JP5336279B2 - 表面性状測定装置および真円度測定装置 - Google Patents
表面性状測定装置および真円度測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5336279B2 JP5336279B2 JP2009161442A JP2009161442A JP5336279B2 JP 5336279 B2 JP5336279 B2 JP 5336279B2 JP 2009161442 A JP2009161442 A JP 2009161442A JP 2009161442 A JP2009161442 A JP 2009161442A JP 5336279 B2 JP5336279 B2 JP 5336279B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation
- elastic force
- holding member
- force adjusting
- adjusting member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/002—Details
- G01B3/008—Arrangements for controlling the measuring force
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B5/201—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures for measuring roundness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Description
図6は、従来の真円度測定装置における測定力調整機構を模式的に示した図である。同図のように、測定力調整機構には、一端が切換つまみ190に接続され、他端がスタイラス140の基端に接続された線ばね160を用いている。使用者が切換つまみ190を手動でスライド移動させると、線ばね160の曲げ量が変化するので、スタイラス140の測定力を手動で調整できる。
また、線ばねの曲げ量を電動で変更させるとすると、専用の駆動装置や制御用スケールなどを新たに追加しなければならず、既存の検出器に駆動装置や制御用スケールなどを新たに取り付けることで、検出器が大型化し、高価なものとなってしまう。
被測定物を載置するテーブルと、被測定物に接触させる接触部を先端に有するスタイラスと、
前記スタイラスを移動可能に保持し、接触に伴って前記スタイラスを移動させて接触部を変位させる保持部材と、
前記接触部と被測定物との接触状態で、弾性力により前記接触部を被測定物に向けて押す弾性部材と、
前記テーブルに対して移動可能に設けられ、かつ、前記接触部の変位方向を回転させるために前記保持部材を回転自在に支持する検出器ホルダと、
前記検出器ホルダに支持され、連結された前記保持部材を回転させる回転用モータと、
を備え、被測定面との接触に伴う前記接触部の変位を検出して被測定物の表面性状を測定する表面性状測定装置であって、
前記保持部材に対して同軸で回転自在に支持される弾性力調整部材と、
前記保持部材と前記弾性力調整部材とを連結して相対的な回転位置を保つ連結手段と、
前記弾性力調整部材の回転を所定の回転位置にて規制する規制手段と、を備え、
前記モータによる前記保持部材の回転位置の範囲は、
前記連結手段により前記弾性力調整部材との相対的な回転位置が維持された状態で前記接触部の変位方向を調整する第一の回転範囲と、
この第一の回転範囲とは異なる回転範囲で、前記規制手段により前記弾性力調整部材の回転が規制されることで当該弾性力調整部材との相対的な回転位置が変化する第二の回転範囲と、を有し、
前記弾性力調整部材は、前記保持部材との相対的な回転位置に応じて前記弾性部材の弾性変形量を増減させることを特徴とする。
前記規制手段は、前記検出器ホルダに固定された規制部材であり、前記弾性力調整部材に設けられた被当接部材との当接によって回転を規制し、
前記回転用モータは、
前記第一の回転範囲にて、前記摩擦力により前記保持部材と弾性力調整部材とを一体回転させ、
前記第二の回転範囲にて、前記保持部材と弾性力調整部材とを所定の回転位置まで回転させて、前記規制部材に被当接部材を当接させるとともに、前記弾性力調整部材の回転が規制された状態で、前記保持部材を前記摩擦力以上の回転力で単独で回転させて、前記保持部材に対する前記弾性力調整部材の回転位置を相対的に移動させることが好ましい。
前記第二の回転範囲にて前記弾性力調整部材の相対的な回転位置を変化させた後、前記保持部材を反対方向に回転させて、前記規制部材と前記被当接部材とを離し、前記保持部材を前記弾性力調整部材と一体で反対方向に回転させ、
前記第一の回転範囲にて前記接触部の変位方向を所定の回転位置まで回転させることが好ましい。
前記第一の回転範囲から正回転方向に連続する正回転側の回転範囲と、
前記第一の回転範囲から逆回転方向に連続する逆回転側の回転範囲と、に区分され、
前記回転用モータは、
前記正転側の回転範囲にて、前記弾性力調整部材の正回転が規制された状態で、前記保持部材を単独で正回転させて弾性変形量を増加させるとともに、
前記逆転側の回転範囲にて、前記弾性力調整部材の逆回転が規制された状態で、前記保持部材を単独で逆回転させて弾性変形量を減少させることが好ましい。
また、前記表面性状測定装置において、前記弾性部材は、一端が前記弾性力調整部材に接続され、他端が前記スタイラスに接続された線ばねであって、前記弾性力調整部材が増減させる弾性変形量は、前記線ばねの曲げ量であることが好ましい。
被測定物を載置する回転テーブルを有し、前記接触部の変位量から断面略円形の被測定物の真円度を測定することを特徴とする。
また、検出器(スタイラス、保持部材、弾性部材)に従来から設けられている検出器の回転用モータを、測定力の調整機構として流用することにより、測定力を自動変更するための駆動装置や制御用スケールなどを新たに検出器内部に追加する必要がなくなる。従って、検出器の大型化を避けることができ、小型で安価な検出器を用いることができる。
以上説明したように本発明にかかる表面性状測定装置および真円度測定装置によれば、測定プログラムを停止させることなく検出器の測定力を変更することができ、連続測定が可能となり、かつ、小型で安価な検出器を用いることができる。
図1には本発明の一実施例にかかる真円度測定装置10の外観図が示されている。同図において、真円度測定装置10は、基台12と、基台12上に回転可能に設置された回転テーブル14と、回転テーブル14のX方向位置を調整する位置調整手段16及びY方向位置を調整する位置調整手段18と、前記載置面のX方向傾きを調整する傾斜調整手段20及びY方向傾き量を調整する傾斜調整手段22と、回転テーブル14上に載置された被測定物24の表面位置を接触検出可能な検出器26と、検出器26を支持する検出器ホルダ28と、検出器26を検出器ホルダ28ごとX軸方向に移動可能なX軸移動手段30と、X軸移動手段30をZ軸(上下)方向に移動可能なZ軸移動手段32とを含む。
図2にて、検出器26の主な構成要素は、接触式のスタイラス40と、スタイラスの保持部材50と、弾性部材としての線ばね60と、検出器全体を検出器ホルダ28に取り付けるための取付部材70と、検出器26を回転させる回転用モータ80と、内蔵された円板状の弾性力調整部材90である。
線ばね60は、一端62が後述する弾性力調整部材90に接続され、他端64がスタイラス40の基端46に接続されている。線ばね60は、所定の曲げ量まで変形した状態で、保持部材50の内外を貫通する開口52に挿通され、弾性力調整部材90とスタイラス40とを接続している。
測定中に接触部42を被測定物に接触させると、線ばね60は曲げ量に応じた弾性力により接触部42を被測定物に向けて押し、検出器26の測定力を生じさせる。真円度などの測定中、線ばね60が接触部42の接触を維持するので、被測定物の表面の振れに接触部42を追従させることができる。接触状態を維持するため、スタイラス40が所定の傾斜角の姿勢になるまで接触部42を被測定面に押しつけた状態で、測定を開始する。
このような構成において、回転用モータ80の駆動により、保持部材50の回転位置が所定の回転範囲の任意位置まで回転し、これに伴って測定方向が所定の向きに設定される。測定方向は、被測定面が凹部の内周面である場合といった、被測定面の形状や位置の条件に応じて、最適な向きに設定される。これらの被測定物24の形状情報はあらかじめ測定プログラムに組み入れられており、制御装置34によって最適な測定方向が決定される。
測定方向が設定された後、検出器ホルダ28を移動させて、接触部42を被測定面に接触させると、スタイラス40の傾斜角が変位して接触部42が変位方向に微小変位する。この際のスタイラス40の傾斜角度(接触部42の変位量)を検出し、検出値に基づいて断面略円形の被測定物の真円度を測定する。
弾性力調整部材90は、線ばね60の弾性変形量を電動で増減させ、すなわち、線ばね60の曲げ量を回転用モータ80の回転力で変化させるために設けられている。
弾性力調整部材90は、保持部材50に対して回転可能に支持されている。すなわち、弾性力調整部材90は、中心に貫通孔94を有した略円板状に形成され、A軸中心に保持部材50と同軸で回転自在に設けられている。貫通孔94には回転用モータの出力軸82が挿通されており、モータ80の回転力は直接、弾性力調整部材90に作用しない。つまり、円板の下面(スタイラス側)98と、保持部材50の上面56とは接触しており、モータ80の回転力は保持部材50を介して接触面に生じる摩擦力により、弾性力調整部材90を回転させる。このように、弾性力調整部材90は、一定以上の摩擦力で保持部材50と連結している。検出器26には、調整部材90と保持部材50とを連結して両者の相対的な回転位置を維持する連結手段が設けられている。連結手段としては、調整部材90を保持部材50に対して所定の力で押圧する図示しない板ばね等を用いてもよい。または、連結手段として、取付部材70および保持部材50が所定の押圧力で調整部材90を挟持する構造を採用してもよい。このように連結手段が、保持部材50と調整部材90とを接触させ、接触面に一定以上の摩擦力を生じさせ、摩擦力により調整部材90と保持部材50とを連結する。弾性力調整部材90と保持部材50との間には、一定以上の摩擦力を得やすくするための表面加工やゴムシートなどを施してもよい。
また、弾性力調整部材90は、保持部材50との摩擦力により線ばね60の弾性変形をも保持する。
取付部材70には、弾性力調整部材90の上面96に向かって突出する固定ピン72が設けられている。固定ピンは、本発明の規制部材に相当し、弾性力調整部材90が所定の回転位置まで移動すると、弾性力調整部材90の突起92を当接する位置に固定されている。
モータ側から見てA軸中心に時計周りに弾性力調整部材90が回転する方向を正回転とすると、突起92は、正回転側の被当接面92Aと、逆回転側の被当接面92Bとを有する。弾性力調整部材90が正回転した際、固定ピン72によって当接される部分を正回転側の被当接面92Aとする。一方、弾性力調整部材90が逆回転した際、同様に、固定ピン72によって当接される部分を逆回転側の被当接面92Bとする。
従来の真円度測定装置にも、検出器の測定方向を電動で変更する機構を備えたものがあったが、本発明では、この検出器の回転用モータ80を用いて検出器26自体を回転させるとともに、この回転用モータ80の回転範囲(360°)のうち、例えば、検出器26の回転に用いない回転範囲(70°)を弾性力の調整に利用する。
すなわち、回転用モータ80は、第一の回転範囲84にて、連結手段により発生する摩擦力で保持部材50と調整部材90とを一体回転させ、調整部材90と保持部材50との相対的な回転位置が維持された状態で、測定方向Sを調整する。
第二の回転範囲86にて、保持部材50を回転させて調整部材90が回転規制位置に達すると、保持部材50を一定の摩擦力以上の回転力で単独で回転させ、保持部材50に対する調整部材90の回転位置を相対的に移動させる。
図4(B)にてスタイラスの測定力はレベル1である。
回転用モータが、保持部材50を正回転側の回転範囲87まで正回転させて、正転側の被当接面92Aを固定ピン72に当接させると(同図(C))、調整部材90の正回転が規制されるので、保持部材50を単独で正回転させて弾性部材を目的の変形量のレベル10まで増加させる(同図(D))。その後、回転用モータが保持部材50を逆回転させると、突起92が固定ピン72から離れるので、調整部材90が保持部材50と一体で逆回転する。そのまま第一の回転範囲84まで逆回転させて、第一の回転範囲84にて接触部の変位方向(測定方向S)を所定の向きに設定する(同図(E))。これにより、増加させたレベル10の測定力で測定することができる。
図4(E)にてスタイラスの測定力はレベル10である。
回転用モータが、保持部材50を逆回転側の回転範囲88まで逆回転させて、逆転側の被当接面92Bを固定ピン72に当接させると(同図(F))、調整部材90の逆回転が規制されるので、保持部材50を単独で逆回転させて弾性部材を目的の変形量のレベル1まで減少させる(同図(G))。その後、回転用モータが保持部材50を正回転させると、突起92が固定ピン72から離れるので、調整部材90が保持部材50と一体で正回転する。そのまま第一の回転範囲84まで正回転させて、第一の回転範囲84にて測定方向Sを所定の向きに設定する(同図(B))。これにより、減少させたレベル1の測定力で測定することができる。
このように、検出器26の測定姿勢を変化させると、被測定面に対するスタイラス40の自重の影響も変化する。例えば、上面24bの測定における上面姿勢の場合、側面24aの測定における縦姿勢の場合よりもスタイラス40の自重が被測定面に多く作用するためである。このような影響によって、弾性部材の弾性力が一定のままでは、実際の測定力にばらつきが生じてしまう。本実施形態によれば、測定中に弾性力を変化させることができるので、測定姿勢が変更した場合であっても、測定姿勢に関わらず実際の測定力を一定とすることができる。なお、検出器26の姿勢に対応する測定力の設定値を予め測定プログラムに組み入れておけばよい。
また、図3のように検出器26(スタイラス40、保持部材50、弾性部材60)に従来から設けられている検出器の回転用モータ80を、測定力の調整機構として流用することにより、測定力を自動変更するための駆動装置や制御用スケールなどを新たに検出器26内部に追加する必要がなくなり、検出器26の大型化を避けることができ、小型で安価な検出器26を用いることができる。
また、真円度測定装置においては、てこ式のスタイラスが好ましいが、てこ式に限られない。例えば、図5(A)のように、スタイラス先端の接触部42をスタイラス40Aの軸方向に平行に変位可能に支持し、被測定面との接触に伴う接触部42の軸方向の変位を検出する検出器26Aを備えた測定装置であってもよい。検出器26Aにて、回転用モータにより弾性力調整部材90Aをスライド移動させれば、弾性部材60の弾性力が変化し、測定力を増減させることができる。この場合、回転用モータは、スライド方向に直交するA軸を中心に検出器26Aを回転させることができる。
また、連結手段としては、接触による摩擦力で調整部材と保持部材とを連結させる方法を説明したが、接触による摩擦力によらず両者を連結させる機構を用いてもよい。
14 回転テーブル
24 被測定物
26 検出器
28 検出器ホルダ
40 スタイラス
42 接触部
50 保持部材
60 弾性部材である線ばね
72 規制部材である固定ピン
80 回転用モータ
90 弾性力調整部材
Claims (7)
- 被測定物を載置するテーブルと、
被測定物に接触させる接触部を先端に有するスタイラスと、
前記スタイラスを移動可能に保持し、接触に伴って前記スタイラスを移動させて接触部を変位させる保持部材と、
前記接触部と被測定物との接触状態で、弾性力により前記接触部を被測定物に向けて押す弾性部材と、
前記テーブルに対して移動可能に設けられ、かつ、前記接触部の変位方向を回転させるために前記保持部材を回転自在に支持する検出器ホルダと、
前記検出器ホルダに支持され、連結された前記保持部材を回転させる回転用モータと、
を備え、
被測定面との接触に伴う前記接触部の変位を検出して被測定物の表面性状を測定する表面性状測定装置であって、
前記保持部材に対して同軸で回転自在に支持される弾性力調整部材と、
前記保持部材と前記弾性力調整部材とを連結して相対的な回転位置を保つ連結手段と、
前記弾性力調整部材の回転を所定の回転位置にて規制する規制手段と、
を備え、
前記モータによる前記保持部材の回転位置の範囲は、
前記連結手段により前記弾性力調整部材との相対的な回転位置が維持された状態で前記接触部の変位方向を調整する第一の回転範囲と、
この第一の回転範囲とは異なる回転範囲で、前記規制手段により前記弾性力調整部材の回転が規制されることで当該弾性力調整部材との相対的な回転位置が変化する第二の回転範囲と、を有し、
前記弾性力調整部材は、前記保持部材との相対的な回転位置に応じて前記弾性部材の弾性変形量を増減させることを特徴とする表面性状測定装置。 - 請求項1記載の表面性状測定装置において、
前記連結手段は、前記保持部材と前記弾性力調整部材とを接触させ、接触による摩擦力で前記弾性変形を保持するとともに、当該摩擦力により前記保持部材と弾性力調整部材とを連結し、
前記規制手段は、前記検出器ホルダに固定された規制部材であり、前記弾性力調整部材に設けられた被当接部材との当接によって回転を規制し、
前記回転用モータは、
前記第一の回転範囲にて、前記摩擦力により前記保持部材と弾性力調整部材とを一体回転させ、
前記第二の回転範囲にて、前記保持部材と弾性力調整部材とを所定の回転位置まで回転させて、前記規制部材に被当接部材を当接させるとともに、前記弾性力調整部材の回転が規制された状態で、前記保持部材を前記摩擦力以上の回転力で単独で回転させて、前記保持部材に対する前記弾性力調整部材の回転位置を相対的に移動させる
ことを特徴とする表面性状測定装置。 - 請求項2記載の表面性状測定装置において、
前記回転用モータは、
前記第二の回転範囲にて前記弾性力調整部材の相対的な回転位置を変化させた後、前記保持部材を反対方向に回転させて、前記規制部材と前記被当接部材とを離し、前記保持部材を前記弾性力調整部材と一体で反対方向に回転させ、
前記第一の回転範囲にて前記接触部の変位方向を所定の回転位置まで回転させることを特徴とする表面性状測定装置。 - 請求項3記載の表面性状測定装置において、
前記第二の回転範囲は、
前記第一の回転範囲から正回転方向に連続する正回転側の回転範囲と、
前記第一の回転範囲から逆回転方向に連続する逆回転側の回転範囲と、に区分され、
前記回転用モータは、
前記正転側の回転範囲にて、前記弾性力調整部材の正回転が規制された状態で、前記保持部材を単独で正回転させて弾性変形量を増加させるとともに、
前記逆転側の回転範囲にて、前記弾性力調整部材の逆回転が規制された状態で、前記保持部材を単独で逆回転させて弾性変形量を減少させることを特徴とする表面性状測定装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の表面性状測定装置において、
前記スタイラスは、支点中心に回転自在に支持されるてこ式のスタイラスであることを特徴とする表面性状測定装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の表面性状測定装置において、
前記弾性部材は、一端が前記弾性力調整部材に接続され、他端が前記スタイラスに接続された線ばねであって、
前記弾性力調整部材が増減させる弾性変形量は、前記線ばねの曲げ量であることを特徴とする表面性状測定装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の表面性状測定装置を備えて構成され、
被測定物を載置する回転テーブルを有し、前記接触部の変位量から断面略円形の被測定物の真円度を測定することを特徴とする真円度測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009161442A JP5336279B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 表面性状測定装置および真円度測定装置 |
EP10166622A EP2278258B1 (en) | 2009-07-08 | 2010-06-21 | Surface texture measurement apparatus and roundness measuring apparatus |
AT10166622T ATE547688T1 (de) | 2009-07-08 | 2010-06-21 | Vorrichtung zur messung der oberflächentextur und vorrichtung zum messen der rundheit |
US12/831,678 US7950164B2 (en) | 2009-07-08 | 2010-07-07 | Surface texture measurement apparatus and roundness measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009161442A JP5336279B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 表面性状測定装置および真円度測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011017573A JP2011017573A (ja) | 2011-01-27 |
JP5336279B2 true JP5336279B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=42782201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009161442A Active JP5336279B2 (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 表面性状測定装置および真円度測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7950164B2 (ja) |
EP (1) | EP2278258B1 (ja) |
JP (1) | JP5336279B2 (ja) |
AT (1) | ATE547688T1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7587834B2 (en) * | 2008-02-07 | 2009-09-15 | Eaton Homer L | Motorized coordinate measuring device |
DE102009020294A1 (de) * | 2009-05-07 | 2010-11-18 | Mahr Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines Oberflächenprofils |
JP5301412B2 (ja) * | 2009-10-21 | 2013-09-25 | 株式会社ミツトヨ | 測定力制御装置 |
US8701301B2 (en) * | 2011-04-19 | 2014-04-22 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring instrument |
JP6113963B2 (ja) * | 2012-04-26 | 2017-04-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定方法、及び形状測定装置 |
KR101205311B1 (ko) | 2012-05-14 | 2012-11-27 | 동우에이치에스티 주식회사 | 에널러스기어 진원도 교정장치 |
US9157721B1 (en) * | 2012-06-08 | 2015-10-13 | Beeline Company | Measuring system |
JP6052956B2 (ja) * | 2012-07-02 | 2016-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 形状解析方法および形状解析プログラム |
US9347761B2 (en) * | 2013-06-06 | 2016-05-24 | Cedarflat Precision Inc. | Two-way roundness device |
JP6518421B2 (ja) * | 2014-09-24 | 2019-05-22 | 株式会社ミツトヨ | 真円度測定機およびその制御方法 |
US9581424B2 (en) * | 2014-12-09 | 2017-02-28 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Roundness measuring apparatus |
JP5943099B1 (ja) * | 2015-01-28 | 2016-06-29 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置 |
JP6361757B1 (ja) * | 2017-02-24 | 2018-07-25 | 株式会社東京精密 | 表面測定機用検出器 |
JP6777589B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-10-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置 |
JP6964452B2 (ja) * | 2017-07-13 | 2021-11-10 | 株式会社ミツトヨ | 測定機管理システム及びプログラム |
CN108362194B (zh) * | 2017-12-29 | 2020-05-05 | 铜陵日科电子有限责任公司 | 一种变压器自动检测装置 |
US11555693B2 (en) | 2020-05-12 | 2023-01-17 | The Boeing Company | Measurement of surface profiles using unmanned aerial vehicles |
CN111595230B (zh) * | 2020-06-19 | 2021-11-05 | 嘉兴巨腾信息科技有限公司 | 一种金属圆环生产加工抽样检测装置 |
CN113074614B (zh) * | 2021-03-08 | 2023-10-03 | 安徽省恒泰动力科技有限公司 | 基于自动送料机构的活塞圆度测试装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3310345A1 (de) * | 1983-03-22 | 1984-09-27 | M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8000 München | Verfahren und vorrichtung zum messen von werkstuecken in drei dimensionen |
JPS6247506A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-02 | Hitachi Ltd | 曲面形状測定装置 |
JP3214952B2 (ja) | 1993-04-14 | 2001-10-02 | 株式会社小坂研究所 | 真円度測定器の測定子支持装置 |
EP0849654B1 (de) * | 1996-12-21 | 2004-04-28 | Carl Zeiss | Verfahren zur Steuerung von Koordinatenmessgeräten und Koordinatenmessgerät |
EP1617171B1 (fr) * | 2004-07-12 | 2007-12-12 | Tesa S.A. | Palpeur pour mesures tridimensionnelles |
JP4462150B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2010-05-12 | 株式会社東京精密 | 検出器支持装置 |
JP4933775B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2012-05-16 | 独立行政法人理化学研究所 | 微小表面形状測定プローブ |
JP2008298713A (ja) * | 2007-06-04 | 2008-12-11 | Murata Mach Ltd | 寸法測定ヘッド |
-
2009
- 2009-07-08 JP JP2009161442A patent/JP5336279B2/ja active Active
-
2010
- 2010-06-21 EP EP10166622A patent/EP2278258B1/en not_active Not-in-force
- 2010-06-21 AT AT10166622T patent/ATE547688T1/de active
- 2010-07-07 US US12/831,678 patent/US7950164B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7950164B2 (en) | 2011-05-31 |
EP2278258A1 (en) | 2011-01-26 |
JP2011017573A (ja) | 2011-01-27 |
EP2278258B1 (en) | 2012-02-29 |
US20110005095A1 (en) | 2011-01-13 |
ATE547688T1 (de) | 2012-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5336279B2 (ja) | 表面性状測定装置および真円度測定装置 | |
EP2772722B1 (en) | Form measuring instrument | |
KR101917394B1 (ko) | 안경 프레임 형상 측정 장치 | |
JP2004003944A (ja) | 眼鏡枠形状測定装置 | |
JP2005502876A (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP2006300823A (ja) | 表面粗さ/輪郭形状測定装置 | |
US7198547B2 (en) | Lens edger | |
US8302322B2 (en) | Detector and measuring device | |
US6487897B1 (en) | Detector for surface texture measuring instrument | |
WO2016121490A1 (ja) | 真円度測定装置 | |
JP3406044B2 (ja) | ダイヤルゲージ式芯出し装置 | |
JP2003266305A (ja) | 端面研磨装置及び端面研磨方法 | |
JPH09229607A (ja) | 形状測定機 | |
CN111670334B (zh) | 表面形状测定机 | |
US20230032119A1 (en) | Roundness measuring machine | |
JP5971445B1 (ja) | 真円度測定装置 | |
JP3959319B2 (ja) | 表面性状測定機用検出器 | |
JP2016070662A (ja) | 表面粗さ測定機 | |
JP5817379B2 (ja) | 眼鏡枠形状測定装置 | |
CN211425248U (zh) | 径向圆跳动检测装置 | |
JP7038308B2 (ja) | 表面形状測定機 | |
CN214427468U (zh) | 速度传感器检测装置 | |
KR20120085947A (ko) | 마운팅 시험편 고정장치 | |
JP2008064650A (ja) | 硬度計 | |
JP2007024904A (ja) | 球面体の表面形状評価方法及び評価装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130619 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130801 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5336279 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |