JP7094821B2

JP7094821B2 - 形状測定装置

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Publication number: JP7094821B2
Application number: JP2018147879A
Authority: JP
Inventors: 敏裕金松
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2018-08-06
Filing date: 2018-08-06
Publication date: 2022-07-04
Anticipated expiration: 2038-08-06
Also published as: CN110806190A; DE102019211767A1; CN110806190B; US20200041246A1; US11022418B2; JP2020024115A

Description

本発明は、形状測定装置に関し、より詳しくは、対象物の表面を測定する形状測定装置に関するものである。

対象物の表面の形状や粗さを測定する形状測定装置には高分解精度が求められる。このため、一般的に、検出器として作動トランスや作動インダクタンス方式が採用されている。このような形状測定装置では、測定のための検出ストローク幅は約１ｍｍ程度である。このため、検出器を対象物の測定開始点へ位置合わせする作業は非常に困難なものとなっている。特に、Ｚ軸方向（高さ方向）における検出器の位置決めについては、対象物や検出器が破損しないように慎重な作業が必要とされる。

検出器の高速移動（粗動）と微細位置決め（微動）との両立を図る観点から、特許文献１には、ツイストローラがドライブシャフトに摩擦接触する摩擦接触状態と、ドライブシャフトから離間する離間状態とを切り替え可能なトラクションナット部を備えた形状測定装置が開示されている。この形状測定装置では、トラクションナット部を離間状態にすることで検出器をドライブシャフトに沿って粗動させることができる。一方、トラクションナット部を摩擦接触状態にしてドライブシャフトを回転させることで、ツイストローラのリード角に従い、検出器をドライブシャフトに沿って微動させることができる。

また、形状測定装置において、Ｚ軸方向の検出器の位置決めの自動化が進んでおり、コラム軸をモータ制御する電動コラムによって、コラム軸の全ストローク範囲や一部のストローク範囲で高速移動および低速移動を可能とするシステムも考えられている。

特許第６１６８９４６号公報

このような形状測定装置において、検出器のＺ軸方向の位置決めを自動化するためにモータやモータ制御部を設ける場合、モータとモータ制御部との間を繋ぐケーブル類の取り回しが問題となる。例えば、検出器の移動によってケーブル類が屈曲したり、劣化したりする。また、このようなケーブル類からの引っ張り力が検出器のスムーズな移動を妨げる原因となる。

本発明は、検出器の位置決めのための電動送り機構を備えた形状測定装置において、ケーブル類の引き回しを簡素化でき、検出器のスムーズな移動を実現することを目的とする。

本発明の一態様は、対象物の表面の位置を検出する検出器を有する形状測定機と、形状測定機を軸方向に移動させる送り機構と、を備えた形状測定装置である。
送り機構は、軸まわりに回転可能に設けられたドライブシャフトと、ドライブシャフトをその軸線に直交する方向から挟持するように設けられ、かつ、ドライブシャフトに摩擦接触する摩擦接触状態とドライブシャフトから離間する離間状態とを切り替え可能であるトラクションナット部と、トラクションナット部と形状測定機とを連結するブラケットと、を有する。
トラクションナット部には、ドライブシャフトの軸線に対してリード角相当の傾斜角を有する状態で回転可能に軸支されたツイストローラが設けられており、トラクションナット部がドライブシャフトに摩擦接触した状態においてドライブシャフトを回転させるとリード角に従ってトラクションナット部がドライブシャフトに沿って微動する。
トラクションナット部がドライブシャフトから離間した状態においては、トラクションナット部はドライブシャフトに沿ってフリーに粗動できるよう構成される。
トラクションナット部は、さらに、トラクションナット部の摩擦接触状態と離間状態とを切り替え操作するための開閉レバーと、トラクションナット部がドライブシャフトに摩擦接触するように付勢力を発生させる付勢手段と、を備える。
開閉レバーは、ユーザ操作により、付勢手段の付勢力に抗してトラクションナット部を離間状態とし、ユーザが開閉レバーを離すと付勢手段の付勢力によってトラクションナット部は摩擦接触状態に復帰する。
ブラケットには、軸線に対して傾斜した回転軸を有しドライブシャフトを回転させるモータが設けられる。

このような構成によれば、ドライブシャフトを回転させるためのモータが形状測定機とともに上下動するブラケットに設けられているため、モータと制御部との間のケーブル類を短くできるとともに、形状測定機が上下動してもケーブルに負荷が掛からない。

上記形状測定装置において、モータの回転軸を中心として回転し、ドライブシャフトと接触してドライブシャフトを回転させる回転部材をさらに備えていてもよい。この回転部材は、ローラまたは球体である。これにより、モータによって回転する回転部材によってドライブシャフトを軸回りに回転させることができる。

上記形状測定装置において、モータは、ツイストローラを回転させるものであってもよい。これにより、構成を追加することなく、トラクションナット部のツイストローラを利用してドライブシャフトを回転させることができる。

本実施形態に係る形状測定装置を例示する正面図である。本実施形態に係る形状測定装置を例示する側面図である。Ｚ方向にみた送り機構部の断面図である。ツイストローラの配置を例示する模式図である。開閉レバーを揺動させた状態を例示する断面図である。本実施形態に係る形状測定装置を例示するブロック図である。回転部材の他の例を説明する模式図である。回転部材の他の例を説明する模式図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。

〔形状測定装置の構成〕
図１は、本実施形態に係る形状測定装置を例示する正面図である。
図２は、本実施形態に係る形状測定装置を例示する側面図である。
図１及び図２に示すように、本実施形態に係る形状測定装置１００は、基台（ベース）１に載置された対象物Ｗの表面の位置を検出する装置である形状測定機１１と、送り機構部３００とを備える。形状測定機１１は、基台１に立設された支柱２に沿って上下動するように設けられる。
なお、本実施形態では、説明の便宜上、基台１の対象物Ｗの載置面に沿った方向の一つをＸ方向、載置面に沿った方向でＸ方向と直交する方向をＹ方向、Ｘ、Ｙ方向と直交する方向（載置面の法線方向）をＺ方向とする。また、Ｚ方向は上下方向とも言うことにする。

形状測定機１１は、検出部１２と、検出部１２の先端に設けられたスタイラス１３とを有する。検出部１２とスタイラス１３とによって検出器１０が構成される。形状測定機１１の正面には表示部１１Ｄや操作ボタン１１Ｂが設けられる。形状測定機１１は、対象物Ｗの表面にスタイラス１３が接触した際のＺ方向の座標を測定する。そして、このＺ方向の座標の測定を、検出器１０をＸ方向に移動させながら連続して行うことで、対象物Ｗの表面の形状又は粗さを得る。

形状測定装置１００には、形状測定機１１を対象物Ｗの高さに合わせて素早くＺ方向に移動させるため、送り機構部３００が設けられる。送り機構部３００は、形状測定機１１を支柱２の軸方向（Ｚ方向：上下方向）に移動させる機構であり、ドライブシャフト３１０と、トラクションナット部４００と、ブラケット４１１とを備える。

ドライブシャフト３１０は支柱２と平行になるように基台１に立設されている。ドライブシャフト３１０は、その上端に設けられたつまみ部３１１によって回転操作できるようになっていてもよい。

図３は、Ｚ方向にみた送り機構部の断面図である。
トラクションナット部４００は、ドライブシャフト３１０に対して緊緩可能に設けられている。すなわち、トラクションナット部４００は、通常はドライブシャフト３１０に対して摩擦係合しているが、ユーザによるレバー操作によって弛緩してドライブシャフト３１０から離脱する。

トラクションナット部４００は、固定片４１０と、可動片４２０と、ヒンジ片４３０と、バネ４４０と、複数のツイストローラ４５１，４５２および４５３と、開閉レバー４６０と、ハンドル４７０と、を備える。

固定片４１０と可動片４２０とによりドライブシャフト３１０を緊緩可能に挟持する。Ｚ方向に立設されるドライブシャフト３１０に対し、固定片４１０および可動片４２０はＸ方向に長手を有する部材である。そして、固定片４１０と可動片４２０とによりドライブシャフト３１０を挟む。固定片４１０と可動片４２０とは端面がヒンジ片４３０によって連結されている。ヒンジ片４３０は薄板であってある程度の弾性を有している。これにより固定片４１０と可動片４２０とは蝶番のごとくわずかに開閉可能となっている。

固定片４１０にはブラケット４１１が取り付けられ、さらに、ブラケット４１１が形状測定機１１に連結される（図２参照）。すなわち、ブラケット４１１は、トラクションナット部４００と形状測定機１１とを連結する役目を果たす。

固定片４１０においてヒンジ片４３０と反対側の端部には溝４１２が設けられている。この溝４１２は、固定片４１０において可動片４２０と対向する面側にあり、Ｘ方向に所定の長さを有する。この溝４１２は、開閉レバー４６０を取り付けるための溝である。

トラクションナット部４００において、ドライブシャフト３１０を間にしてヒンジ片４３０とは反対側の端部にはバネ４４０が設けられている。ここではコイルバネであるが、付勢力を生む弾性体であればよい。バネ４４０は、固定片４１０とは反対側から可動片４２０に押し付けられている。バネ４４０および可動片４２０を挿通するようにネジ４４１が設けられ、ネジ４４１の先端が固定片４１０に螺合している。したがって、可動片４２０はバネ４４０の付勢力によって固定片４１０側に押しつけられている。

ここでは、可動片４２０を固定片４１０に向けて押し付ける構成を採用しているが、可動片４２０を固定片４１０に向けて引っ張るようにしてもよい。

本実施形態に係るトラクションナット部４００では、３つのツイストローラ４５１，４５２および４５３が設けられる。３つのツイストローラ４５１，４５２および４５３のうちの２つのツイストローラ４５１および４５２は固定片４１０にネジピン４１３によって支持され、残りの１つのツイストローラ４５３は可動片４２０にネジピン４２１によって支持される。

３つのツイストローラ４５１，４５２および４５３は、図４に示すように、ドライブシャフト３１０の軸線に対してリード角相当の傾斜角を有する状態で回転可能に軸支されている。回転軸が傾いたツイストローラ４５１，４５２および４５３とドライブシャフト３１０とが接触した状態でドライブシャフト３１０が回転すると、トラクションナット部４００がドライブシャフト３１０の軸方向に進退する。

開閉レバー４６０は、Ｘ方向に長手の部材であって、その先端部が固定片４１０の溝４１２に遊挿され、心棒４６１によって揺動可能に軸支されている。なお、心棒４６１はＺ方向であり、したがって、開閉レバー４６０はＸＹ面内にあってＹ軸方向に揺動可能となっている。開閉レバー４６０の先端には、押しピン４６２が突起している。押しピン４６２は、固定片４１０から可動片４２０の方向に突起している。可動片４２０はバネ４４０によって固定片４１０側に押されているので、通常、この押しピン４６２は可動片４２０によって固定片４１０側に押されている。

図５は、開閉レバーを揺動させた状態を例示する断面図である。
開閉レバー４６０を揺動させた際には、押しピン４６２は開閉レバー４６０とは反対側に移動する。すなわち、開閉レバー４６０の揺動によって可動片４２０を固定片４１０から離間する側に押すことができる。可動片４２０が固定片４１０から離間すれば、それに伴ってツイストローラ４５１，４５２および４５３がドライブシャフト３１０から離間する。この状態であれば、トラクションナット部４００とドライブシャフト３１０とは離れているわけであるから、トラクションナット部４００はフリーで移動可能となる。

ハンドル４７０は、Ｘ方向に長手を有する。そして、ハンドル４７０は固定片４１０に固定されている。ハンドル４７０は、その軸線に沿った溝条４７１を有する。この溝条４７１は、開閉レバー４６０を受け入れられる程度の幅を有する。

ハンドル４７０と開閉レバー４６０との位置関係としては、両者はほぼ平行であり、ユーザがハンドル４７０を握ろうとすれば自然と開閉レバー４６０も握り込んでしまうように配設されている。ハンドル４７０とともに開閉レバー４６０が握り込まれた際には、開閉レバー４６０はハンドル４７０の溝４１２に受け入れられるようになっている。これにより、開閉レバー４６０の揺動が許容されるとともに、開閉レバー４６０とハンドル４７０とを同時に握り込み易くなっている。

つまり、ユーザがハンドル４７０を握ると開閉レバー４６０も合わせて握られる。このとき、開閉レバー４６０の押しピン４６２が可動片４２０を押す。すると、トラクションナット部４００はドライブシャフト３１０から離れてフリーになる。ユーザにとってみれば、特段意識しなくてもハンドル４７０を握れば自動的にトラクションナット部４００はフリーになっている。したがって、ハンドル４７０を持って形状測定機１１をＺ方向に移動させればよい。

一方、ユーザがハンドル４７０を離すと、開閉レバー４６０もユーザの手から離れる。このとき、可動片４２０はバネ４４０の付勢力によって固定片４１０側に接近する。すると、ツイストローラ４５１，４５２および４５３がドライブシャフト３１０に接触し、トラクションナット部４００とドライブシャフト３１０との間に摩擦が働くようになる。したがって、ユーザがハンドル４７０から手を離せば、トラクションナット部４００の位置、すなわち、形状測定機１１の位置は固定される。

送り機構部３００には、さらに、カウンターバランスが設けられているとよい。ユーザがハンドル４７０を握って上方に引き上げようとする際に力が入り過ぎて勢いよく大移動してしまう恐れがある。また、下方に引き下げようとした際にしっかり支えないと形状測定機１１が落下してしまう恐れがある。そこで、カウンターバランスを設けるとよい。

送り機構部３００は、このようなハンドル４７０による手動移動機構に加え、電動移動機構を備える。すなわち、図２および図４に示すように、電動移動機構としてドライブシャフト３１０を回転させるモータ４８０を備える。モータ４８０は、ブラケット４１１に設けられており、形状測定機１１の上下動に伴い一緒に移動する。モータ４８０の回転軸はドライブシャフト３１０の軸線（Ｚ方向）に対して傾斜している。モータ４８０の回転軸の傾斜角は、ツイストローラ４５１，４５２および４５３の軸線に対する傾斜角と等しいことが好ましい。

モータ４８０には回転部材としてローラ４８２が設けられる。ローラ４８２はドライブシャフト３１０と接触しており、モータ４８０の回転をドライブシャフト３１０に伝える。モータ４８０の回転によってドライブシャフト３１０が回転することで、ツイストローラ４５１，４５２および４５３も回転し、ツイストローラ４５１，４５２および４５３とドライブシャフト３１０のリード角に従いトラクションナット部４００がドライブシャフト３１０の軸方向に進退することになる。

モータ４８０の軸に接続されたローラ４８２はドライブシャフト３１０を回転させることを目的としているため、ドライブシャフト３１０を回転できる程度の密着力でドライブシャフト３１０と接している。一方、トラクションナット部４００のツイストローラ４５１，４５２および４５３は形状測定機１１を所定の上下位置で保持できる程度の密着力でドライブシャフト３１０と接しているが、ドライブシャフト３１０の回転に対しては従動回転できる程度の密着力になっている。これにより、トラクションナット部４００で形状測定機１１を所定の上下位置で保持している状態であっても、モータ４８０によるローラ４８２の回転でドライブシャフト３１０が回転すれば、ツイストローラ４５１，４５２および４５３のリード角に従い、形状測定機１１を上下動させることができる。

本実施形態では、ドライブシャフト３１０を回転させるためのモータ４８０が形状測定機１１とともに上下動するブラケット４１１に設けられているため、モータ４８０と制御部との間のケーブル類を短くできるとともに、形状測定機が上下動してもケーブルに負荷が掛からない。したがって、形状測定機１１の上下動作を考慮したケーブルの取り回しを配慮しなくて済む。

〔形状測定装置のブロック構成〕
図６は、本実施形態に係る形状測定装置を例示するブロック図である。
図６に示すように、形状測定装置１００は、形状測定機１１と送り機構部３００とを備える。この形状測定機１１にコンピュータ６００と電源６１０とが接続されて測定システムが構成される。

形状測定機１１は、検出器１０から出力された信号に基づきＺ方向の座標を検出する検出回路１１０と、検出器をＸ方向に移動させるモータ１２５を制御するＸ軸モータ制御回路１２０と、形状測定機１１を上下動させるモータ４８０を制御するコラムモータ制御回路１３０と、形状測定機１１の上下位置を監視する監視部１４０と、形状測定機１１の上下位置の限界を検出する上下リミット検出部１５０と、全体を制御するロジック（制御回路）１６０とを備える。

送り機構部３００は、ドライブシャフト３１０と、トラクションナット部４００と、ブラケット４１１とを備える。ユーザは、このハンドル４７０の開閉レバー４６０の操作によってトラクションナット部４００とドライブシャフト３１０との間の摩擦接触と離間とを切り替え、形状測定機１１を手動で粗動上下させることができる。

また、ユーザは、形状測定機１１の操作ボタン１１Ｂを操作することで、形状測定機１１を電動で上下させることができる。上または下の操作ボタン１１Ｂが選択されると、コラムモータ制御回路１３０から正転または逆転の指示がモータ４８０に送られる。モータ４８０の回転によってローラ４８２が回転し、ドライブシャフト３１０を回転させる。ドライブシャフト３１０の回転方向に応じて形状測定機１１が上下動することになる。

また、ユーザは、ドライブシャフト３１０の上端に設けられたつまみ部３１１を回転させて手動でドライブシャフト３１０を回転させて、形状測定機１１を微動上下させることができる。

ドライブシャフト３１０の上下には、上限・下限の位置を設定するストッパ３１５が設けられている。手動または電動で形状測定機１１を上下動させる際、上下リミット検出部１５０がストッパ３１５に当接した場合、または上下リミット検出部１５０とストッパ３１５との距離が一定値以下になった場合、監視部１４０は上下の限界位置まで達したと判断して、例えば警告を出力する。また、電動で上下同させている場合には、監視部１４０からコラムモータ制御回路１３０に停止の指示を与え、モータ４８０の回転を止めて形状測定機１１の上下動を強制的に停止させてもよい。

〔形状測定装置の動作〕
次に、形状測定装置１００による測定動作について説明する。
先ず、対象物Ｗを基台１の上に載置した後、その対象物Ｗの測定開始点にスタイラス１３を位置させる。このとき、形状測定機１１の位置が対象物Ｗよりもほんの僅かだけ高くなるように調整する。この際、ユーザはハンドル４７０を握ってトラクションナット部４００をＺ方向に移動させればよい。前述のように、ハンドル４７０を握れば、自ずと、トラクションナット部４００はフリーで移動できるようになっている。

形状測定機１１の位置がほぼ所望の高さになったところでユーザはハンドル４７０を止めて、そして、ただハンドル４７０から手を離す。すると、形状測定機１１はその位置で留まる。

次に、ユーザは操作ボタン１１Ｂを操作してモータ４８０によってドライブシャフト３１０を回転させ、形状測定機１１を電動で上下動させる。さらなる微調整が必要な場合には、ドライブシャフト３１０の上端にあるつまみ部３１１を回してドライブシャフト３１０を回転させてもよい。これにより、ツイストローラ４５１，４５２および４５３の傾斜によってトラクションナット部４００が上下動し、形状測定機１１の上下位置を微調整することができる。

なお、ハンドル４７０やつまみ部３１１によって形状測定機１１を上下動させる際、手動による操作感を損なわないように、モータ４８０が停止しているとき、モータ４８０の出力回転をフリーの状態にしておくことが好ましい。また、上下リミット検出部１５０が動作した際には、警告を発したり、モータ４８０を強制的に停止させたりする。

このように本実施形態によれば、粗動と微動とを切り替え可能でありかつ操作性に優れた送り機構部３００が提供される。また、モータ４８０と制御部との間のケーブル類の引き回しを簡素化でき、形状測定機１１のスムーズな移動を実現することができる。

〔回転部材の他の例〕
図７および図８は、回転部材の他の例を説明する模式図である。
図７に示す回転部材の例は、ツイストローラ４５１，４５２および４５３のうちの１つを回転部材として利用するものである。例えば、ツイストローラ４５１を回転部材として、モータ４８０の軸にツイストローラ４５１を取り付ける。ツイストローラ４５１はトラクションナット部４００としてハンドル４７０および開閉レバー４６０の操作によるドライブシャフト３１０との摩擦接触状態および離間状態の切り替えに用いられるとともに、ドライブシャフト３１０を電動で回転させるための回転部材としても用いられる。これにより、モータ４８０の回転をドライブシャフト３１０に伝える別部材を追加しなくて済む。

図８に示す回転部材の例は、球体４８３である。回転部材としてローラ４８２の代わりに球体４８３を用いることで、ローラ４８２に比べて回転部材を小型化できるとともに、ドライブシャフト３１０の表面と回転部材とが点接触となり、摩耗が抑制される。

以上説明したように、実施形態によれば、形状測定機１１の位置決めのための電動の送り機構部３００を備えた形状測定装置１００において、ケーブル類の引き回しを簡素化でき、形状測定機１１のスムーズな移動を実現することが可能となる。

〔実施形態の変形〕
なお、上記に本実施形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、上記では、形状測定機１１の操作ボタン１１Ｂによって上下動を指示するようにしたが、リモートコントローラやコンピュータ６００によって遠隔操作するようにしてもよい。また、トラクションナット部４００に３つのツイストローラ４５１，４５２および４５３を有する例を説明したが、３つには限定されない。また、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。

以上のように、本発明は、対象物の表面形状の測定のほか、表面粗さを測定する装置に好適に利用できる。

１…基台
２…支柱
１０…検出器
１１…形状測定機
１１Ｂ…操作ボタン
１１Ｄ…表示部
１２…検出部
１３…スタイラス
１００…形状測定装置
１１０…検出回路
１２０…Ｘ軸モータ制御回路
１２５…モータ
１３０…コラムモータ制御回路
１４０…監視部
１５０…上下リミット検出部
１６０…ロジック
３００…送り機構部
３１０…ドライブシャフト
３１１…つまみ部
３１５…ストッパ
４００…トラクションナット部
４１０…固定片
４１１…ブラケット
４１２…溝
４１３…ネジピン
４２０…可動片
４２１…ネジピン
４３０…ヒンジ片
４４０…バネ
４４１…ネジ
４５１，４５２，４５３…ツイストローラ
４６０…開閉レバー
４６１…心棒
４６２…押しピン
４７０…ハンドル
４７１…溝条
４８０…モータ
４８２…ローラ
４８３…球体
６００…コンピュータ
６１０…電源
Ｗ…対象物

Claims

対象物の表面の位置を検出する検出器を有する形状測定機と、
前記形状測定機を軸方向に移動させる送り機構部と、を備えた形状測定装置であって、
前記送り機構部は、
軸まわりに回転可能に設けられたドライブシャフトと、
前記ドライブシャフトをその軸線に直交する方向から挟持するように設けられ、かつ、前記ドライブシャフトに摩擦接触する摩擦接触状態と前記ドライブシャフトから離間する離間状態とを切り替え可能であるトラクションナット部と、
前記トラクションナット部と前記形状測定機とを連結するブラケットと、を有し、
前記トラクションナット部には、前記ドライブシャフトの軸線に対してリード角相当の傾斜角を有する状態で回転可能に軸支されたツイストローラが設けられており、
前記トラクションナット部が前記ドライブシャフトに摩擦接触した状態において前記ドライブシャフトを回転させると前記リード角に従って前記トラクションナット部が前記ドライブシャフトに沿って微動し、
前記トラクションナット部が前記ドライブシャフトから離間した状態においては、前記トラクションナット部は前記ドライブシャフトに沿ってフリーに粗動できるよう構成され、
前記トラクションナット部は、さらに、
前記トラクションナット部の前記摩擦接触状態と前記離間状態とを切り替え操作するための開閉レバーと、
当該トラクションナット部が前記ドライブシャフトに摩擦接触するように付勢力を発生させる付勢手段と、を備え、
前記開閉レバーは、ユーザ操作により、前記付勢手段の付勢力に抗して前記トラクションナット部を前記離間状態とし、
ユーザが前記開閉レバーを離すと前記付勢手段の付勢力によって前記トラクションナット部は前記摩擦接触状態に復帰し、
前記ブラケットには、前記軸線に対して傾斜した回転軸を有し前記ドライブシャフトを回転させるモータが設けられた、ことを特徴とする形状測定装置。
前記モータの前記回転軸を中心として回転し、前記ドライブシャフトと接触して前記ドライブシャフトを回転させる回転部材をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の形状測定装置。
前記回転部材は、ローラまたは球体であることを特徴とする請求項２記載の形状測定装置。
前記モータは、前記ツイストローラを回転させることを特徴とする請求項１記載の形状測定装置。