JP4933775B2 - 微小表面形状測定プローブ - Google Patents
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Description
このような表面形状測定に際し、一般的に、接触圧が小さい程、より精度の高い表面形状測定を行うことができる。
また、空気圧による付勢力の調整方法として、レギュレータの制御分解能を上げたり多段階制御を行ったりする工夫をしても、装置が大型化してしまったり、安定した動作が容易でないなどの問題がある。
従って、接触圧を50mgfよりもさらに微小に調整することは困難であった。このことは、微小表面形状測定の精度の限界を定める要因となっていた。
プローブ先端を被測定物へ接触させたときに、被測定物表面がプローブ先端に対して傾いていると、これによりプローブシャフトが横ずれしてしまう問題があった。また、プローブ先端を球状に形成する場合、この先端球をプローブのシャフト部に取り付ける際に、取付け誤差が生じる問題があった。
本発明の好ましい実施形態によると、微小表面形状測定プローブは、対象物と接触する接触子を先端に有するプローブシャフトと、プローブシャフトを移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体と、前記プローブシャフトを対象物に向けて付勢移動させる付勢装置と、対象物と接触している接触子の位置を測定する変位量計測装置と、を備える。
この構成により、接触子が対象物(被測定物)に対して傾いている場合であっても、プローブシャフトの横ずれ方向の接触反力が複数のカンチレバーによって相殺されるので、横ずれの問題を解消できる。これにより、被測定物が接触子に対して大きく傾斜している場合でも、安定かつ高精度な計測が可能となる。
1.微小表面形状測定プローブの概要
2.微小表面形状測定プローブの各部の説明
3.圧電セラミックスの適用
4.圧電セラミックスの使用方法
5.接触子の構成
6.被測定物揺動装置
7.磁力を用いた付勢装置
図1は、参考例の実施形態による微小表面形状測定プローブ10の全体構成図である。この図1に示すように、微小表面形状測定プローブ10は、先端部に接触子2を有するプローブシャフト4と、プローブシャフト4を移動可能に支持するための支持構造体であるプローブ本体と、被測定物1へ向けてプローブシャフト4に付勢力を与えプローブシャフト4を付勢移動させる付勢装置(例えば、気体供給手段25、26)と、接触子2と被測定物1との微小接触圧を検出する微小力測定装置(例えば、圧電セラミックス8a)と、微小力測定装置により検出された接触圧に基づいて付勢装置の付勢力を制御する制御部9と、被測定物1に接触している接触子2の位置を測定する変位量計測装置(例えば、レーザ干渉を利用したレーザー変位計16)とを備える。なお、図1はプローブシャフト4を鉛直方向に配置した場合を示しているが、これに限定されず、プローブシャフト4を水平方向又は斜め方向に配置してもよい。
この変位量のデータと後述するスライダ装置20の垂直方向であるZスケールの座標値との演算処理により、被測定点の位置が測定される。つまり、接触子2の変位量は、プローブシャフト4のストロークの制約により測定範囲に限界があることから、スライダ装置20の垂直方向(Z軸方向)の協調動作による変位量との演算処理により、被測定点の絶対位置の測定が行われることになる。
この構成により、レーザー変位計16を用いて反射鏡12、即ち、プローブシャフト4の位置を高精度で測定できる。
図2に示すスライダ装置20の構成例では、接触子2が縦に配置されているが、接触子2が横に配置された構成を取ることができるのは言うまでもない。
また、同一のスライダ装置20に、研削加工具、切削加工具、研磨加工具および放電/電解加工具を取り付けることができ、同一のスライダ装置20により研削加工、切削加工、研磨加工および放電/電解加工を行うことができる。
微小表面形状測定プローブの各部の構成及び動作についてより詳細に説明する。
プローブシャフト4は、その先端部に設けられ被測定物1に接触させる接触子2と、後端部に設けられ径方向に拡大した拡径部17とを有し、プローブ本体の中空部18に配置される。中空部18はプローブ本体の中心付近にその軸方向に形成されている。図1に示すように、プローブシャフト4がプローブ本体の中空部18に配置されると、プローブシャフト4とプローブ本体との間には断面環状の支持空間19と付勢空間22、23が形成される。プローブシャフト4および中空部18は、プローブシャフト4が自由に回転しない形状とすることが好ましいが、これらの形状を回転対称として所定の角度で固定して使用すれば、さらに効果的である。
参考例の実施形態によると、微小力測定装置は、図1に示すようにプローブ本体の後方部において軸方向と垂直に差し挟まれた圧電セラミックス8aと、この圧電セラミックス8aに作用している荷重を検出する荷重検出部8bとを有する。なお、図1の例では、圧電セラミックス8aはレーザ光通過のための貫通孔が断面中心部に形成されてプローブ本体に組み込まれているが、これに限定されず、後述する圧電センサの機能を実現できれば、特に貫通孔を有する必要はない。また、本実施形態では、圧電センサとして圧電セラミックス8aを用いているが、他の適切な圧電センサを用いてもよい。
圧電セラミックス8aによる荷重測定は、従来の50mgf程度よりもさらに微小な1mgf程度の精度で行うことができる。よって、圧電セラミックス8aをプローブ本体に組み込むことで、1mgf程度の精度で接触圧の調整を行うことができる。
次に、参考例の実施形態において圧電セラックスをどのように使用するかを説明する。
まず、圧電セラミックスの特性について簡単に説明する。
図4は、圧電セラミックスによる荷重測定の原理を示す図である。図4が示すように、荷重Fが圧電セラミックスに作用すると、極性の異なった電荷+q、−qがそれぞれの電極表面に発生する。発生する電荷の量は作用した荷重Fの大きさに比例し、極性は荷重の方向により定められる。圧電定数をdとすると、荷重Fと電荷qの関係式は〔数1〕のようになる。
入力電圧をeiとし出力電圧をe0とする。また、フィードバック容量CFに蓄えらる電荷をqFとし、圧電セラミックスの内部容量C0とケーブルの分布容量CCに蓄えられる電荷をq0とする。フィードバック抵抗RFが非常に大きいものとすれば、圧電セラミックスから発生する電荷は、すべて入力容量(C0+CC)とフィードバック容量CFに蓄えられることになる。
図6は、圧電セラミックスの共振特性を求める回路である。図6において、圧電セラミックスは拘束がなく自由に変形できる状態にして発振器から一定電圧を圧電セラミックスの両極板間に供給する。圧電セラミックスのインピーダンスより十分大きい抵抗Rを直列接続し、圧電セラミックス両端の電圧を測定する。
圧電セラミックスの電極面の一方を金属板に接着固定し、圧電セラミックスの電極面の他方を自由端面とし、この自由端面に0.98Nの荷重を載せて両電極間に周波数を掃引しながら定電流を印加した。この時の、圧電セラミックスの両電極間の電圧を測定した結果、図8に示す変化を得た。次に、圧電セラミックスの自由端面に9.8Nの荷重を載せて同様の実験を行った。この結果も図8に示されている。
接触子2は円錐形状又は角錐形状の微小触針で形成することができ、その先端は尖鋭状又は球状にすることが好ましい。また、微小触針は電解によりドレッシングされた導電性砥石により研削加工すること、又は、ダイヤモンドツールにより超精密切削加工することが好ましい。また、参考例によるプローブを加工機上での計測に使用する場合には、同一加工機上で加工することで、高精度な加工が実現される。これらにより、高精度な加工面を得ることができる。特に、接触子2を軸芯を中心に回転させながら加工することで、接触子2の形状精度(誤差)は回転軸対称性を有するため、測定データの接触子2の接触位置の依存性を低減させ、当該接触子2を用いた測定を高精度化できるとともに、また予め接触子2の形状精度を他の測定手段により得ておくことにより、当該接触子2を用いた測定の精度を予測することができる。
接触子2と被測定物1との接触圧をより高い精度で制御するために、接触子2を接触圧により弾性変位させ、この弾性変位量と接触子2のばね定数とから接触圧を算出して、この算出された接触圧に基づいて、制御部9が付勢装置を制御して付勢力を調整することができる。これにより、従来よりもさらに微小に接触圧を調整することができる。
また、プローブ先端部(即ち、接触子2)をサファイヤやルビーや硬質ガラスなどの透明かつ硬質な媒体とし、反射面2dを使用せず、図11のように、レーザをそのまま先端部に向けて内部から導光しプローブ先端部2における被測定物1との接触点で反射させ、反射レーザ光を検出することで、被測定物1とプローブ先端部2との接触検出を行うこともできる。圧電素子による付勢力の測定と制御以前に、プローブと被測定物1との接触による衝撃や接触圧を低減するために、光を利用した接触検出ができることは先端部2および被測定物1の表面損傷を防ぐために効果的である。このように、接触子2を通して被測定物1との接触点へレーザ光を照射し、接触点で反射されたレーザ光を検出することで、接触子2と被測定物1との接触を感知する接触感知装置は、レーザー変位計16により構成することができる。なお、図11のように、接触点以外に照射されたレーザ光は接触子の外部に放射される。
さらに、この場合に、透明媒質により製作した上記プローブ先端部2へかかる接触圧力により、図12の破線で示すようにプローブ先端部2が変形し、プローブ内に応力が発生しプローブ先端部2の屈折率が変化する。このプローブ先端部2の変形及びプローブ先端部2の屈折率変化が相乗された形で光路変化が生じる。このような光路変化を接触感知装置(例えば、レーザー変位計16)により検出することで、付勢力の検出、制御を行うことも可能である。この光路変化は、入射レーザ光と、接触点で反射された反射レーザ光(図12の破線で示す)との位相差をレーザー変位計16dにより測定することで、検出できる。検出された光路変化から接触圧を検出できる。なお、位相差と接触圧の関係は、本明細書で説明した付勢装置や微小力測定装置や他の適切な測定装置を使用して予め求めておき、求めた関係を用いて接触圧を検出できる。
このように、接触感知装置によって接触又は接触圧が感知されたら、制御部9が付勢装置の付勢力を増加させないようにしたり、減少させたりする制御を行うことで、プローブ先端部2及び被測定物1の表面損傷を防ぐことができる。
また、接触子2が被測定物1に接触した時に、被測定物1の表面が接触子2に対して傾斜している場合には、横ずれが起こる問題があった。この問題を低減するため、本発明の実施形態によると、図13に示すように、接触子2は横ずれを防止するように弾性変形する構成を有する。図13(A)は、横ずれ防止用接触子2の側面図であり、図13(B)は図13(A)のA−A線矢視図である。図13の例では、接触子2中心に関して対称に配置され、被測定物1にほぼ同一位置で接触する4つの弾性変位するカンチレバーから接触子2が構成される。カンチレバーの一端である自由端31aは針状に形成されプローブシャフト4の径方向中心部に位置して被測定物1に接触する。カンチレバーの他端である固定端31bは、プローブシャフト4の径方向外側付近に固定される。自由端31aと固定端31bは接触圧により矢印aの方向に弾性変位する弾性結合部31cにより結合される。この構成により、接触子2が接触子2に対して傾斜している被測定物表面に接触しても、接触圧に応じて4つのカンチレバーが独立して弾性変位し、図13(A)の矢印bが示す横方向の反力を、互いに対称位置にあるカンチレバーにより相殺することができる。これにより、プローブシャフト4の横ずれを防止することができる。
上述では、接触子2を弾性変位するようにしてプローブシャフト4の横ずれを防止するようにしたが、被測定物表面が接触子2に対して傾いている場合に、被測定物1を傾けて接触子2が被測定物表面に垂直に接触するようにしてもよい。図14は、被測定物1を傾ける被測定物揺動装置35の構成が示されている。図14(A)は被測定物揺動装置35の側面図であり、図14(B)は図14(A)のA−A線矢視図であり、図15(A)及び図15(B)は揺動動作を示す図である。なお、各図において簡単のため、適宜部材を省略して図示してある。この被測定物揺動装置35は、被測定物1が固定される揺動テーブル36と、揺動テーブル36を回転可能に球面で受けるテーブル支持部材37と、揺動テーブル36の裏面に設けられ揺動テーブル36をそれぞれX軸とY軸の周りにそれぞれ回転駆動させる回転モータ38,39とを有する。回転モータ38,39は、例えばステッピングモータやサーボモータであってよい。
また、急峻な傾斜変化を有する被測定物の測定の場合には、ある箇所(範囲)からある箇所(範囲)までを、ある角度制御により測定し、また別の箇所(範囲)から別の箇所(範囲)までを、別の角度制御により測定し、それぞれのデータをコンピュータを用いた演算機能によりスティッチング(貼り合わせ)することが望ましい。このようにして、大面積で急峻な表面形状を有する被測定物の測定を高精度かつ効果的に行うことができる。
測定および演算処理により得られたデータは、(X,Y,Z)の絶対座標値を意味するセット(マトリックス)とともに、もし予め被測定物1の設計データが与えられていた場合には、実形状と設計形状の誤差(δX、δY、δZ)というマトリックスとしても格納することができる。また、これらのデータは、CADソフトウェアで読み込める形式のデータとして保存することもできる。これらの機能を利用すれば、得られたデータを用いて、再度、被測定物1の追加工に必要な工具の数値制御(NC)プログラムに変換することで、被測定物1の追加工による一層の高精度化を図ることができる。なお、同一の被測定物揺動装置35上で被測定物1の測定と加工を行ってもよい。
また、上述では、加圧気体を用いる付勢装置について説明したが、本発明はこれに限定されず他の装置を用いてもよい。
また、ここで図示したN極、S極を逆に配置しても同様の動作機能を得ることができることは言うまでもない。
さらに、磁力の代わりに静電気力を用いる、つまり上述した2つの磁極に相当する部分を+,−に帯電させることで同様の動作機能を得ることができるとともに、一部を磁力、一部を静電気力に置き換え、組み合わせることも可能である。
2 接触子
2a 先端球
2b シャフト部
3 段差
4 プローブシャフト
8a 圧電セラミックス
8b 荷重検出部
9 制御部
10 微小表面形状測定プローブ
12 反射鏡
14 導光手段
14a 放射端面
16 レーザー変位計
17 拡径部
18 中空部
19 支持空間
20 スライダ装置
21 プローブ本体
22、23 付勢空間
24、25、26 気体供給手段
31a 自由端
31b 固定端
31c 弾性結合部
31d 反射面
35 被測定物揺動装置
36 揺動テーブル
37 支持部材
38,39 回転モータ
42 出力軸
43、44b 歯車
45 ガイド部材
46 係合部材
52、53 永久磁石(N極)
54 付勢コイル
61 非磁性板
Claims (1)
- その中心に関して対称に配置され対象物と接触する複数のカンチレバーから構成される接触子を備え、
各カンチレバーは、径方向中心部に位置し対象物に接触する自由端と、径方向外側付近に固定された固定端と、径方向に延びて自由端と固定端を連結し自由端と対象物との接触圧により弾性変形する弾性連結部とを有し、
対象物と接触する接触子を先端に有するプローブシャフトと、
プローブシャフトを移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体と、
前記プローブシャフトを対象物に向けて付勢移動させることにより、複数のカンチレバーの自由端を対象物に接触させる付勢装置と、
対象物と接触している接触子の位置を測定する変位量計測装置と、を備え、
前記各カンチレバーの自由端の裏面には反射面が形成されており、
前記変位量計測装置は、各カンチレバーの前記反射面に向けてレーザ光を放射端面から同時に放射し、該放射端面及び前記反射面からの反射光に基づいて各カンチレバーの自由端の変位量を計測するレーザー変位計を有する、ことを特徴とする微小表面形状測定プローブ。
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