JP5270246B2 - 表面性状測定機および測定方法 - Google Patents
表面性状測定機および測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5270246B2 JP5270246B2 JP2008193884A JP2008193884A JP5270246B2 JP 5270246 B2 JP5270246 B2 JP 5270246B2 JP 2008193884 A JP2008193884 A JP 2008193884A JP 2008193884 A JP2008193884 A JP 2008193884A JP 5270246 B2 JP5270246 B2 JP 5270246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- fulcrum
- measuring
- detector
- measurement object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0004—Supports
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Coating With Molten Metal (AREA)
Description
この特許文献1に記載の表面性状測定機は、検出器に対して測定対象物を相対移動させる駆動機構を有するもので、本測定を行う前に仮測定を行い、テーブル上に載置された測定対象物の姿勢を、基準姿勢(本測定を行う際の姿勢)に全自動で修正し、測定対象物の位置決めを行うものであり、短時間で測定を行うことができる。ここで、測定対象物の位置決めには、例えば、検出器のZ軸方向(検出器の測定方向に直交する方向)の昇降位置を調整(オートセット)したり、測定対象物の被測定面に対して検出器の測定方向が平行となるように測定対象物の傾斜角度を調整(オートレベリング)したりすることが含まれる。
また、比較的小さな測定対象物の粗さ測定を行う場合、持ち運びが容易な可搬型の小型表面性状測定機が用いられている。小型表面性状測定機は、検出器を測定対象物の表面に沿って移動させて測定する駆動ユニットと、駆動ユニットの制御や検出器からの検出信号の処理を行う電装ユニットとから構成されている。このような小型表面性状測定機では、被測定物のレベル出しを手動で行っている場合が多く、手動によるレベル出しでは調整に要する時間が長くなり、同一箇所の測定における再現性が悪化する。また、ドーナツ状の測定対象物の両端を測定する場合、手動によるレベル出しでは2箇所目の測定位置に移動する際、検出器先端のスタイラスが穴に落ち込んで破損するおそれがあり、このような複数個所の測定が困難となる場合があった。そのため、小型表面性状測定機においても自動で位置決めできる装置の要求が高くなっている。
なお、本発明の表面性状測定機では、前記支点案内手段は、前記支点を支持するアームと、前記アームを前記載置面に対して直交する方向に案内するガイドと、を有することが好ましい。
または、本発明の表面性状測定機では、前記支点案内手段は、前記テーブルを前記支点で支持するパンタグラフ機構を有することが好ましい。
または、本発明の表面性状測定機では、前記昇降傾斜調整装置は、一対の前記移動手段を有し、前記一対の移動手段の一方は、前記支点案内手段として前記支点で前記テーブルを支持し、前記一対の移動手段の他方は、前記支点とは異なる前記作用点で前記テーブルを支持することが好ましい。
なお、後述する第2実施形態以降において、以下に説明する第1実施形態での構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には同一符号を付し、説明を簡単にあるいは省略する。
図1は、本実施形態の表面性状測定機1を示す全体構成図である。図2は、表面性状測定機1の制御装置の構成を説明するためのブロック図である。
図1にて、表面性状測定機1は、測定対象物Wの粗さ測定や輪郭測定等の形状測定を行うためのものであり、基台2と、測定対象物Wを載置する載物台3と、測定装置4と、測定装置4が載置される昇降傾斜調整装置(オートセット−オートレべリングテーブル)5と、測定対象物Wに対する測定装置4の位置決めを自動で実施する制御装置6と、を備え、測定装置4が昇降傾斜調整装置5により可動する構成となっている。
また、基台2には、載物台3および昇降傾斜調整装置5の他に、測定装置4と連動する外部装置としてのワーク供給装置7と、パーツボックス8とが載置されている。PLCや制御BOXにより構成され、ワーク供給装置7を制御する外部制御装置9は、制御装置6と接続されている。
制御装置6は、電装部6Aおよび外部制御用I/OとしてのI/Oオプションボード6Bを備え、外部制御装置9からの信号は、I/Oオプションボード6Bを介して電装部6Aに送られる。
検出器42は、X軸方向に延設された測定アーム43と、測定アーム43の先端に取り付けられたスタイラス(接触子)44とを有し、スタイラス44が測定対象物Wと接触した際のZ軸方向のスタイラス44の変位量を検出可能に構成されている。このZ軸方向は、測定方向であるX軸方向に直交する方向である。
このように測定装置4は、測定対象物Wにスタイラス44を接触させた状態を保ちながら測定アーム43をX軸方向に移動させることにより、スタイラス44を測定対象物Wの表面輪郭形状の凹凸に従ってZ軸方向に変位させ、この時のスタイラス44の揺動量を検出し、その揺動量から測定対象物Wの輪郭形状や表面粗さ等を測定できるようになっている。
X軸駆動制御手段61は、測定装置4を用いて測定対象物Wの予備測定および本測定を実施する際にX軸移動機構41を駆動制御する。測定制御手段62は、X軸駆動制御手段61に制御信号を送る。昇降傾斜駆動制御手段63は、昇降傾斜調整装置5を用いて位置決めを実施する際に昇降傾斜調整装置5の一対の駆動源54を駆動制御する。位置決め制御手段64は、昇降傾斜駆動制御手段63に制御信号を送るとともに位置決めの完了信号を測定制御手段62に送る。演算手段65は、測定制御手段62からの測定実施信号を受けて検出器42からの予備測定結果を取得し、測定対象物Wの姿勢の基準姿勢(本測定を行う際の姿勢)に対する誤差を算出して、算出結果に応じた信号を位置決め制御手段64に送るとともに、検出器42からの本測定結果を取得して解析処理する。
まず、測定対象物Wを載物台3に載置し(ワークセット工程:S1)、測定を開始する(S2)。
次に、測定装置4の検出器42が測定対象物Wを検出できる位置まで、検出器42を垂直移動(オートセット)させて測定対象物Wに接近させる(第1のオートセット工程:S3)。ここでは、位置決め制御手段64(図2)が昇降傾斜調整装置5を操作して、測定装置4を降下させる。そして、測定装置4により、測定対象物Wを予備測定する(予備測定工程:S4)。ここでは、測定制御手段62(図2)により検出器42をX軸方向に沿って移動させて、測定対象物Wの被測定部分の表面を走査させて、測定結果を演算手段65(図2)に出力させる。予備測定工程S4の後、測定装置4を指定量だけ自動退避させる(自動退避工程:S5)。ここでは、後工程の自動傾斜工程S6にて測定装置4を傾斜させた際に、検出器42が測定対象物Wと干渉しないように、位置決め制御手段64が昇降傾斜調整装置5を操作して、測定装置4を指定量だけ上昇させる。
このようにして、測定開始S2の後、第1のオートセット工程S3から本測定工程S8までの一連の操作を全自動で実施することができる。
このように、図1にて制御装置6と外部制御装置9とをI/Oオプションボード6Bを介して接続することで、表面性状測定機1を製造ラインや検査ラインへ容易に組み入れることができる。
図4は、昇降傾斜調整装置5の駆動機構を模式的に示す側面図である。
昇降傾斜調整装置5は、ベース51と、ベース51との間隔が可変となるように設けられたテーブル52と、ベース51に設けられてテーブル52を昇降移動可能に支持する一対の移動手段53と、一対の移動手段53を駆動する駆動源(モータ)54と、一対の移動手段53の間に設けられた支点案内手段55とを備える。
具体的には、移動手段53は、斜面531を有するスライダ532と、このスライダ532と螺合する送りねじ(スライダ移動部材)533とを有する。送りねじ533は、載置面521の平行移動方向に直角な方向に沿って設けられ、ベース51に回転自在に軸支されている。送りねじ533は、駆動源54に接続され、駆動源54の回転駆動力によって回転するとともに、載置面521の平行移動方向に直角な方向へスライダ532を移動させる。
このように、一対の移動手段53は、テーブル52の中心軸を挟んで2箇所に設けられた作用点522をモータ駆動で垂直方向に移動させる機能を備えている。
なお、本実施形態では、作用点部材として、テーブル52に回転自在に支持された転動体であるローラ524を用いているが、作用点部材としては、斜面を転動あるいは摺動可能な部材であればローラ以外の部材でもよい。
支点案内手段55によって、支点523(傾斜回転中心)がL軸方向に沿って直線的に案内され、水平方向には移動しないで、支点523を基準にテーブル52の傾斜角度を調整する際の精度が向上される。なお、テーブル52の昇降位置は、2箇所のローラ524の支持位置により決定される必要があるため、支点523の昇降方向の移動を拘束することができない。そこで本実施形態の支点案内手段55を用いれば、支点523の昇降方向の移動を拘束することなく、支点523を直線的に案内できる。
また、図6に示すように、一対の移動手段53が、各作用点522のうちの一方を移動させた場合、支点523を中心として、載置面521が揺動し、載置面521に載置された測定装置の傾斜角度が調整される。すなわち、L軸に直交し、水平面に平行なR軸まわりにテーブル52を傾斜移動(オートレベリング)させることができる。ここで、オートレベリングとは、検出器42の測定方向と測定対象物Wの被測定面とが平行となるように検出器42または測定対象物Wの傾斜角度を調整する機能を示す。
本実施形態によれば、次のような効果を奏することができる。
(1)テーブル52の昇降位置と傾斜角度とを調整可能な昇降傾斜調整装置5を備えているので、予備測定および本測定を実施する際に、測定装置4を昇降させる動作や、測定装置4を傾斜させる動作が一つの装置により実行され、測定対象物Wの位置決めをコンパクトな構成で実施できる。また、位置決め制御手段64が、昇降傾斜調整装置5を制御するだけで、演算手段65にて算出された傾斜角度に基づいて測定対象物Wの位置決めを実行できるので、位置決めの自動化が容易となり、位置決めの操作性を向上させることができる。
(2)表面性状測定機1が、ワーク供給装置7を備えており、測定開始/停止信号やステータス信号などの制御信号の入出力を外部制御装置9と制御装置6との間で行うことができるので、自動検査システムを容易に構成することができる。例えば、外部制御装置9が表面性状の測定の実施を遠隔にて管理するシステムや、外部制御装置9が測定結果に基づく合否判断を行って、測定対象物Wである製品の良品/不良品の選別、仕分け工程を自動的に行うシステムなどを容易に構築することができる。すなわち、表面性状を測定する工程を製造ラインや検査ラインなどへ容易に組み入れることが可能となる。
(4)駆動源54によって一対の移動手段53を駆動させるので、従来、手動で行っていた調整の操作性を向上させることができる。
(6)スライダ532を水平方向に移動させればよいので、スライダ532を垂直方向に移動させる場合よりも、装置全体の高さ寸法を小さく抑えることができる。
次に、本発明の第2実施形態に係る昇降傾斜調整装置5Aについて図7に基づいて説明する。
図7は、昇降傾斜調整装置5Aの駆動機構を示す側面図である。昇降傾斜調整装置5Aは、前述の第1実施形態の昇降傾斜調整装置5に対して移動手段53Aおよび支点案内手段55Aの各構成が相違するもので、その他の構成は略同様である。
具体的には、駆動源54および送りねじ533Aは、それぞれの回転軸が垂直となるようにベース51に支持されている。駆動源54の回転駆動力は、歯車によって送りねじ533Aに伝達される。送りねじ533Aに螺合されたスライダ532Aは、送りねじ533Aの回転によって、L軸方向に移動される。
また、載置面521が支点523Aを中心に揺動する場合には、作用点522が対向面534に沿って移動しながら、作用点522がL軸方向に移動される。
支点523Aは、テーブル52下面に設けられた内部に略球状の収納部525を有して形成され、略球状の収納部525の下部は開口している。この略球状の収納部525の中心位置が、実質的な支点となっている。
連結部材553は、支点523Aの略球状の収納部525に収納される球部を有し、支点523Aに対して2方向の軸まわりに回転可能にジョイントされている。
(8)支点案内手段55Aによって、支点523AがL軸方向に沿って直線的に案内され、水平方向には移動しないで、支点523Aを基準にテーブル52の傾斜角度を調整する際の精度を向上させることができる。さらに、パンタグラフ機構554が用いられているので、支点案内手段55Aの軽量化が図れる。
(9)対向面534がL軸に直交して略水平に設けられているので、載置面521に載置される測定装置(不図示)の荷重がローラ524を介して対向面534に直交する方向に作用し、移動手段53Aによるテーブル52の支持を安定させることができる。
次に、本発明の第3実施形態に係る昇降傾斜調整装置5Bについて図10に基づいて説明する。
図10は、昇降傾斜調整装置5Bの駆動機構を示す側面図である。昇降傾斜調整装置5Bは、前述の各実施形態の昇降傾斜調整装置に対して、支点523Bが、2箇所の作用点の一方と一致して形成されている点が大きく相違するもので、その他の構成は略同様である。
また、一対の移動手段56,57のうちの他方は、支点523Bを支持するとともに、支点523Bとベース51との間隔が増減する間隔増減方向へ、支点523Bを移動させる支点移動手段57である。
また、支点移動手段57は、テーブル52の支点523Bをベアリングによって軸支する支点スライダ572と、駆動源54に接続されるとともにL軸方向へ支点スライダ572を移動させる送りねじ(支点スライダ移動部材)573と、支点スライダ572を直線的に案内する直動ガイド575とを有する。
テーブル52には、対向面564に当接するローラ(作用点部材)524が設けられ、これら対向面564およびローラ524の当接部によって作用点522が構成される。ローラ524は、対向面564を転動し、対向面564上を移動可能に支持されている。
また、載置面521が支点523Bを中心に揺動する場合には、作用点522の対向面564に沿った移動を伴って、作用点522が間隔増減方向に移動される。
なお、例えば、各直動ガイド565,575に各スライダ562,572の絶対位置を検出可能なリニアエンコーダを設ければ、前述の原点位置を検出する作業を省略できる。
(11)支点523Bが、2箇所の作用点の一方と一致して形成されているので、支点案内手段を省略することができ、部品点数の削減化を図ることができる。
3…載物台
4…測定装置
5,5A,5B…昇降傾斜調整装置
6…制御装置
7…ワーク供給装置(外部装置)
9…外部制御装置
41…X軸移動機構(移動機構)
42…検出器
52…テーブル
62…測定制御手段
64…位置決め制御手段
65…演算手段。
Claims (6)
- 測定対象物の表面性状を検出する検出器、および、前記検出器を測定方向に移動自在に案内する移動機構を有する測定装置と、
前記測定対象物および前記測定装置のいずれか一方を載置するテーブルを有し、前記テーブルの昇降位置と傾斜角度とを調整可能な昇降傾斜調整装置と、
前記測定対象物および前記測定装置のいずれか他方を載置する載物台と、
前記測定装置および前記昇降傾斜調整装置を制御する制御装置と、を備える表面性状測定機であって、
前記昇降傾斜調整装置は、
ベースと、載置面に平行な方向に沿った複数の作用点を有するとともに、前記テーブルの傾斜角度を調整する際の回転中心である支点を有するテーブルと、
前記テーブルの前記複数の作用点をそれぞれ支持するとともに各作用点と前記ベースとの間隔が増減する方向へ各作用点をそれぞれ移動させる複数の移動手段と、
前記支点を支持するとともに前記テーブルを載置面に対して直交する方向へ案内する支点案内手段と、を含んで構成され、
前記制御装置は、
前記移動機構を制御して前記測定対象物の予備測定および本測定を実施する測定制御手段と、
前記検出器からの予備測定結果を取得し、前記測定方向に対する前記測定対象物の傾斜角度を算出する演算手段と、
前記昇降傾斜調整装置を制御して、前記テーブルの昇降位置を調整するとともに、前記演算手段にて算出された傾斜角度に基づいて前記テーブルの傾斜角度を調整する位置決め制御手段と、を含んで構成される
ことを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1に記載の表面性状測定機において、
前記支点案内手段は、前記支点を支持するアームと、前記アームを前記載置面に対して直交する方向に案内するガイドと、を有する
ことを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1に記載の表面性状測定機において、
前記支点案内手段は、前記テーブルを前記支点で支持するパンタグラフ機構を有する
ことを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1に記載の表面性状測定機において、
前記昇降傾斜調整装置は、一対の前記移動手段を有し、
前記一対の移動手段の一方は、前記支点案内手段として前記支点で前記テーブルを支持し、
前記一対の移動手段の他方は、前記支点とは異なる前記作用点で前記テーブルを支持する
ことを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の表面性状測定機において、
前記測定装置と連動する外部装置と、
前記外部装置を制御するとともに、前記制御装置との間で制御信号の入出力を行う外部制御装置と、を備えることを特徴とする表面性状測定機。 - 測定対象物の表面性状を検出する検出器、および、前記検出器を測定方向に移動自在に案内する移動機構を有する測定装置と、
前記測定対象物および前記測定装置のいずれか一方を載置するテーブルを有し、前記テーブルの昇降位置と傾斜角度とを調整可能な昇降傾斜調整装置と、
前記測定対象物および前記測定装置のいずれか他方を載置する載物台と、
前記測定装置および前記昇降傾斜調整装置を制御する制御装置と、を備える表面性状測定機を用いて、前記測定対象物の表面性状を測定する測定方法であって、
前記昇降傾斜調整装置は、
ベースと、載置面に平行な方向に沿った複数の作用点を有するとともに、前記テーブルの傾斜角度を調整する際の回転中心である支点を有するテーブルと、
前記テーブルの前記複数の作用点をそれぞれ支持するとともに各作用点と前記ベースとの間隔が増減する方向へ各作用点をそれぞれ移動させる複数の移動手段と、
前記支点を支持するとともに前記テーブルを載置面に対して直交する方向へ案内する支点案内手段と、を含んで構成され、
前記検出器が前記測定対象物を検出できる位置まで、前記テーブルを昇降させる第1のオートセット工程と、
前記測定対象物を走査するために前記検出器を前記測定方向に移動させる予備測定工程と、
前記テーブルを昇降させて前記検出器を前記測定対象物から自動退避させる自動退避工程と、
前記予備測定の結果から算出される前記測定方向に対する前記測定対象物の傾斜角度に基づいて、前記テーブルの傾斜角度を調整させる自動傾斜工程と、
前記検出器が前記測定対象物を検出できる位置まで、前記テーブルを昇降させる第2のオートセット工程と、
前記測定対象物を走査するために前記検出器を前記測定方向に移動させる本測定工程と、を含んで構成されることを特徴とする測定方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008193884A JP5270246B2 (ja) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | 表面性状測定機および測定方法 |
EP09166419A EP2149774B1 (en) | 2008-07-28 | 2009-07-27 | Surface texture measuring instrument and measuring method |
DE602009000618T DE602009000618D1 (de) | 2008-07-28 | 2009-07-27 | Instrument und Verfahren zur Oberflächenstrukturmessung |
AT09166419T ATE496275T1 (de) | 2008-07-28 | 2009-07-27 | Instrument und verfahren zur oberflächenstrukturmessung |
US12/510,401 US8276435B2 (en) | 2008-07-28 | 2009-07-28 | Surface texture measuring instrument and measuring method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008193884A JP5270246B2 (ja) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | 表面性状測定機および測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010032322A JP2010032322A (ja) | 2010-02-12 |
JP5270246B2 true JP5270246B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=41170948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008193884A Active JP5270246B2 (ja) | 2008-07-28 | 2008-07-28 | 表面性状測定機および測定方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8276435B2 (ja) |
EP (1) | EP2149774B1 (ja) |
JP (1) | JP5270246B2 (ja) |
AT (1) | ATE496275T1 (ja) |
DE (1) | DE602009000618D1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106017250A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-10-12 | 山东钢铁股份有限公司 | 一种大型结构件的高精度测量仪器 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7874079B2 (en) * | 2007-02-06 | 2011-01-25 | National Optronics, Inc. | Holding mechanism for use with an ophthalmic tracer, and method |
EP2270468B1 (en) * | 2009-05-26 | 2018-06-20 | E. I. du Pont de Nemours and Company | Apparatus for determining cut resistance |
TWM477342U (zh) * | 2013-09-25 | 2014-05-01 | China Steel Corp | 加工機台之量測裝置 |
TWI558978B (zh) * | 2015-06-24 | 2016-11-21 | 智泰科技股份有限公司 | 真圓度量測裝置及真圓度量測方法 |
JP6777589B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-10-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置 |
JP7384675B2 (ja) * | 2020-01-15 | 2023-11-21 | 株式会社ディスコ | 傾き調整機構 |
US11555693B2 (en) | 2020-05-12 | 2023-01-17 | The Boeing Company | Measurement of surface profiles using unmanned aerial vehicles |
CN114413729B (zh) * | 2021-12-22 | 2024-07-19 | 浙江零跑科技股份有限公司 | 一种车辆金属装饰亮条检具 |
CN114608424B (zh) * | 2022-03-19 | 2023-03-24 | 南昌航空大学 | 一种地下建筑工程平整度检测仪 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0240150B1 (en) * | 1986-03-04 | 1991-04-17 | Rank Taylor Hobson Limited | Workpiece position control |
JPH0419461Y2 (ja) * | 1987-04-06 | 1992-05-01 | ||
JP2607952B2 (ja) * | 1989-03-23 | 1997-05-07 | 株式会社 ミツトヨ | 表面粗さ測定装置 |
JPH0830743B2 (ja) * | 1991-03-07 | 1996-03-27 | 株式会社ミツトヨ | レベリング装置 |
JP3064184B2 (ja) * | 1994-07-12 | 2000-07-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機 |
JPH0886631A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-04-02 | Toray Ind Inc | 物体の姿勢測定装置、姿勢測定方法、姿勢制御装置および物体表面の検査装置 |
JP3482362B2 (ja) * | 1999-01-12 | 2003-12-22 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機、表面性状測定機用の傾斜調整装置および表面性状測定機における測定対象物の姿勢調整方法 |
US6745616B1 (en) * | 1999-10-21 | 2004-06-08 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine, leveling device for surface texture measuring machine and orientation-adjusting method of workpiece of surface texture measuring machine |
TW550375B (en) * | 2001-09-07 | 2003-09-01 | Olympus Optical Co | Apparatus for measuring a surface profile |
EP1703252A1 (en) * | 2005-03-07 | 2006-09-20 | Mitutoyo Corporation | Method and program for leveling aspherical workpieces |
JP5441302B2 (ja) * | 2006-11-28 | 2014-03-12 | キヤノン株式会社 | 形状測定装置 |
-
2008
- 2008-07-28 JP JP2008193884A patent/JP5270246B2/ja active Active
-
2009
- 2009-07-27 AT AT09166419T patent/ATE496275T1/de not_active IP Right Cessation
- 2009-07-27 EP EP09166419A patent/EP2149774B1/en active Active
- 2009-07-27 DE DE602009000618T patent/DE602009000618D1/de active Active
- 2009-07-28 US US12/510,401 patent/US8276435B2/en active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106017250A (zh) * | 2016-06-23 | 2016-10-12 | 山东钢铁股份有限公司 | 一种大型结构件的高精度测量仪器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2149774B1 (en) | 2011-01-19 |
ATE496275T1 (de) | 2011-02-15 |
US20100018298A1 (en) | 2010-01-28 |
US8276435B2 (en) | 2012-10-02 |
EP2149774A1 (en) | 2010-02-03 |
DE602009000618D1 (de) | 2011-03-03 |
JP2010032322A (ja) | 2010-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5270246B2 (ja) | 表面性状測定機および測定方法 | |
US7486089B2 (en) | Method for controlling parallelism between probe card and mounting table, storage medium storing inspection program, and inspection apparatus | |
JP4927338B2 (ja) | ステージ装置及びガントリ型ステージ装置及びステージ装置の制御方法 | |
TWI503549B (zh) | Parallel adjustment mechanism of probe card and probe inspection device | |
CN102147375B (zh) | 一种双工作台挠性印制电路表面缺陷自动检测机 | |
JP4102884B2 (ja) | プローブカードの調整機構及びプローブ装置 | |
KR101373001B1 (ko) | 기판 상면 검출 방법 및 스크라이브 장치 | |
US8654351B2 (en) | Offset amount calibrating method and surface profile measuring machine | |
JP2006125924A (ja) | 真円度/円柱形状測定装置 | |
JP2016078177A (ja) | 工作機械 | |
JP5465848B2 (ja) | 昇降傾斜調整装置 | |
JP2003103434A (ja) | 主軸頭重心補正装置 | |
WO2014103027A1 (ja) | 作業機、および、位置ズレデータ取得方法 | |
JP6573702B1 (ja) | 工作機械及びワーク取付台の傾き調整方法 | |
KR102040979B1 (ko) | 3d 계측장비의 캘리브레이션 자동화 장치 | |
JP2010023222A (ja) | 支持装置 | |
JP2008096114A (ja) | 測定装置 | |
KR100998506B1 (ko) | 항공기 날개의 비선형 부품 검사 장치 | |
JP5341165B2 (ja) | ステージ装置及びガントリ型ステージ装置及びステージ装置の制御方法 | |
JP2014151423A (ja) | 工作機械のレベル調整方法及び装置 | |
JP2000107962A (ja) | 自動水平出し装置 | |
JP2011085402A (ja) | 表面性状測定機 | |
KR102115179B1 (ko) | 프로브장치 및 프로브 자세 보정 방법 | |
JPS62242812A (ja) | 自動計測装置 | |
JP2019090832A (ja) | 形状測定機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130507 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130509 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5270246 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |