量一致，进一步提升了压力传感器的测量精度。

实施例2

如图1所示，本实施例公开一种压力传感器的生产设备，包括硅油加注组件和实施例1中的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，硅油加注组件包括硅油加注装置16和充油管14，硅油加注装置16用于提供硅油，充油管14的一端与硅油加注装置16连通，另一端与压力传感器3内部的储油腔室连通。

如图9所示，在本实施例中，压力传感器3设有两个储油腔室，相对应的，压力传感器3设有两个充油孔34。

在本实施例中，该设备还包括切换阀13，第二气管12的中部与充油管14的中部通过切换阀13相连，第二气管12的后段与充油管14的后段合并为一根，形成共用管15。具体的，切换阀13设有两个入口端与一个出口端，第二气管12的中部与其中的一个入口端连接，充油管14的中部与另一个入口端连接，共用管15的一端与切换阀13的出口端连接，共用管15的另一端与压力传感器3的储油腔室连通，在硅油注入过程中，调节切换阀13，将充油管14的中部与共用管15连通，从而使硅油注入压力传感器3的储油腔室内。

本实施例中的切换阀13能够灵活地调节共用管15与充油管14中部或者第二气管12的中部连通，以便于在负压发生单元9对储油腔室抽真空后，能够方便快捷地将共用管15与充油管14连通，以使得抽真空工序与充油工序能够高效地完成，并且在此过程中，无需对上述生产设备的部件进行拆卸以及更换。

实施例3

本实施例公开一种压力传感器隔离膜片位移量控制方法，采用实施例1中的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，方法包括：

启动运动机构，以带动两个滑块座4相互远离，

将待加工的压力传感器3放置在两个相对设置的定位滑块5之间，

再次启动运动机构，带动两个滑块座4相互靠近，以使两个定位滑块5的膜片定位结构51分别与压力传感器3的两个隔离膜片32对应，

转动两个千分尺6，驱动两个膜片定位结构51分别与压力传感器3两侧的两个隔离膜片32分别抵接，再反转两个千分尺6，使两个定位滑块5分别退回至预设位置，并使两个膜片定位结构51与压力传感器3的两个隔离膜片32之间的间距调整为相同的预设值。

在本实施例中，具体的方法包括：

启动平行滑台气缸2，使平行滑台气缸2的两个滑台21分别带动两个滑块座4沿着滑轨22运动，以使得两个滑块座4相互远离，同时转动两侧的千分尺6，以驱动两侧的定位滑块5相互远离，

将压力传感器3卡设在传感器定位座35上，使压力传感器3的膜座31的两端位于两个滑块座4之间，再次启动平行滑台气缸2，驱动两侧的滑台21座沿着滑轨22运动，以使得两个滑块座4相互靠近，从而使两个滑块座4夹紧膜座31的两端面，

设定压力传感器3两侧的隔离膜片32的最大位移量；分别转动两侧的千分尺6，驱动两侧的定位滑块5的膜片定位结构51与膜座31两端的隔离膜片32抵接，再反转两个千分尺6，使膜片定位结构51回退到预设位置，此时，两侧的隔离膜片32与两侧的膜片定位结构51的距离为的隔离膜片32的最大位移量。

本实施例中的压力传感器隔离膜片位移量控制方法将压力传感器固定在两侧的定位滑块5之间，并且通过千分尺6精确地调节压力传感器两侧的隔离膜片32与两侧的膜片定位结构51的距离，以使得每台压力传感器的隔离膜片32的位移量一致，保证每台压力传感器的充油量一致，进而提高了压力传感器的测量精度。

实施例4

本实施例公开一种压力传感器的生产方法，采用实施例2中的压力传感器的生产设备进行生产，方法包括：

通过采用实施例3中的方法，使两个膜片定位结构51与压力传感器3的两个隔离膜片32之间的间距调整为相同的预设值；

调节切换阀13，使得充油管14与共用管15连通，

启动硅油加注装置16对压力传感器3的储油腔室进行注油，使得硅油溢出至共用管15，

开启负压发生单元9，以使得定位滑块5内部的负压通道52内为负压环境，将压力传感器3两侧的隔离膜片32吸附到膜片定位结构51上，

检查储油腔室的硅油是否溢出至共用管15，当储油腔室的硅油溢出至共用管15时，将共用管15从储油腔室拔出，并密封储油腔室，

当储油腔室的硅油未溢出至共用管15时，再次打开硅油加注装置16对储油腔室进行注油，直至硅油溢出共用管15，然后将共用管15从储油腔室拔出，并密封储油腔室。

采用上述方法，对储油腔室一次充油后，隔离膜片32至少能够部分贴合在膜片定位结构51上，由于隔离膜片32与膜片定位结构51的间隙已经极小，再次启动负压发生单元9，不仅能够确保压力传感器3两侧的隔离膜片32完全贴合吸附在膜片定位结构51上，而且对负压发生单元的要求低，从而无需选用大功率的负压发生单元9。

实施例5

本实施例公开一种压力传感器的生产方法，采用实施例1中的压力传感器的生产设备进行生产，所述方法包括：

采用实施例3中的方法，使两个膜片定位结构51与压力传感器3的两个隔离膜片32之间的间距为相同的预设值；

调节切换阀13，使得充油管14与共用管15连通，

开启负压发生单元9，使得定位滑块5内部的负压通道52内为负压环境，以将压力传感器3两侧的隔离膜片32吸附到膜片定位结构51上，

启动硅油加注装置16对压力传感器3的储油腔室进行注油，并使硅油溢出共用管15，

将共用管15从储油腔室拔出，并密封储油腔室。

采用本实施例中的上述方法，步骤较少，操作过程较为简单方便，一次充油就能确保加满储油腔室。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种压力传感器隔离膜片位移量控制装置，其特征在于，包括膜片定位组件、运动机构，

所述膜片定位组件采用相对设置的两组，每个所述膜片定位组件包括滑块座(4)、定位滑块(5)、千分尺(6)，

待加工的压力传感器(3)的膜座(31)处于两组膜片定位组件的两个滑块座(4)之间，所述膜座(31)的两端面上分别设有隔离膜片(32)，

所述定位滑块(5)的轴线与膜座(31)的轴线重合，且定位滑块(5)活动安装在滑块座(4)上，从而能够相对于滑块座(4)做沿自身轴线方向的移动，所述定位滑块(5)靠近所述隔离膜片(32)的第一端的端面与所述隔离膜片(32)相对设置，且第一端的端面采用与所述隔离膜片(32)相适配的膜片定位结构(51)，

所述千分尺(6)的轴线与膜座(31)的轴线重合，千分尺(6)与定位滑块(5)的远离膜座(31)的第二端相连，

所述运动机构与滑块座(4)相连，用于带动两个滑块座(4)做相对运动，

通过转动千分尺(6)来调节定位滑块(5)的第一端的端面与压力传感器(3)的隔离膜片(32)之间的距离。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述滑块座(4)包括背板(41)、第一安装板(42)和第二安装板(43)，

所述背板(41)与所述运动机构相连，

所述第一安装板(42)设于所述背板(41)上，第一安装板(42)上开设有安装通孔(421)，所述定位滑块(5)的第一端安装在所述安装通孔(421)内，

所述第二安装板(43)上开设有通孔，所述千分尺(6)的测微螺杆(61)穿过所述通孔后与所述定位滑块(5)的第二端连接。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述定位滑块(5)与所述安装通孔(421)之间设有用于防止定位滑块转动的防转结构，

所述定位滑块(5)的第二端具有内孔，所述内孔的内壁上设有连接凹槽(541)，所述测微螺杆(61)上设有连接凸环(542)，所述测微螺杆(61)伸入所述内孔中，且所述连接凸环(542)卡设在所述连接凹槽(541)内。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述膜片定位组件还包括密封单元，所述密封单元包括第一密封圈(10)、第二密封圈(11)，

所述定位滑块(5)的安装通孔(421)内设有第一凹槽(423)，所述第一密封圈(10)设于所述第一凹槽(423)内，

所述定位滑块(5)的外壁面上设有第二凹槽(53)，所述第二密封圈(11)设于所述第二凹槽(53)内。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述运动机构包括平行滑台气缸(2)、滑轨(22)和两个滑台(21)，

所述滑轨(22)沿膜座(31)的轴线方向设置，所述两个滑台(21)滑设在所述滑轨(22)上，两个滑块座(4)分别安装在两个滑台(21)上，

在平行滑台气缸(2)的驱动下，滑台(21)带动滑块座(4)在滑轨(22)上移动。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括基座(1)，所述基座(1)包括底板(111)和立板(112)，

所述立板(112)连接在所述底板(111)上，所述膜片定位组件和所述运动机构设置在所述立板(112)上，

所述立板(112)上还设有传感器定位座(35)，传感器定位座(35)处于膜片定位组件下方，所述传感器定位座(35)呈U形，所述压力传感器(3)卡设在所述传感器定位座(35)中。

7.根据权利要求1-6任一项所述的装置，其特征在于，还包括负压发生组件，所述负压发生组件包括负压发生单元(9)、第一气管(8)、第二气管(12)，

所述负压发生单元(9)用于提供负压，

所述定位滑块(5)开设有与膜片定位结构(51)连通的负压通道(52)，

所述第一气管(8)的一端与所述负压发生单元(9)连通，另一端与所述定位滑块(5)的负压通道(52)连通，

所述第二气管(12)的一端与所述负压发生单元(9)连通，另一端与所述压力传感器(3)内部的储油腔室连通。

8.一种压力传感器的生产设备，其特征在于，包括硅油加注组件和权利要求1-7任一项所述的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，

所述硅油加注组件包括硅油加注装置(16)和充油管(14)，

所述硅油加注装置(16)用于提供硅油，

所述充油管(14)的一端与所述硅油加注装置(16)连通，另一端与所述压力传感器(3)内部的储油腔室连通。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述压力传感器隔离膜片位移量控制装置采用权利要求7中的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，

所述设备还包括切换阀(13)，所述第二气管(12)的中部与所述充油管(14)的中部通过所述切换阀(13)相连，所述第二气管(12)的后段与所述充油管(14)的后段合并为一根，形成共用管(15)。

10.一种压力传感器隔离膜片位移量控制方法，其特征在于，采用权利要求1-7任一项所述的压力传感器隔离膜片位移量控制装置，所述方法包括：

启动运动机构，以带动两个滑块座(4)相互远离，

将待加工的压力传感器(3)放置在两个相对设置的定位滑块(5)之间，

再次启动运动机构，带动两个滑块座(4)相互靠近，以使两个定位滑块(5)的膜片定位结构(51)分别与压力传感器(3)的两个隔离膜片(32)对应，

转动两个千分尺(6)，驱动两个膜片定位结构(51)分别与压力传感器(3)两侧的两个隔离膜片(32)分别抵接，再反转两个千分尺(6)，使两个定位滑块(5)分别退回至预设位置，并使两个膜片定位结构(51)与压力传感器(3)的两个隔离膜片(32)之间的间距为相同的预设值。

11.一种压力传感器的生产方法，其特征在于：采用权利要求9所述的压力传感器的生产设备进行生产，所述方法包括：

采用权利要求10所述的方法，使两个膜片定位结构(51)与压力传感器(3)的两个隔离膜片(32)之间的间距为相同的预设值；

调节切换阀(13)，使得充油管(14)与共用管(15)连通，

启动硅油加注装置(16)对压力传感器(3)的储油腔室进行注油，以使得硅油溢出至共用管(15)，

开启负压发生单元(9)，使得定位滑块(5)内部的负压通道(52)内为负压环境，以将压力传感器(3)两侧的隔离膜片(32)吸附到膜片定位结构(51)上，

检查储油腔室的硅油是否溢出至共用管(15)，且在储油腔室的硅油溢出至共用管(15)时，将共用管(15)从储油腔室拔出，并密封储油腔室。

12.一种压力传感器的生产方法，其特征在于：采用权利要求9所述的压力传感器的生产设备进行生产，所述方法包括：

采用权利要求10所述的方法，使两个膜片定位结构(51)与压力传感器(3)的两个隔离膜片(32)之间的间距为相同的预设值；

调节切换阀(13)，使得充油管(14)与共用管(15)连通，

启动负压发生单元(9)，使得定位滑块(5)内部的负压通道(52)内为负压环境，以将压力传感器(3)两侧的隔离膜片(32)吸附到膜片定位结构(51)上，

启动硅油加注装置(16)对压力传感器(3)的储油腔室进行注油，并使硅油溢出至共用管(15)，

将共用管(15)从储油腔室拔出，并密封储油腔室。