JP7320716B2 - 形状測定装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る形状測定装置の外観斜視図である。以下の説明では、XY平面を水平面とし、Z方向を鉛直方向とする3次元直交座標系を用いて説明する。
図2は、本発明の一実施形態に係る形状測定装置を示すブロック図である。
図3は、変位検出器に輪郭形状測定用の測定子を取り付けた状態を示す斜視図であり、図4は、変位検出器に粗さ検出器を取り付けた状態を示す斜視図である。
まず、ワークの輪郭形状の測定を行う場合(輪郭測定モード)について説明する。図5は、変位検出器に輪郭形状測定用の測定子を取り付ける場合の係合部材を拡大して示す分解斜視図である。
次に、ワーク表面の粗さの測定を行う場合(粗さ測定モード)について説明する。図6は、変位検出器に粗さ検出器を取り付ける場合の係合部材を拡大して示す分解斜視図である。
次に、本実施形態に係る形状測定装置10の測定モードの切り替えについて説明する。
次に、粗さ検出器100の保管場所について説明する。本実施形態に係る形状測定装置10は、輪郭形状の測定を行う場合に、粗さ検出器100が変位検出器18の側面に取り付けられて保持される。
次に、本実施形態の変形例について説明する。
Claims (3)
- 被測定物の輪郭形状を測定するための測定子が着脱自在に取り付けられる取付部を備え、前記測定子のアームの先端側に設けられた触針が前記被測定物に接触したときの変位を検出する変位検出器と、
被測定物の表面の粗さを測定するための粗さ検出器であって、前記取付部に着脱自在に取り付けられる粗さ検出器と、
前記測定子及び前記粗さ検出器のどちらが前記取付部に取り付けられたかを検出するための着座センサと、
前記着座センサにより前記測定子が前記取付部に取り付けられたことを検出された場合に測定モードを輪郭測定モードに切り替え、前記着座センサにより前記粗さ検出器が前記取付部に取り付けられたことを検出された場合に測定モードを粗さ測定モードに切り替える制御装置と、
前記変位検出器に設けられた保持部であって、前記被測定物の輪郭形状を測定する場合に、前記粗さ検出器が前記制御装置との間の配線を接続したままで保管される保持部と、
を備える形状測定装置。 - 前記測定モードが前記粗さ測定モードに切り替えられた場合に、前記変位検出器において前記取付部を固定状態にする、請求項1記載の形状測定装置。
- 前記測定子の係合面と前記取付部の係合面とは、前記触針が前記被測定物の表面に接触したときの垂直抗力の向きに対して平行、かつ、前記測定子の係合面と前記取付部の係合面とは、前記垂直抗力の向きに対して垂直な溝を介して係合する、請求項1又は2記載の形状測定装置。
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