JP6777589B2 - 表面性状測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、表面性状測定装置に関する。

スタイラス（触針）を測定対象物の表面に接触させながら移動させ、そのときのスタイラスの変位から測定対象物の形状データを得る表面性状測定装置がある（特許文献１、２）。
図１は、表面性状測定装置１０の外観斜視図である。
表面性状測定装置１０は、測定機本体部２０と、測定機本体部２０に対して交換可能に着脱できる測定器７０と、を具備する。

測定機本体部２０は、ベース３０と、駆動機構部４０と、を備える。

駆動機構部４０はベース３０に立設されている。
駆動機構部４０は、Ｚコラム４１と、Ｚスライダ４２と、Ｚ駆動機構４３と、Ｘ駆動機構５０と、を備える。

Ｚコラム４１は、ベース３０の上面に立設されている。
Ｚスライダ４２は、Ｚコラム４１に沿って上下方向（Ｚ軸方向）移動可能に設けられている。
Ｚ駆動機構４３は、Ｚコラム４１内に設けられており、Ｚスライダ４２を上下方向へ昇降させる。Ｚ駆動機構４３としては、例えば送りねじ機構を採用でき、例えば、ボールねじ軸をＺコラム４１に平行に設け、このボールねじ軸に回り止めしたナット部材を螺合させる。そして、このナット部材とＺスライダ４２とを連結する。

図２は、Ｚスライダ４２および測定器７０の内部機構を示す図である。
Ｘ駆動機構５０は、Ｚスライダ４２内に設けられ、Ｚスライダ４２の下方に吊り下げ支持された測定器７０をＸ軸方向に移動させる。
Ｘ駆動機構５０は、図２に示されるように、Ｚスライダ４２の筐体内において、Ｘ軸方向と平行に設けられたガイドレール５１と、ガイドレール５１に沿ってＸ軸方向へ移動可能に設けられたＸスライダ５２と、Ｘスライダ５２をガイドレール５１に沿って移動させる送り機構５３と、を備える。
送り機構５３は、送りネジ軸５４と、モータ５５と、伝達機構５６と、を有し、モータ５５の動力で送りネジ軸５４を回転させる。送りネジ軸５４に回り止めされたナット部材（不図示）が螺合しており、このナット部材とＸスライダ５２とが連結されている。

なお、図示しないが、ベースの上に移動ステージを配設してもよい。

測定器７０は、図２に示されるように、ケーシング７１と、ブラケット７２と、測定アーム７５と、スタイラス７７と、変位検出器７８と、を備える。

Ｘスライダ５２にブラケット７２が吊り下げ支持されている。
ブラケット７２は、ボルト７３によってＸスライダ５２に対して着脱可能になっている。ブラケット７２は、回転軸７６を支点として上下方向へ揺動（円弧運動）できるように測定アーム７５を支持している。
測定アーム７５の先端にスタイラス７７が設けられている。変位検出器７８は、測定アーム７５の円弧運動量（Ｚ軸方向の変位量）を検出する。

以上の構成において、駆動機構部４０により、測定器７０を測定対象物に対して相対移動させることができる。
測定器７０のスタイラス７７を測定対象面に接触させながら測定器７０を測定対象面に沿って移動させる。このときのスタイラス７７の微小上下動を測定アーム７５の揺動量として変位検出器７８で検出する。これにより、測定対象物の形状データを取得することができる。

図１や図２では測定器７０の一例を示したが、測定器７０は用途に応じた種々のタイプが用意されている。測定感度（倍率）や、測定ストローク、測定力などが異なる各種の測定器７０が用意されており、ユーザは目的に応じて測定器７０を交換して測定作業を行う。

例えば、図３においては、測定器（輪郭測定器）７０が測定機本体部２０に取り付けられており、測定器（粗さ測定器）８０はスタンド９０に保持されている。

図４は、測定器７０の斜視図である。
図４において、ブラケット７２は、Ｘスライダ５２のハンギングフレーム６０にボルト７３で止められている。
ハンギングフレーム６０は、ネジ６１によってＸスライダ５２に固定されるものである。
図４では、図が見やすいようにハンギングフレーム６０をＸスライダ５２から外した状態を示しているが、通常、ユーザはハンギングフレーム６０をＸスライダ５２から外すことはないので、ハンギングフレーム６０もＸスライダ５２の一部と解釈して頂いてもよい。
ブラケット７２の両サイドには着脱補助レバー７４が設けられている。図４のように着脱補助レバー７４を開いているときは着脱補助レバー７４の一端（不図示）がハンギングフレーム６０に係合しており、着脱補助レバー７４を図５のように閉じるようにすると着脱補助レバー７４とハンギングフレーム６０との係合が外れるようになっている。

測定器７０の交換作業手順を簡単に説明する。
測定器７０の交換に当たって、まず、ユーザは測定機本体部２０の電源をオフにする。測定機本体部２０の電源をオフにすると、測定機本体部２０から測定器７０への給電が停止され、測定器７０の電源もオフになる。そして、工具（専用のレンチやスパナ）でボルト７３を外し、ブラケット７２とハンギングフレーム６０との締結を解除する。

次に、図５のように、一方の手で着脱補助レバー７４を閉じるように操作しながら、他方の手で測定器７０を支える。
着脱補助レバー７４でブラケット７２とハンギングフレーム６０との係合を解除しながら、ゆっくりと測定器７０を引き出す。これにより、ハンギングフレーム６０から測定器７０が外れる。

測定器７０を測定機本体部２０に取り付ける場合には、測定機本体部２０の電源はオフにしたままで、ブラケット７２をハンギングフレーム６０に係合させるようにして測定器７０をＸスライダ５２に取り付ける。さらに、工具（専用のレンチやスパナ）でボルト７３を締めて、ブラケット７２とハンギングフレーム６０とを締結する。このあと、測定機本体部２０の電源をオンにして、ソフトウェアを再起動する。

特許５７３５３３７号 特開２０１７−３５５９号公報

上記のように測定器の交換作業には手数が多く、時間が掛かっていた。
また、電源をオフにしてから交換作業を行わないと、うまく起動できないので作業の順番が大事になってくる。
また、一方の手で着脱補助レバーを操作しながら他方の手で測定器を支えなくてはならないが、片方の手だけで測定器の重量を支えるというのは不安定になりがちである。
測定器の交換がたびたび必要となると、測定効率が著しく低下してしまうし、上記のような交換作業は面倒である。

本発明の目的は、簡便かつ安全に測定器の交換作業ができる表面性状測定装置を提供することにある。

本発明の表面性状測定装置は、
測定対象物の表面に対して接触または非接触で倣い走査測定する測定器と、
前記測定器を前記測定対象物に対して相対移動させる駆動機構部を有する測定機本体部と、を具備し、前記測定器が前記駆動機構部に対して着脱することで前記測定器が交換可能に設けられている表面性状測定装置において、
前記測定器は、
当該測定器を前記駆動機構部に取り付けるためのブラケットを有し、このブラケットには、該測定器の信号送受信および該測定器への給電を行うための第１コネクタが設けられており、
前記駆動機構部は、
前記ブラケットが着脱可能に取り付けられる支持フレームを有し、この支持フレームには、前記第１コネクタと電気的に接続される第２コネクタが設けられており、
前記第１コネクタと前記第２コネクタとが接続されているときには、前記第１コネクタと前記第２コネクタとの間で信号送受信が行われるとともに前記第２コネクタから前記第１コネクタに給電され、
前記測定器を前記駆動機構部に着脱するにあたって、前記第１コネクタと前記第２コネクタとの挿抜はホットスワップ可能である
ことを特徴とする。

本発明の一実施形態では、
前記ブラケットは、端面から突起するように設けられたシャフトを有し、
前記支持フレームは、前記シャフトを受け入れ可能であるとともに前記シャフトの有無を検出する着脱検出センサを有し、
前記着脱検出センサが前記シャフトの存在を検知したときは前記第２コネクタと前記第１コネクタとを電気的に導通させ、
前記着脱検出センサが前記シャフトの存在を検知しないときは、前記第２コネクタと前記第１コネクタとを電気的に遮断する
ことが好ましい。

本発明の一実施形態では、
前記ブラケットには、当該ブラケットを貫通した状態に設けられたシャフト状のクランパーを有し、
前記クランパーは、軸中心に回転可能、かつ、軸方向には前記ブラケットに対して進退不可に設けられており、
前記支持フレームには、前記クランパーを受け入れるクランプホールを有し、
前記クランパーと前記クランプホールとは、前記クランパーの回転操作によって係脱する
ことが好ましい。

本発明の一実施形態では、
前記クランパーおよび前記クランプホールの一方にはらせん溝が設けられ、
前記クランパーおよび前記クランプホールの他方には前記らせん溝に受け入れられるロックキーが設けられている
ことが好ましい。

本発明の一実施形態では、
前記クランパーの端部には手動操作手段としてのハンドルが設けられ、前記ハンドルは手の平で握れるレバー形式である
ことが好ましい。

本発明の一実施形態では、
交換用の前記測定器を待機させるスタンドをさらに有し、前記スタンドにも前記支持フレームが設けられている
ことが好ましい。

表面性状測定装置の外観斜視図である。 Ｚスライダおよび測定器の内部機構を示す図である。 輪郭測定器を測定機本体部に取り付け、粗さ測定器をスタンドで待機している状態を例示する図である。 測定器の斜視図である。 着脱補助レバーを閉じるように操作しながら測定器を着脱する様子を説明するための図である。 第１実施形態を示す斜視図である。 ハンギングフレームの裏面を示す図である。 保護カバーを外して、ハンギングフレームの裏面を示す図である。 クランパーのハンドル操作で測定器をハンギングフレームから外す工程を説明するための図である。 クランパーのハンドル操作で測定器をハンギングフレームから外す工程を説明するための図である。 クランパーのハンドル操作で測定器をハンギングフレームから外す工程を説明するための図である。 クランパーのハンドル操作で測定器をハンギングフレームから外す工程を説明するための図である。 クランパーのハンドル操作で測定器をハンギングフレームから外す工程を説明するための図である。 機能ブロック図である。

本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
図６は、第１実施形態を示す斜視図である。
第１実施形態が特徴とするところは、第１に、ホットスワップ対応にしたことにある。
また、第１実施形態の第２の特徴は、クランパーの端部に手動操作手段としてのハンドルを設け、クランパー２２０のターン操作によって測定器７０がハンギングフレーム１００に着脱するようにしたことにある。
つまり、第１実施形態によれば、工具を使用せずに（工具レスで）、一つの操作だけで（クランパー２２０のターン操作だけで）測定器７０とハンギングフレーム１００との着脱ができるようになる。
本実施形態が備える測定器７０の交換機構を「ワンアクション着脱機構」と称することにする。
以下、ワンアクション着脱機構を説明する。

まずハンギングフレーム１００の構成を説明する。
なお、測定機本体部２０側の構成としては、支持フレームであるハンギングフレーム１００以外は背景技術と同じでよく、以下、ハンギングフレーム１００の構成を主に説明する。
また、測定器７０の構成としては、ブラケット２００以外は背景技術と同じでよく、以下、ブラケット２００の構成を主に説明する。
図６中、ハンギングフレーム１００において、ブラケット２００が取り付く側（−Ｙ側）をハンギングフレーム１００のおもて面とし、その反対側の面（＋Ｙ側の面）を裏面とする。
したがって、図７、図８は、ハンギングフレーム１００の裏面を示している。

ハンギングフレーム１００には、コネクタのソケット１１０が第２コネクタとして配設されており、このソケット１１０は、測定器７０の側に設けられた第１コネクタとしてのピンコネクタ２１０と接続される。
ハンギングフレーム１００には、おもて面から裏面に貫通した貫通孔が設けられている。この貫通孔はクランパー２２０のロックと解除を行うものであるから、クランプホール１２０と称することにする。クランプホール１２０の内側にはロックキー１２１が突出するように設けられている。
図９から図１１、図１３の断面図に表れるように、ロックキー１２１は、クランプホール１２０のなかに配置されたボール１２１である。ここでは、ロックキー１２１としてのボール１２１は、対向するように二つ設けられている。

また、ハンギングフレーム１００のおもて面には、２本の支持ピン１３０が突設されている。

図７はハンギングフレーム１００の裏面を示す図である。そして、図８は、保護カバー１４０を外して、センサ部分がよく見えるように図示したものである。図８に示されるように、ハンギングフレーム１００の裏面において、クランプホール１２０の開口を挟むようにしてコ字型のフォトインタラプタ１５０が配設され、着脱検出センサとして機能する。
フォトインタラプタ１５０は、一方に発光部１５１、他方に受光部１５２を有し、発光部１５１と受光部１５２との間の物体の有無を検出する。フォトインタラプタ１５０の検出信号はケーブル１５３を介して、外部の制御装置に送られるようになっている。

図８においては、クランプホール１２０からクランパー２２０の先端２２２Ａが突き出ている。このとき、発光部１５１からの光はクランパー２２０の先端２２２Ａで遮断されて受光部１５２には届かない。
受光部１５２が光を検知しないときは、測定器７０がハンギングフレーム１００に接続されているときである。そこで、受光部１５２のローレベル信号を接続検出信号と称することにする。

次に、ブラケット２００を説明する。
ブラケット２００の裏面には、ピンコネクタ２１０が設けられている。ピンコネクタ２１０とソケット１１０とが接続されると、測定機本体部２０と測定器７０とが電気的に接続され、電力および信号の送受信が可能になる。

ブラケット２００には、クランパー２２０が設けられている。
クランパー２２０は、ハンドル２２１と、クランプシャフト２２２と、を有する。
ハンドル２２１は、手の平でしっかり握れるレバー形式であることが好ましいと考えられる。例えば、サムターンのように指でつまんで捻るものよりは、本実施形態に例示するように、手でしっかり握って引き起こしたり倒したりするものがよい。（もちろんサムターンを除外するわけではない。）

クランプシャフト２２２は、図９から図１１、図１３に示すように、クランプホール１２０に挿入されるものである。
クランプシャフト２２２は、ブラケット２００のおもて面から裏面に突き抜けるように挿通した状態に設けられている。ブラケット２００の内部において、クランプシャフト２２２に向けてピン２３０が設けられている。クランプシャフト２２２には周方向にキー溝２２３が設けられており、このキー溝２２３にピン２３０の先端が入ることで、クランプシャフト２２２がブラケット２００から抜けないようになっている。つまり、クランプシャフト２２２は、回転可能であるが、ブラケット２００に対して軸方向（Ｙ軸方向）には進退しない（相対変位しない）。

クランプシャフト２２２の先端側にはスプライン溝２２４（らせん溝）が設けられている。
スプライン溝２２４は、ロックキー１２１であるボール１２１を受け入れるようになっている。ハンドル２２１を持ってクランパー２２０を回すと、スプライン溝２２４とボール１２１との係り合いにより、クランパー２２０がクランプホール１２０に引き込まれたり、逆にクランプホール１２０から押し出されたりする。ボール１２１が二つ設けられているのであるから、それに対応してスプライン溝２２４も二条ある。

ブラケット２００には、ハンギングフレーム１００の２本の支持ピン１３０を受け入れる二つの支持ホール２４０が設けられている。

図９から図１２を参照して、クランパー２２０のハンドル操作で測定器７０をハンギングフレーム１００から外す工程を説明する。
図６、図７のようにハンドル２２１のレバーが水平の時、測定器７０のブラケット２００がハンギングフレーム１００に取り付いた状態になっている。
このハンドル２２１の位置（水平位置）をゼロ度とする。
ハンドル２２１を反時計回りに１８０度回して反対向きにしたとき（図６中の矢印Ａ）、測定器７０のブラケット２００がハンギングフレーム１００から抜ける。

このハンドル２２１の位置を１８０度とする。ユーザは、測定器７０をハンギングフレーム１００に対して着脱するにあたり、ただハンドル２２１を半回転（１８０度）回すだけでよい。ハンドル２２１を回すことで、ホットスワップにより自動的に測定器７０への電源供給がオンオフ制御される。また、ハンドル２２１を回すことで、自然と測定器７０がハンギングフレーム１００に引き込まれたり、ハンギングフレーム１００から押し出されたりする。

まず図９においては、測定器７０のブラケット２００がハンギングフレーム１００に取り付けられている状態である。つまり、ハンドル２２１はゼロ度の位置にある。
クランプシャフト２２２の先端２２２Ａは、クランプホール１２０から突き出てフォトインタラプタ１５０の間に入り、発光部１５１からの光を遮断している。これにより、フォトインタラプタ１５０は、測定器７０がハンギングフレーム１００に取り付けられた状態にあることを検出できる。
また、測定器７０のコネクタ２１０がハンギングフレーム１００のソケット１１０に挿入されており、これにより、測定機本体部２０から測定器７０に電源供給されるとともに、測定器７０からの信号が測定機本体部２０を介して外部の制御装置に出力される。

さて、測定器７０の交換のため、ユーザがハンドル２２１を持って反時計回りに回しはじめるとする（図１０）。（このとき、前述の通り、電源を切っておくなどの準備は必要ない。）ハンドル２２１を持ってクランパー２２０を回転させると、スプライン溝２２４とロックキー１２１（ボール１２１）との関係により、クランプシャフト２２２が押し出される。
図１０でいうと、クランパー２２０とともにブラケット２００は右方向（−Ｙ方向）へ僅かに移動する。
図１０の状態では、まだ回転が少ないので、クランプシャフト２２２の先端２２２Ａはフォトインタラプタ１５０の間に入っているし、コネクタ２１０とソケット１１０とは電気的導通状態にある。

さらにハンドル２２１を回転させて、ハンドル２２１が９０度回転（ゼロ度から９０度）したとする（図１１、図１２）。
すると、スプライン溝２２４とロックキー１２１（ボール１２１）との関係により、クランプシャフト２２２とともにブラケット２００がさらに押し出される。このとき、クランプシャフト２２２の先端２２２Ａはフォトインタラプタ１５０の間から抜けて、発光部１５１からの光が受光部１５２に入射する。すると、フォトインタラプタ１５０は、測定器７０がハンギングフレーム１００から外されようとしていることを検出する。このときの受光部１５２からの信号を「離脱検出信号」とする。

離脱検出信号はケーブル１５３を介して制御装置に送られ、制御装置は、離脱検出信号を受けると、測定機本体部２０および測定器７０に対して電源オフを指示する。これで、測定機本体部２０および測定器７０は電源オフの処理を行う。測定機本体部２０は、まず測定器７０への給電を停止し、その後自身の動作を停止する。

一方、図１１に示されるように、ハンドル２２１が９０度回転のときでも（クランプシャフト２２２の先端がフォトインタラプタ１５０から離脱したときでも）、コネクタ２１０とソケット１１０とは電気的に導通状態を維持している。
つまり、クランプシャフト２２２の先端２２２Ａがフォトインタラプタ１５０に挿入される深さよりも、コネクタ２１０とソケット１１０との噛み込み深さの方が長い。

この時点で測定機本体部２０と測定器７０の電源はオフになっており、あとは測定器７０をハンギングフレーム１００から引き抜くだけである。このとき、ユーザは意図的に測定器７０を引き出すのではなく、ハンドル２２１を反時計回りにさらに９０度（９０度から１８０度へ）持ち上げるように回せばよい（図６の矢印Ａ方向）。すると、スプライン溝２２４とロックキー１２１（ボール１２１）との関係により、クランプシャフト２２２が押し出され、自然に測定器７０がハンギングフレーム１００から抜ける（図１３）。

このときのユーザの操作はハンドル２２１を握って反時計回りに上に持ち上げるように回す動作をしているのであるから、測定器７０がハンギングフレーム１００から離脱するときに測定器７０が落下するなどという心配は無い。

測定器７０をハンギングフレーム１００に取り付ける場合の動作は上記説明の逆になるだけであるから冗長な説明は割愛する。
測定器７０をハンギングフレーム１００に取り付けるときにクランパー２２０を時計回り（図６の矢印Ｂ方向）に、すなわち１８０度から９０度、さらに、９０度からゼロ度へ回していくと、クランプシャフト２２２の先端２２２Ａがフォトインタラプタの間に入り、フォトインタラプタから接続検出信号が制御装置に送られる。制御装置は、接続検出信号を受けて、測定機本体部２０および測定器７０の電源をオンにする。制御装置は、測定機本体部２０を介して測定器７０と電気的に接続されるので、接続された測定器７０の識別信号を取得して、自動的に対応するソフトウェアを起動する。

以上説明したように、本実施形態によれば、フォトインタラプタ１５０がクランプシャフト２２２の先端２２２Ａの位置を検出することでホットスワップが可能になっている。したがって、測定器７０の交換時に電源のオンオフやソフトウェアの終了や起動をユーザが意識的に行う必要はない。クランパー２２０のハンドル操作をすることで簡単に測定器７０の着脱ができ、工具（専用のレンチやスパナ）を用いなくても測定器７０の交換が簡便にできるようになった。

ハンドル２２１であるレバーをしっかり持って測定器７０の着脱を行うので、両方の手でしっかりと測定器７０を支えながら測定器７０の交換を行うようになり、交換時に測定器７０が落下するなどの事故の心配がほぼ無くなる。

（変形例１）
上記実施形態においてワンアクション着脱機構は測定機本体部２０と測定器７０とを連結するハンギングフレーム１００とブラケット２００とに設けられていた。さらに、このワンアクション着脱機構をスタンド９０にも設けておくことが好ましい。従来、待機中の測定器８０をスタンド９０に着けたりスタンド９０から外したりする際、電源操作は無いにしても、背景技術で説明したような着脱の手間があった。
この点、上記実施形態で説明したワンアクション着脱機構がスタンド９０にも設けられていれば（つまり上記説明のハンギングフレーム１００をスタンド９０に設置しておけば）、クランパー２２０のハンドル操作だけでスタンド９０と測定器８０との着脱が簡単にできる。

さらに、スタンド９０に待機中の測定器８０にも通電できるようになる。
図１４に機能ブロック図で示すように、スタンド９０にも測定器８０に対する給電用電源９１および給電スイッチ９２を設けておく。そして、フォトインタラプタ１５０からの着脱検出信号に応じて給電スイッチ９２のオンオフ制御を行うことで待機中の測定器８０にも通電できるようになる。このことは、測定器交換後の暖機待ち時間が不要になる効果を生む。したがって、測定器交換がより簡便かつより短時間で行えるようになり、測定効率の画期的向上につながる。

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。

１０…表面性状測定装置、
２０…測定機本体部、３０…ベース、
４０…駆動機構部、
４１…Ｚコラム、４２…Ｚスライダ、４３…Ｚ駆動機構、
５０…Ｘ駆動機構、
５１…ガイドレール、５２…Ｘスライダ、５３…送り機構、５４…ネジ軸、５５…モータ、５６…伝達機構、
６０…ハンギングフレーム、６１…ネジ、
７０…測定器（輪郭測定器）、
７２…ブラケット、７３…ボルト、７４…着脱補助レバー、７５…測定アーム、７７…スタイラス、７８…変位検出器、８０…測定器（粗さ測定器）、
９０…スタンド、９１…給電用電源、９２…給電スイッチ、
１００…ハンギングフレーム、
１１０…ソケット、１２０…クランプホール、１２１…ロックキー（ボール）、１３０…支持ピン、１４０…保護カバー、１５０…フォトインタラプタ、１５１…発光部、１５２…受光部、１５３…ケーブル、
２００…ブラケット、
２１０…ピンコネクタ、２２０…クランパー、２２１…ハンドル、２２２…クランプシャフト、２２２Ａ…シャフト先端、２２３…キー溝、２２４…スプライン溝、２３０…ピン、２４０…支持ホール。

Claims (5)

1. 測定対象物の表面に対して接触または非接触で倣い走査測定する測定器と、
   前記測定器を前記測定対象物に対して相対移動させる駆動機構部を有する測定機本体部と、を具備し、前記測定器が前記駆動機構部に対して着脱することで前記測定器が交換可能に設けられている表面性状測定装置において、
   前記測定器は、
   当該測定器を前記駆動機構部に取り付けるためのブラケットを有し、
   このブラケットには、該測定器の信号送受信および該測定器への給電を行うための第１コネクタと、端面から突起するように設けられたシャフトと、が設けられており、
   前記駆動機構部は、
   前記ブラケットが着脱可能に取り付けられる支持フレームを有し、
   この支持フレームには、前記第１コネクタと電気的に接続される第２コネクタと、前記シャフトを受け入れ可能であるとともに前記シャフトの有無を検出する着脱検出センサと、が設けられており、
   前記第１コネクタと前記第２コネクタとが接続されているときには、前記第１コネクタと前記第２コネクタとの間で信号送受信が行われるとともに前記第２コネクタから前記第１コネクタに給電され、前記測定器を前記駆動機構部に着脱するにあたって、前記第１コネクタと前記第２コネクタとの挿抜はホットスワップ可能であって、
   前記着脱検出センサが前記シャフトの存在を検知したときは前記第２コネクタと前記第１コネクタとを電気的に導通させ、
   前記着脱検出センサが前記シャフトの存在を検知しないときは、前記第２コネクタと前記第１コネクタとを電気的に遮断する
   ことを特徴とする表面性状測定装置。
2. 測定対象物の表面に対して接触または非接触で倣い走査測定する測定器と、
   前記測定器を前記測定対象物に対して相対移動させる駆動機構部を有する測定機本体部と、を具備し、前記測定器が前記駆動機構部に対して着脱することで前記測定器が交換可能に設けられている表面性状測定装置において、
   前記測定器は、
   当該測定器を前記駆動機構部に取り付けるためのブラケットを有し、
   このブラケットには、該測定器の信号送受信および該測定器への給電を行うための第１コネクタと、当該ブラケットを貫通した状態に設けられたシャフト状のクランパーと、が設けられており、
   前記クランパーは、軸中心に回転可能、かつ、軸方向には前記ブラケットに対して進退不可に設けられており、
   前記駆動機構部は、
   前記ブラケットが着脱可能に取り付けられる支持フレームを有し、
   この支持フレームには、前記第１コネクタと電気的に接続される第２コネクタと、前記クランパーを受け入れるクランプホールと、が設けられており、
   前記第１コネクタと前記第２コネクタとが接続されているときには、前記第１コネクタと前記第２コネクタとの間で信号送受信が行われるとともに前記第２コネクタから前記第１コネクタに給電され、前記測定器を前記駆動機構部に着脱するにあたって、前記第１コネクタと前記第２コネクタとの挿抜はホットスワップ可能であって、
   前記クランパーと前記クランプホールとは、前記クランパーの回転操作によって係脱する
   ことを特徴とする表面性状測定装置。
3. 請求項２に記載の表面性状測定装置において、
   前記クランパーおよび前記クランプホールの一方にはらせん溝が設けられ、
   前記クランパーおよび前記クランプホールの他方には前記らせん溝に受け入れられるロックキーが設けられている
   ことを特徴とする表面性状測定装置。
4. 請求項２または請求項３に記載の表面性状測定装置において、
   前記クランパーの端部には手動操作手段としてのハンドルが設けられ、前記ハンドルは手の平で握れるレバー形式である
   ことを特徴とする表面性状測定装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれかに記載の表面性状測定装置において、
   交換用の前記測定器を待機させるスタンドをさらに有し、前記スタンドにも前記支持フレームが設けられている
   ことを特徴とする表面性状測定装置。