JPH03259711A - 自動駆動型比較計測機 - Google Patents
自動駆動型比較計測機Info
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- JPH03259711A JPH03259711A JP5912990A JP5912990A JPH03259711A JP H03259711 A JPH03259711 A JP H03259711A JP 5912990 A JP5912990 A JP 5912990A JP 5912990 A JP5912990 A JP 5912990A JP H03259711 A JPH03259711 A JP H03259711A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 62
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000035935 pregnancy Effects 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、測定対象物とプローブ測定子とを相対的に移
動する計測法に係り、特に所望の測定点に於けるモデル
測定物（マスター）と、測定対象物の計測値を比較する
に際し、プローブを移動する駆動機構の位値決め誤差か
ら発生する計測誤差を較正することのできる自動駆動型
比較Ｍ４測機に関する。
動する計測法に係り、特に所望の測定点に於けるモデル
測定物（マスター）と、測定対象物の計測値を比較する
に際し、プローブを移動する駆動機構の位値決め誤差か
ら発生する計測誤差を較正することのできる自動駆動型
比較Ｍ４測機に関する。
測定台上に載置した測定対象物に対して、計測機本機に
装備したプローブを精密移動機構により相対的に移動し
、前記測定対象物の計測面と、プローブ測定子との相対
移動量を検出して、これをデータ処理することにより、
測定対象物の形状或いは寸法等を測定するようにした二
次元測定機が知られており、測定対象物の所望の測定点
にプローブ測定子を当接する手段として、手動型と駆動
型とがある。
装備したプローブを精密移動機構により相対的に移動し
、前記測定対象物の計測面と、プローブ測定子との相対
移動量を検出して、これをデータ処理することにより、
測定対象物の形状或いは寸法等を測定するようにした二
次元測定機が知られており、測定対象物の所望の測定点
にプローブ測定子を当接する手段として、手動型と駆動
型とがある。
計測作業の能率化、自動化に伴いこの種測定機の操作も
自動駆動型が要求され、プローブ測定子の制御も高速化
しつつあるが、駆動装置としての位値決め精度は、高速
化と相反するものがあり、測定点に対してプローブ測定
子が移動する位値決め誤差は、精密計測」二無視するこ
とができなくなる。
自動駆動型が要求され、プローブ測定子の制御も高速化
しつつあるが、駆動装置としての位値決め精度は、高速
化と相反するものがあり、測定点に対してプローブ測定
子が移動する位値決め誤差は、精密計測」二無視するこ
とができなくなる。
〔問題を解決するための手段及び作用〕このため本発明
に係る自動駆動型比較！−１？１１！１機は、載架台に
載置した測定対象物と、計測機のＺ軸スライダに装着し
たプローブとを駆動機構により三次元的に相対移動し、
前記測定対象物の制測面とプローブ測定子との相対移動
量を検出して、これを同期駆動装置が軌道制御したマス
ター測定点の計測値と比較演算する計測機に於て、プロ
ーブ測定子を所望の測定点に当接するために作動する同
期駆動装置の位値決め指令設定値と、駆動位置とは必ず
しも一致せず、この変位量を含んだままの計測値を前記
マスターの標Ｉ？！測定値と比較することは、同一測定
条件での形状誤差を表示することにはならないので、こ
れを較正し、より正確な測定結果が得られるようにした
ものである。
に係る自動駆動型比較！−１？１１！１機は、載架台に
載置した測定対象物と、計測機のＺ軸スライダに装着し
たプローブとを駆動機構により三次元的に相対移動し、
前記測定対象物の制測面とプローブ測定子との相対移動
量を検出して、これを同期駆動装置が軌道制御したマス
ター測定点の計測値と比較演算する計測機に於て、プロ
ーブ測定子を所望の測定点に当接するために作動する同
期駆動装置の位値決め指令設定値と、駆動位置とは必ず
しも一致せず、この変位量を含んだままの計測値を前記
マスターの標Ｉ？！測定値と比較することは、同一測定
条件での形状誤差を表示することにはならないので、こ
れを較正し、より正確な測定結果が得られるようにした
ものである。
即ちマスターの各指定測定点に於ける切線の角度又は正
接値を、予め測定データ設定装置に入力し、測定対象物
に当接しようとするプローブ測定子の駆動位置が指定測
定点の位置より変位しても、この変位量に応じたマスタ
ー計測面上の比較位置を演算し、この値を測定対象物の
実測値と比較演算して、表示するようにしたものである
。
接値を、予め測定データ設定装置に入力し、測定対象物
に当接しようとするプローブ測定子の駆動位置が指定測
定点の位置より変位しても、この変位量に応じたマスタ
ー計測面上の比較位置を演算し、この値を測定対象物の
実測値と比較演算して、表示するようにしたものである
。
本発明の実施例を図面について説明すると、図中１はベ
ース２上に条設したレール３，３′と直動ブロック４，
４′により係合し、充分な精度を保持しつ＼Ｘ軸方向に
摺動自在とした測定対象物５の載架台で、これに対応す
る固定台６をベース２の中央部に立設する。固定台６の
−１一部には、直動ブロック７．７′と係合するレール
８，８′により、前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向に摺動自
在としたＹ軸スライダ９を架設し、その前側に支持台１
０などを介して垂直方向の昇降を自在としたＺ軸スライ
ダ１１の保持体１２を装着する。
ース２上に条設したレール３，３′と直動ブロック４，
４′により係合し、充分な精度を保持しつ＼Ｘ軸方向に
摺動自在とした測定対象物５の載架台で、これに対応す
る固定台６をベース２の中央部に立設する。固定台６の
−１一部には、直動ブロック７．７′と係合するレール
８，８′により、前記Ｘ軸と直交するＹ軸方向に摺動自
在としたＹ軸スライダ９を架設し、その前側に支持台１
０などを介して垂直方向の昇降を自在としたＺ軸スライ
ダ１１の保持体１２を装着する。
Ｚ軸スライダ１〕の延長下端にはプローブ１３を装着し
て、その測定子］４を前記載架台１上の測定対象物５に
対応させ、測定対象物５の計測面に当接する測定子１４
の三次元的な移動を可能とさせる。
て、その測定子］４を前記載架台１上の測定対象物５に
対応させ、測定対象物５の計測面に当接する測定子１４
の三次元的な移動を可能とさせる。
またベース２に対する載架台１のＸ軸方向への移動と、
固定台６に対するスライダ９のＹ軸方向への移動、及び
支持台１０に設けた保持体１２に対するスライダ１１の
ｚ軸方向への移動は、モータやボールねじなどにより構
成され、且っ学修機能を有する多軸コントローラ１５と
電気的に連結された夫々の同期駆動装置１．６，１７．
１８によって行われる。
固定台６に対するスライダ９のＹ軸方向への移動、及び
支持台１０に設けた保持体１２に対するスライダ１１の
ｚ軸方向への移動は、モータやボールねじなどにより構
成され、且っ学修機能を有する多軸コントローラ１５と
電気的に連結された夫々の同期駆動装置１．６，１７．
１８によって行われる。
プローブ測定子１４の測定対象物５に対するＸ軸方向へ
の相対移動量は、ベース２と載架台１との間に設けたＸ
軸移動量読み取り装置１９により検出され、また測定子
１４の測定対象物５に対するＹ軸方向、及びｚ軸方向へ
の相対移動量は、固定台６とスライダ９との間に設けた
Ｙ軸移動産院み取り装置２０、及び保持体１２とスライ
ダ１１−との間に設けたＸ軸移動量読み取り装置２１に
よって検出される。
の相対移動量は、ベース２と載架台１との間に設けたＸ
軸移動量読み取り装置１９により検出され、また測定子
１４の測定対象物５に対するＹ軸方向、及びｚ軸方向へ
の相対移動量は、固定台６とスライダ９との間に設けた
Ｙ軸移動産院み取り装置２０、及び保持体１２とスライ
ダ１１−との間に設けたＸ軸移動量読み取り装置２１に
よって検出される。
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の、各移動産院み取り装置１９゜２０．２
１からの信号は、各別の検出回路２２゜２３．２４及び
カウンタ２５，２６．２７を経てデータ処理装置２８に
伝送されるが、前記プローブ１３からの測定子タッチ信
号が各別のカウンタ２５．２６．２７に付与されるので
、各カウンタ２５．２６．２７は、プローブ１３からの
信号を受けた時点でのｘ、ｙ、Ｘ軸移動量読み取り値を
保持し、これをデータ処理装置２日に送り込む。
１からの信号は、各別の検出回路２２゜２３．２４及び
カウンタ２５，２６．２７を経てデータ処理装置２８に
伝送されるが、前記プローブ１３からの測定子タッチ信
号が各別のカウンタ２５．２６．２７に付与されるので
、各カウンタ２５．２６．２７は、プローブ１３からの
信号を受けた時点でのｘ、ｙ、Ｘ軸移動量読み取り値を
保持し、これをデータ処理装置２日に送り込む。
またＸ、Ｙ、Ｚ軸の各同期駆動装置］、６，１．７゜１
８を制御する多軸コン１−ローラ１５は、所定の動作指
令を出力する学修機能器（ティーチングボックス）２９
と接続されると共に、前記データ処理装置２８と接続さ
れており、更に指定された各測定点に於けるｘ、ｙ、ｚ
軸方向の公差値及び測定点に於ける切線が測定基準軸と
なす角度、又は正接値を入力する計測データ設定装置３
０が、データ処理装置２８に接続される。
８を制御する多軸コン１−ローラ１５は、所定の動作指
令を出力する学修機能器（ティーチングボックス）２９
と接続されると共に、前記データ処理装置２８と接続さ
れており、更に指定された各測定点に於けるｘ、ｙ、ｚ
軸方向の公差値及び測定点に於ける切線が測定基準軸と
なす角度、又は正接値を入力する計測データ設定装置３
０が、データ処理装置２８に接続される。
このデータ処理装置２８で演算処理された結果は、表示
装置３］に、また必要に応じて記録装置３２に出力する
ようになっている。
装置３］に、また必要に応じて記録装置３２に出力する
ようになっている。
本発明は上記の様に構成されているので、先づマスター
を載架台１上に固定し、この計測面に於ける所望の測定
点に、プローブ測定子］−４が当接する様な動作をプロ
ーブ１３に与えるため、同期駆動装置１５．コ−６，１
７にｘ、 −ｙ −ｚ軸座標値に相当する駆動信号を多
軸コントローラ１５から発信させる。
を載架台１上に固定し、この計測面に於ける所望の測定
点に、プローブ測定子］−４が当接する様な動作をプロ
ーブ１３に与えるため、同期駆動装置１５．コ−６，１
７にｘ、 −ｙ −ｚ軸座標値に相当する駆動信号を多
軸コントローラ１５から発信させる。
このマスター測定点軌道制御に必要な初期指令は、学修
機能器２９の操作により、多軸コントローラ１５に与え
られると同時に、データ処理装置２８或いは計測データ
設定装置３０に設けられたメモリー・ユニット（図面に
は示してない）に伝送され、メモリーカードなどに記録
されて、再度の同一測定対象物への計測に対応すること
ができる。
機能器２９の操作により、多軸コントローラ１５に与え
られると同時に、データ処理装置２８或いは計測データ
設定装置３０に設けられたメモリー・ユニット（図面に
は示してない）に伝送され、メモリーカードなどに記録
されて、再度の同一測定対象物への計測に対応すること
ができる。
今プローブ測定子１４の測定点に於ける当接挙動を説明
するに当り、Ｘ−Ｙの二軸に於ける関係位置を現わした
第４図について説明すると、マスター計測面ＢＣに於け
る所定の測定点をＰとすれば、この座標値χ、ｙは学修
機能器２９、又はメモリーカードからの指令値として、
データ処理製値２８に記憶されると共に、この座標値χ
、ｙに相当する動作指令を多軸コントローラ１５に与え
ること＼なる。しかし多軸コントローラ１５の指令によ
り動作する各軸の駆動装置には、夫々指令位置に対して
の位値決め誤差があり、これを零にすることは不可能で
ある。そこで測定点Ｐに向って移動するプローブ測定子
１４の位置がＸ軸」二にδχだけ変位してＹ軸方向への
移動を行ったとすると（第４図に矢印で示す）、測定子
１４は測定対象物の計測面ＤＥと点Ｐ１に於て当接する
。
するに当り、Ｘ−Ｙの二軸に於ける関係位置を現わした
第４図について説明すると、マスター計測面ＢＣに於け
る所定の測定点をＰとすれば、この座標値χ、ｙは学修
機能器２９、又はメモリーカードからの指令値として、
データ処理製値２８に記憶されると共に、この座標値χ
、ｙに相当する動作指令を多軸コントローラ１５に与え
ること＼なる。しかし多軸コントローラ１５の指令によ
り動作する各軸の駆動装置には、夫々指令位置に対して
の位値決め誤差があり、これを零にすることは不可能で
ある。そこで測定点Ｐに向って移動するプローブ測定子
１４の位置がＸ軸」二にδχだけ変位してＹ軸方向への
移動を行ったとすると（第４図に矢印で示す）、測定子
１４は測定対象物の計測面ＤＥと点Ｐ１に於て当接する
。
この当接点Ｐ工をマスター計測面ＢＣへの当接点と比較
する場合、測定子１４が上記の様にδχだけ変位したま
＼マスター計測面ＢＣに当接する位置は点Ｐ２であり、
データ処理装置２８が記憶する測定点Ｐではなから、計
測点Ｐ工の値は点Ｐ２の値と比較すべきである。従って
測定対象物の計測役得られる数値は、点Ｐ１に於ける座
標値χ、。
する場合、測定子１４が上記の様にδχだけ変位したま
＼マスター計測面ＢＣに当接する位置は点Ｐ２であり、
データ処理装置２８が記憶する測定点Ｐではなから、計
測点Ｐ工の値は点Ｐ２の値と比較すべきである。従って
測定対象物の計測役得られる数値は、点Ｐ１に於ける座
標値χ、。
ｙ、であり、前記測定点Ｐに於ける座標値χ、ｙとの４
つの値から当接予想点Ｐ２の座標値を得られることが望
ましい。
つの値から当接予想点Ｐ２の座標値を得られることが望
ましい。
そこでマスターの所定測定点Ｐに於ける切線ＰＡを考え
、これがＸ軸と交わる角度をＯとすれば、当接予想点Ｐ
２に於ける切線Ｐ２ＡがＸ軸と交わる角度も、δχが微
少な値であるため、はぼ０と等しい値と見て差し支えな
い。
、これがＸ軸と交わる角度をＯとすれば、当接予想点Ｐ
２に於ける切線Ｐ２ＡがＸ軸と交わる角度も、δχが微
少な値であるため、はぼ０と等しい値と見て差し支えな
い。
図４の点Ｐ１に於ける座標値をχ１．ｙ１、点Ｐ２に於
ける座標値をχ１．ｙ２とすれば、χ１−χ ＝δχ
であり、 ｙ□−ｙ −δｙ ｙｚ ’Ｊｘ＝εｙ とすれば、 ｙｚ Ｖ −δχ＋Ｅｙ となり、角度０との間に次の関係が成り立つ。
ける座標値をχ１．ｙ２とすれば、χ１−χ ＝δχ
であり、 ｙ□−ｙ −δｙ ｙｚ ’Ｊｘ＝εｙ とすれば、 ｙｚ Ｖ −δχ＋Ｅｙ となり、角度０との間に次の関係が成り立つ。
δｙ＋Ｅｙ＝δχｔａｎθ
εｙ−δχ＋：ａｎＯ−δｙ
−に記の演算によって点Ｐ２の座標値を知ることができ
るので、計測データ設定装置３０に、マスター測定点の
切線がプローブ移動の基準軸（二＼ではＸ軸）と交わる
角度Ｏ又はその正接値ｔａｎ Ｏを入力して置けば、計
測作業時に点Ｐ、の座標値を検出することにより、デー
タ処理装置２８が点Ｐ２の座標値を演算し、更に点Ｐ１
とＰ２との座標値を比較して、その偏差量を表示装置３
１に送り、また必要に応じてその数値を、記録装置３２
よりプリントアラ１−することができる。
るので、計測データ設定装置３０に、マスター測定点の
切線がプローブ移動の基準軸（二＼ではＸ軸）と交わる
角度Ｏ又はその正接値ｔａｎ Ｏを入力して置けば、計
測作業時に点Ｐ、の座標値を検出することにより、デー
タ処理装置２８が点Ｐ２の座標値を演算し、更に点Ｐ１
とＰ２との座標値を比較して、その偏差量を表示装置３
１に送り、また必要に応じてその数値を、記録装置３２
よりプリントアラ１−することができる。
ｘ、ｙ、ｚ三軸方向に対してのプローブ測定子の移動は
、第４図の他に軸Ｘ−Ｚ、及び軸Ｙ−Ｚの組合せがある
が、角Ｏを決定する基準軸を選択することにより、前述
の場合と同様な方法で処理することができる。
、第４図の他に軸Ｘ−Ｚ、及び軸Ｙ−Ｚの組合せがある
が、角Ｏを決定する基準軸を選択することにより、前述
の場合と同様な方法で処理することができる。
本発明は以上説明したように構成されているので、測定
対象物の計測は、プローブ測定子が当接する計測点の値
をそのま＼表示するものではなく、予め計測したマスタ
ーの指定測定点に於ける値の較正値と比較した偏差量を
表示し、同時にこの値が製品の公差値内にあるかどうか
を判定する比較式計測機で、製品良否の判別性が高く、
且つ迅速な測定が可能である。
対象物の計測は、プローブ測定子が当接する計測点の値
をそのま＼表示するものではなく、予め計測したマスタ
ーの指定測定点に於ける値の較正値と比較した偏差量を
表示し、同時にこの値が製品の公差値内にあるかどうか
を判定する比較式計測機で、製品良否の判別性が高く、
且つ迅速な測定が可能である。
また測定対象物とプローブとを相対的に移動させる駆動
装置の位値決め誤差を勘案し、各指定測定点に於ける切
線の傾きから得られる数値を、予め計測データ設定装置
に入力することによって、前記駆動装置の位値決め誤差
に対応するマスター上の比較測定点を演算し、この値と
測定対象物の計測実質値とを比較するようにしたもので
、比較測定精度は格段と向上する。
装置の位値決め誤差を勘案し、各指定測定点に於ける切
線の傾きから得られる数値を、予め計測データ設定装置
に入力することによって、前記駆動装置の位値決め誤差
に対応するマスター上の比較測定点を演算し、この値と
測定対象物の計測実質値とを比較するようにしたもので
、比較測定精度は格段と向上する。
この様な測定比較値の較正機能は、令名計測機の測定精
度に大きな影響を及ぼした、プローブ駆動装置の位値決
め゛精度に左右されることが少なくなり、これ等の構成
部材を比較的安価な装置で代行することができるなど、
この種計測機に於ける測定精度の向−１−と、製作価格
の低減に効果を奏し、多方面に活用することができ得る
。
度に大きな影響を及ぼした、プローブ駆動装置の位値決
め゛精度に左右されることが少なくなり、これ等の構成
部材を比較的安価な装置で代行することができるなど、
この種計測機に於ける測定精度の向−１−と、製作価格
の低減に効果を奏し、多方面に活用することができ得る
。
第１図は本発明に係る計測機の正面図、第２図は同側面
図、第３図は計測機の電気的構成を示すブロック図、第
４図は測定値の較正法を示す説明図である。 １・・・載架台。 ２・・・ベース。 ５・・・測定対象物。 ６・・・固定台。 ９ ・ ・ ・ １１ ・ ・ ・ １３ ・ ・ ・ １６ ・ ・ ・ １７ ・ ・ ・ １８ ・ ・ ・ １９ ・ ・ ・ ２０ ・ ・ ・ ２１ ・ ・ ・ ２８ ・ ・ ・ ３０ ・ ・ ・ ３１ ・ ・ ・ ３２ ・ ・ ・ Ｙ軸スライダ。 ＺＩＩＩ山スライスラ イダーブ。 ＸＩＩＩＩＩ同期駆動装置。 Ｙ相同期駆動装置。 Ｚ軸同期駆動装置。 Ｘ軸移動量読み取り装置。 Ｙ軸移動量波み取り装置。 Ｘ軸移動量読み取り装置。 データ処理装置。 計測データ設定装置。 表示装置。 記録装置。 １− ２ 手 続 補正書 平成３年５月２日 平成２年特許願第５９１２９号 フ リ ガ す 発明の名称 補正をする者 事件との関係 特許出願人 〒４２４ 自 発 、補正の （１）明細書中 、補正の 対象 「発明の詳細な説明」 内容 の欄 ｒ、３１紙」 ■、明細書中「発明の詳細な説明」の欄を下記の通り補
正する。 （１）明細書第２頁第６行目にｒ本機に装備」とあるの
を「本体に装備」と補正する。 （２）明細書第４頁第９行目に「中央部に」とあるのを
「中央後側部に」と補正する。 以 上
図、第３図は計測機の電気的構成を示すブロック図、第
４図は測定値の較正法を示す説明図である。 １・・・載架台。 ２・・・ベース。 ５・・・測定対象物。 ６・・・固定台。 ９ ・ ・ ・ １１ ・ ・ ・ １３ ・ ・ ・ １６ ・ ・ ・ １７ ・ ・ ・ １８ ・ ・ ・ １９ ・ ・ ・ ２０ ・ ・ ・ ２１ ・ ・ ・ ２８ ・ ・ ・ ３０ ・ ・ ・ ３１ ・ ・ ・ ３２ ・ ・ ・ Ｙ軸スライダ。 ＺＩＩＩ山スライスラ イダーブ。 ＸＩＩＩＩＩ同期駆動装置。 Ｙ相同期駆動装置。 Ｚ軸同期駆動装置。 Ｘ軸移動量読み取り装置。 Ｙ軸移動量波み取り装置。 Ｘ軸移動量読み取り装置。 データ処理装置。 計測データ設定装置。 表示装置。 記録装置。 １− ２ 手 続 補正書 平成３年５月２日 平成２年特許願第５９１２９号 フ リ ガ す 発明の名称 補正をする者 事件との関係 特許出願人 〒４２４ 自 発 、補正の （１）明細書中 、補正の 対象 「発明の詳細な説明」 内容 の欄 ｒ、３１紙」 ■、明細書中「発明の詳細な説明」の欄を下記の通り補
正する。 （１）明細書第２頁第６行目にｒ本機に装備」とあるの
を「本体に装備」と補正する。 （２）明細書第４頁第９行目に「中央部に」とあるのを
「中央後側部に」と補正する。 以 上
Claims (1)
- （１）載架台に載置した測定対象物と、計測機のＺ軸ス
ライダに装着したプローブとを駆動機構により三次元的
に相対移動し、前記測定対象物の測定面と、プローブ測
定子との相対移動量を検出して、これを同期駆動装置が
軌道制御したモデル測定物の計測値と比較演算する計測
機に於て、モデル測定物の指定測定点に於ける切線の角
度又は、正接値を予め設定することにより、駆動装置の
位値決め誤差から発生する計測誤差を較正することを特
徴とした自動駆動型比較計測機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2059129A JP2572660B2 (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 自動駆動型比較計測機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2059129A JP2572660B2 (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 自動駆動型比較計測機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03259711A true JPH03259711A (ja) | 1991-11-19 |
| JP2572660B2 JP2572660B2 (ja) | 1997-01-16 |
Family
ID=13104391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2059129A Expired - Fee Related JP2572660B2 (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 自動駆動型比較計測機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2572660B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567008A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-24 | Shin Nippon Koki Kk | Tridimensional coordinates measuring apparatus |
| JPS58151807U (ja) * | 1982-04-06 | 1983-10-12 | 住友重機械工業株式会社 | 自己補償付触針装置 |
-
1990
- 1990-03-09 JP JP2059129A patent/JP2572660B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS567008A (en) * | 1979-06-29 | 1981-01-24 | Shin Nippon Koki Kk | Tridimensional coordinates measuring apparatus |
| JPS58151807U (ja) * | 1982-04-06 | 1983-10-12 | 住友重機械工業株式会社 | 自己補償付触針装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2572660B2 (ja) | 1997-01-16 |
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