JP2003266305A - 端面研磨装置及び端面研磨方法 - Google Patents
端面研磨装置及び端面研磨方法Info
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- G02B6/3863—Details of mounting fibres in ferrules; Assembly methods; Manufacture fabricated by using polishing techniques
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 棒状部材の研磨量を制御して研磨加工時間を
短縮することができる端面研磨装置及び端面研磨方法を
提供する。 【解決手段】 装置本体１０に設けられて回転及び揺動
自在に支持された研磨定盤２０に装着された研磨部材２
１により、治具盤４０に装着された棒状部材Ｗを押しつ
けて研磨する端面研磨装置において、前記治具盤４０と
前記研磨定盤２０との相対的な位置を検出する距離検出
手段７０と、該距離検出手段７０によって検出された位
置から前記治具盤４０に保持された前記棒状部材Ｗの実
質的な研磨長さを計測する計測手段とを設ける。
短縮することができる端面研磨装置及び端面研磨方法を
提供する。 【解決手段】 装置本体１０に設けられて回転及び揺動
自在に支持された研磨定盤２０に装着された研磨部材２
１により、治具盤４０に装着された棒状部材Ｗを押しつ
けて研磨する端面研磨装置において、前記治具盤４０と
前記研磨定盤２０との相対的な位置を検出する距離検出
手段７０と、該距離検出手段７０によって検出された位
置から前記治具盤４０に保持された前記棒状部材Ｗの実
質的な研磨長さを計測する計測手段とを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信用ファイバ
などを保持したフェルールなどの棒状部材の端面を研磨
する端面研磨装置及び端面研磨方法に関する。
などを保持したフェルールなどの棒状部材の端面を研磨
する端面研磨装置及び端面研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信用ファイバは、コネクタの主要部
材であるフェルールの中心孔内にファイバを接着固定し
た後、フェルール端面とファイバ端面とを同時に平滑に
研磨し鏡面に仕上げて使用される。この研磨仕上げした
フェルール及びファイバの研磨面が、フェルールの中心
軸と垂直な面でなかったり、あるいは、研磨面に傷があ
ったりすると、フェルール同士が対向接続される光コネ
クタにおいて、対向位置精度が劣化し損失が大きくなっ
てしまう。そのため、光ファイバを含むフェルールの研
磨面は高精度に研磨仕上げする必要がある。
材であるフェルールの中心孔内にファイバを接着固定し
た後、フェルール端面とファイバ端面とを同時に平滑に
研磨し鏡面に仕上げて使用される。この研磨仕上げした
フェルール及びファイバの研磨面が、フェルールの中心
軸と垂直な面でなかったり、あるいは、研磨面に傷があ
ったりすると、フェルール同士が対向接続される光コネ
クタにおいて、対向位置精度が劣化し損失が大きくなっ
てしまう。そのため、光ファイバを含むフェルールの研
磨面は高精度に研磨仕上げする必要がある。
【０００３】このような従来の光ファイバを含むフェル
ール等の棒状部材を研磨する端面研磨装置として、例え
ば、特開平３−２６４５６号公報に開示されたものがあ
る。この公報に開示された光ファイバ端面研磨装置は、
自転円盤の同心円上で回転する偏心盤を持ち、この偏心
盤に公転用のモータの回転を伝達する遊星歯車を持ち、
これらを研磨定盤に結合させて研磨定盤を自転および公
転させる一方、この研磨定盤に固定した研磨部材に対し
て、治具盤に保持された多数のフェルールの端面を押し
付けて研磨するものである。このような端面研磨装置を
用いたフェルールの研磨では、研磨時間によって研磨量
を制御していた。
ール等の棒状部材を研磨する端面研磨装置として、例え
ば、特開平３−２６４５６号公報に開示されたものがあ
る。この公報に開示された光ファイバ端面研磨装置は、
自転円盤の同心円上で回転する偏心盤を持ち、この偏心
盤に公転用のモータの回転を伝達する遊星歯車を持ち、
これらを研磨定盤に結合させて研磨定盤を自転および公
転させる一方、この研磨定盤に固定した研磨部材に対し
て、治具盤に保持された多数のフェルールの端面を押し
付けて研磨するものである。このような端面研磨装置を
用いたフェルールの研磨では、研磨時間によって研磨量
を制御していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フェル
ールの端面研磨では、研磨後のフェルールの長さを所定
の長さの範囲となるように研磨しなくてはならず、フェ
ルールの長さの制御を研磨時間によって研磨しても、実
際の研磨量との誤差が大きく、研磨量の高精度な制御が
困難であるという問題がある。
ールの端面研磨では、研磨後のフェルールの長さを所定
の長さの範囲となるように研磨しなくてはならず、フェ
ルールの長さの制御を研磨時間によって研磨しても、実
際の研磨量との誤差が大きく、研磨量の高精度な制御が
困難であるという問題がある。
【０００５】また、従来のフェルールの端面研磨では、
一般的に荒研磨、中研磨及び仕上げ研磨と複数回の研磨
を行わなくてはならず、その都度、研磨後の長さを把握
して最終的な仕上げ研磨後のフェルールの長さを制御す
るのは煩雑であるという問題がある。
一般的に荒研磨、中研磨及び仕上げ研磨と複数回の研磨
を行わなくてはならず、その都度、研磨後の長さを把握
して最終的な仕上げ研磨後のフェルールの長さを制御す
るのは煩雑であるという問題がある。
【０００６】さらに、従来のフェルールの端面研磨で
は、フェルールの研磨量を測定するために、フェルール
を治具盤から取り外して測定しなくてはならず、作業が
煩雑であると共に研磨加工に時間がかかってしまうとい
う問題がある。
は、フェルールの研磨量を測定するために、フェルール
を治具盤から取り外して測定しなくてはならず、作業が
煩雑であると共に研磨加工に時間がかかってしまうとい
う問題がある。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑み、棒状部
材の研磨量を制御して研磨加工時間を短縮することがで
きる端面研磨装置及び端面研磨方法を提供することを課
題とする。
材の研磨量を制御して研磨加工時間を短縮することがで
きる端面研磨装置及び端面研磨方法を提供することを課
題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、装置本体に設けられて回転及び揺動
自在に支持された研磨定盤に装着された研磨部材によ
り、治具盤に装着された棒状部材を押しつけて研磨する
端面研磨装置において、研磨中又は前記研磨定盤の回転
中において、研磨盤の回転方向に対して垂直な方向への
移動がない基準位置から、前記治具盤の位置、又は前記
棒状部材の長さの変化と同時に変化する位置の変化量を
検出する距離検出手段を具備することを特徴とする端面
研磨装置にある。
明の第１の態様は、装置本体に設けられて回転及び揺動
自在に支持された研磨定盤に装着された研磨部材によ
り、治具盤に装着された棒状部材を押しつけて研磨する
端面研磨装置において、研磨中又は前記研磨定盤の回転
中において、研磨盤の回転方向に対して垂直な方向への
移動がない基準位置から、前記治具盤の位置、又は前記
棒状部材の長さの変化と同時に変化する位置の変化量を
検出する距離検出手段を具備することを特徴とする端面
研磨装置にある。
【０００９】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記距離検出手段が、前記治具盤と前記研磨定盤と
の相対的な位置を検出することを特徴とする端面研磨装
置にある。本発明の第３の態様は、第１又は２に記載の
態様において、前記距離検出手段によって検出された位
置から前記治具盤に保持された前記棒状部材の実質的な
研磨長さを計測する計測手段とを具備することを特徴と
する端面研磨装置にある。
て、前記距離検出手段が、前記治具盤と前記研磨定盤と
の相対的な位置を検出することを特徴とする端面研磨装
置にある。本発明の第３の態様は、第１又は２に記載の
態様において、前記距離検出手段によって検出された位
置から前記治具盤に保持された前記棒状部材の実質的な
研磨長さを計測する計測手段とを具備することを特徴と
する端面研磨装置にある。
【００１０】本発明の第４の態様は、第１の態様におい
て、前記距離検出手段が前記治具盤と共に移動する所定
位置と、前記研磨定盤の所定位置との距離を検出するこ
とを特徴とする端面研磨装置にある。
て、前記距離検出手段が前記治具盤と共に移動する所定
位置と、前記研磨定盤の所定位置との距離を検出するこ
とを特徴とする端面研磨装置にある。
【００１１】本発明の第５の態様は、第１〜４の何れか
の態様において、前記装置本体には、前記治具盤を保持
すると共に前記研磨定盤方向に移動自在に設けられた保
持手段と、該保持手段を前記研磨定盤方向に所定の圧力
で押圧する押圧手段とを具備することを特徴とする端面
研磨装置にある。
の態様において、前記装置本体には、前記治具盤を保持
すると共に前記研磨定盤方向に移動自在に設けられた保
持手段と、該保持手段を前記研磨定盤方向に所定の圧力
で押圧する押圧手段とを具備することを特徴とする端面
研磨装置にある。
【００１２】本発明の第６の態様は、第５の態様におい
て、前記距離検出手段が前記保持手段に固定され、前記
保持手段の移動による前記治具盤の移動に伴って当該距
離検出手段も移動することを特徴とする端面研磨装置に
ある。
て、前記距離検出手段が前記保持手段に固定され、前記
保持手段の移動による前記治具盤の移動に伴って当該距
離検出手段も移動することを特徴とする端面研磨装置に
ある。
【００１３】本発明の第７の態様は、第１〜６の何れか
の態様において、前記装置本体には、前記治具盤の保持
した前記棒状部材を前記研磨部材に押圧する圧力を検出
する圧力検出手段を具備し、該圧力検出手段が所定の圧
力を検出した際に前記計測手段が前記棒状部材の研磨長
さを計測することを特徴とする端面研磨装置にある。
の態様において、前記装置本体には、前記治具盤の保持
した前記棒状部材を前記研磨部材に押圧する圧力を検出
する圧力検出手段を具備し、該圧力検出手段が所定の圧
力を検出した際に前記計測手段が前記棒状部材の研磨長
さを計測することを特徴とする端面研磨装置にある。
【００１４】本発明の第８の態様は、第１〜７の何れか
の態様において、前記距離検出手段が、接触型又は非接
触型のセンサであることを特徴とする端面研磨装置にあ
る。
の態様において、前記距離検出手段が、接触型又は非接
触型のセンサであることを特徴とする端面研磨装置にあ
る。
【００１５】本発明の第９の態様は、第１〜８の何れか
の態様において、前記距離検出手段が前記棒状部材の実
質的な研磨長さの１ｍｍ以下の変位量を検出することが
できるものであることを特徴とする端面研磨装置にあ
る。
の態様において、前記距離検出手段が前記棒状部材の実
質的な研磨長さの１ｍｍ以下の変位量を検出することが
できるものであることを特徴とする端面研磨装置にあ
る。
【００１６】本発明の第１０の態様は、第１〜９の何れ
かの態様において、前記治具盤が前記棒状部材を複数保
持し、前記研磨部材によって複数本の棒状部材を同時に
研磨することを特徴とする端面研磨装置にある。
かの態様において、前記治具盤が前記棒状部材を複数保
持し、前記研磨部材によって複数本の棒状部材を同時に
研磨することを特徴とする端面研磨装置にある。
【００１７】本発明の第１１の態様は、第１〜１０の何
れかの態様において、前記棒状部材がフェルールである
ことを特徴とする端面研磨装置にある。
れかの態様において、前記棒状部材がフェルールである
ことを特徴とする端面研磨装置にある。
【００１８】本発明の第１２の態様は、回転及び揺動自
在に保持された研磨定盤に装着された研磨部材により、
治具盤に装着された棒状部材を押しつけて研磨する端面
研磨方法において、研磨中又は前記研磨定盤の回転中に
おいて、前記研磨定盤の回転方向に対して垂直方向への
移動がない基準位置から、前記治具盤の位置、又は前記
棒状部材の長さの変化と同時に変化する位置の変化量を
検出することで前記棒状部材の研磨長さを計測しながら
研磨することを特徴とする端面研磨方法にある。
在に保持された研磨定盤に装着された研磨部材により、
治具盤に装着された棒状部材を押しつけて研磨する端面
研磨方法において、研磨中又は前記研磨定盤の回転中に
おいて、前記研磨定盤の回転方向に対して垂直方向への
移動がない基準位置から、前記治具盤の位置、又は前記
棒状部材の長さの変化と同時に変化する位置の変化量を
検出することで前記棒状部材の研磨長さを計測しながら
研磨することを特徴とする端面研磨方法にある。
【００１９】本発明の第１３の態様は、第１２の態様に
おいて、前記研磨は前記治具盤と前記研磨定盤との相対
的な位置を検出することで前記棒状部材の研磨長さを計
測しながら研磨することを特徴とする端面研磨方法にあ
る。
おいて、前記研磨は前記治具盤と前記研磨定盤との相対
的な位置を検出することで前記棒状部材の研磨長さを計
測しながら研磨することを特徴とする端面研磨方法にあ
る。
【００２０】本発明の第１４の態様は、第１２の態様に
おいて、前記治具盤の保持した前記棒状部材を前記研磨
部材に押圧する圧力を検出し、検出した圧力が所定の圧
力の場合に、前記研磨長さを測定することを特徴とする
端面研磨方法にある。
おいて、前記治具盤の保持した前記棒状部材を前記研磨
部材に押圧する圧力を検出し、検出した圧力が所定の圧
力の場合に、前記研磨長さを測定することを特徴とする
端面研磨方法にある。
【００２１】本発明の第１５の態様は、第１２〜１４の
何れかの態様において、前記治具盤を前記研磨定盤方向
に移動すると共に計測した前記棒状部材の研磨長さが所
定の長さとなった際に、前記治具盤の移動を停止するこ
とを特徴とする端面研磨方法にある。
何れかの態様において、前記治具盤を前記研磨定盤方向
に移動すると共に計測した前記棒状部材の研磨長さが所
定の長さとなった際に、前記治具盤の移動を停止するこ
とを特徴とする端面研磨方法にある。
【００２２】本発明の第１６の態様は、第１２〜１５の
何れかの態様において、前記治具盤を前記研磨定盤方向
に移動すると共に計測した前記棒状部材の研磨長さが所
定の長さとなった際に、前記治具盤を前記研磨定盤とは
反対側へ移動することを特徴とする端面研磨方法にあ
る。
何れかの態様において、前記治具盤を前記研磨定盤方向
に移動すると共に計測した前記棒状部材の研磨長さが所
定の長さとなった際に、前記治具盤を前記研磨定盤とは
反対側へ移動することを特徴とする端面研磨方法にあ
る。
【００２３】かかる本発明では、距離検出手段によって
治具盤と研磨定盤との距離を検出し、計測手段によって
棒状部材の研磨長さを計測することができるため、研磨
中であっても棒状部材の研磨長さを計測することができ
る。これにより、棒状部材の研磨量の制御を容易に且つ
高精度に行うことができると共に研磨加工時間を短縮す
ることができる。
治具盤と研磨定盤との距離を検出し、計測手段によって
棒状部材の研磨長さを計測することができるため、研磨
中であっても棒状部材の研磨長さを計測することができ
る。これにより、棒状部材の研磨量の制御を容易に且つ
高精度に行うことができると共に研磨加工時間を短縮す
ることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明を実施形態に基づ
いて詳細に説明する。
いて詳細に説明する。
【００２５】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係る端面研磨装置の要部断面図であり、図２は、端
面研磨装置の上面図である。
１に係る端面研磨装置の要部断面図であり、図２は、端
面研磨装置の上面図である。
【００２６】図１及び図２に示すように、本実施形態の
端面研磨装置は、装置本体１０と、装置本体１０に回転
及び揺動自在に設けられて研磨部材２１が装着された研
磨定盤２０と、研磨定盤２０を駆動する駆動手段３０
と、棒状部材Ｗを複数保持した治具盤４０と、治具盤４
０を保持すると共に装置本体１０に研磨定盤２０方向へ
移動自在に設けられた保持手段５０と、治具盤４０を保
持した保持手段５０を研磨定盤２０に向かって所定の圧
力で押圧する押圧手段６０と、研磨定盤２０の所定位置
と治具盤４０の所定位置との距離を検出する距離検出手
段７０とを具備する。
端面研磨装置は、装置本体１０と、装置本体１０に回転
及び揺動自在に設けられて研磨部材２１が装着された研
磨定盤２０と、研磨定盤２０を駆動する駆動手段３０
と、棒状部材Ｗを複数保持した治具盤４０と、治具盤４
０を保持すると共に装置本体１０に研磨定盤２０方向へ
移動自在に設けられた保持手段５０と、治具盤４０を保
持した保持手段５０を研磨定盤２０に向かって所定の圧
力で押圧する押圧手段６０と、研磨定盤２０の所定位置
と治具盤４０の所定位置との距離を検出する距離検出手
段７０とを具備する。
【００２７】研磨定盤２０は、詳しくは後述する駆動手
段３０によって回転及び揺動自在に設けられ、その上面
の中央部には、研磨部材２１が固定されている。
段３０によって回転及び揺動自在に設けられ、その上面
の中央部には、研磨部材２１が固定されている。
【００２８】また、研磨定盤２０の上面には、研磨部材
２１が固定された以外の領域である周縁部近傍に距離検
出手段７０の検出対象物となる検出リング２２が固定さ
れている。
２１が固定された以外の領域である周縁部近傍に距離検
出手段７０の検出対象物となる検出リング２２が固定さ
れている。
【００２９】この研磨定盤２０及び検出リング２２は、
ステンレス等の金属などで形成され、研磨定盤２０の上
面及び検出リング２２の上面は、研磨部材２１の研磨面
にブレが生じないように高精度に形成されている。
ステンレス等の金属などで形成され、研磨定盤２０の上
面及び検出リング２２の上面は、研磨部材２１の研磨面
にブレが生じないように高精度に形成されている。
【００３０】また、研磨定盤２０の上面に設けられた研
磨部材２１は、例えば、研磨定盤２０上に直接又は弾性
部材を介して接合された研磨シートからなる。
磨部材２１は、例えば、研磨定盤２０上に直接又は弾性
部材を介して接合された研磨シートからなる。
【００３１】このような研磨定盤２０を回転及び揺動す
る駆動手段３０は、特に限定されず、例えば、回転用駆
動モータ３１と複数の歯車とからなる。
る駆動手段３０は、特に限定されず、例えば、回転用駆
動モータ３１と複数の歯車とからなる。
【００３２】詳しくは、回転用駆動モータ３１の回転軸
には、自転用プーリ３２と公転用プーリ３３とが設けら
れている。
には、自転用プーリ３２と公転用プーリ３３とが設けら
れている。
【００３３】自転用プーリ３２は、自転用タイミングベ
ルト３４及び図示しない複数の自転用歯車を介して自転
軸３５と連結されている。
ルト３４及び図示しない複数の自転用歯車を介して自転
軸３５と連結されている。
【００３４】また、公転用プーリ３３は、公転用タイミ
ングベルト３６及び図示しない複数の公転用歯車を介し
て図示しない公転軸と連結されている。
ングベルト３６及び図示しない複数の公転用歯車を介し
て図示しない公転軸と連結されている。
【００３５】この自転軸３５は、公転軸の中心から所定
量だけ偏芯した位置に回転自在に支持されており、自転
軸３５の上端は、図示しない複数の連結ピンを介して研
磨定盤２０の底面と連結されている。
量だけ偏芯した位置に回転自在に支持されており、自転
軸３５の上端は、図示しない複数の連結ピンを介して研
磨定盤２０の底面と連結されている。
【００３６】このような駆動手段３０は、回転用駆動モ
ータ３１の回転軸を回転させて、自転用プーリ３２、公
転用プーリ３３、自転用歯車及び公転用歯車を介して自
転軸３５及び公転軸を回転させて研磨定盤２０を自転及
び公転させることができる。
ータ３１の回転軸を回転させて、自転用プーリ３２、公
転用プーリ３３、自転用歯車及び公転用歯車を介して自
転軸３５及び公転軸を回転させて研磨定盤２０を自転及
び公転させることができる。
【００３７】また、研磨定盤２０の研磨部材２１に対向
する位置には、複数の棒状部材Ｗを保持した治具盤４０
が保持手段５０によって研磨定盤２０に向かって移動自
在に保持されている。
する位置には、複数の棒状部材Ｗを保持した治具盤４０
が保持手段５０によって研磨定盤２０に向かって移動自
在に保持されている。
【００３８】ここで、治具盤４０及び保持手段５０につ
いて詳しく説明する。
いて詳しく説明する。
【００３９】図３（ａ）は治具盤の斜視図であり、図３
（ｂ）は治具盤及び支持機構の要部断面図である。
（ｂ）は治具盤及び支持機構の要部断面図である。
【００４０】図３に示すように、治具盤４０は、治具盤
本体４１と、治具盤本体４１の側面に取り付けられた複
数の取付片４２とを具備する。
本体４１と、治具盤本体４１の側面に取り付けられた複
数の取付片４２とを具備する。
【００４１】治具盤本体４１は多角形状を有し、各側面
には厚さ方向に亘ってＶ溝４３が設けられている。
には厚さ方向に亘ってＶ溝４３が設けられている。
【００４２】また、治具盤本体４１のＶ溝４３に対向す
る位置には、取付片４２が固定ねじ４４を介して固定さ
れている。このＶ溝４３と取付片４２との間で棒状部材
Ｗを挟持することで、棒状部材Ｗは治具盤４０に脱着可
能に固定されている。
る位置には、取付片４２が固定ねじ４４を介して固定さ
れている。このＶ溝４３と取付片４２との間で棒状部材
Ｗを挟持することで、棒状部材Ｗは治具盤４０に脱着可
能に固定されている。
【００４３】なお、本実施形態では、治具盤本体４１を
６角形状として、その各側面にＶ溝４３を二つずつ設け
ることによって、棒状部材Ｗを１２本固定できるように
した。また、棒状部材Ｗは、フェルールなどの円筒形状
の棒状部材や、多心フェルール及び多心光コネクタ等の
断面が矩形の棒状部材等、特に限定されない。本実施形
態では、棒状部材Ｗとして円筒形状を有するフェルール
を用いた。また、このような棒状部材Ｗを治具盤本体４
１に固定する取付片４２及び固定ねじ４４もこれに限定
されない。
６角形状として、その各側面にＶ溝４３を二つずつ設け
ることによって、棒状部材Ｗを１２本固定できるように
した。また、棒状部材Ｗは、フェルールなどの円筒形状
の棒状部材や、多心フェルール及び多心光コネクタ等の
断面が矩形の棒状部材等、特に限定されない。本実施形
態では、棒状部材Ｗとして円筒形状を有するフェルール
を用いた。また、このような棒状部材Ｗを治具盤本体４
１に固定する取付片４２及び固定ねじ４４もこれに限定
されない。
【００４４】また、治具盤本体４１の略中央部には、保
持手段５０に固定されるボス部４５が設けられている。
持手段５０に固定されるボス部４５が設けられている。
【００４５】一方、保持手段５０は、図１及び図２に示
すように、装置本体１０に設けられた支持部５１と、支
持部５１に移動自在に保持されたアーム部５２とを具備
する。
すように、装置本体１０に設けられた支持部５１と、支
持部５１に移動自在に保持されたアーム部５２とを具備
する。
【００４６】支持部５１は、装置本体１０に二本設けら
れた四角柱形状を有し、支持部５１の外周面にアーム部
５２の基端部が挿入保持されている。
れた四角柱形状を有し、支持部５１の外周面にアーム部
５２の基端部が挿入保持されている。
【００４７】アーム部５２は、基端部側が支持部５１に
挿入されることで支持部５１の軸方向に移動自在に保持
されている。
挿入されることで支持部５１の軸方向に移動自在に保持
されている。
【００４８】また、アーム部５２の先端部は、研磨定盤
２０に向かって屈曲した形状を有し、先端が治具盤４０
のボス部４５に係合して治具盤４０の回転方向の移動及
び傾き方向の移動を規制した状態で保持している。
２０に向かって屈曲した形状を有し、先端が治具盤４０
のボス部４５に係合して治具盤４０の回転方向の移動及
び傾き方向の移動を規制した状態で保持している。
【００４９】詳しくは、治具盤４０のボス部４５には、
矩形状の切り欠き部４６と、切り欠き部４６の開口側に
固定されて切り欠き部４６よりも小さな開口を有する蓋
部材４７とが設けられている。
矩形状の切り欠き部４６と、切り欠き部４６の開口側に
固定されて切り欠き部４６よりも小さな開口を有する蓋
部材４７とが設けられている。
【００５０】一方、アーム部５２の先端部は、切り欠き
部４６に係合する矩形状のフランジ部５３が設けられて
おり、フランジ部５３をボス部４５の側面から切り欠き
部４６に挿入することで、フランジ部５３の側面を切り
欠き部４６の側面に当接させて回転方向の移動が規制さ
れている。
部４６に係合する矩形状のフランジ部５３が設けられて
おり、フランジ部５３をボス部４５の側面から切り欠き
部４６に挿入することで、フランジ部５３の側面を切り
欠き部４６の側面に当接させて回転方向の移動が規制さ
れている。
【００５１】また、ボス部４５の切り欠き部４６に挿入
されたフランジ部５３は、蓋部材４７に当接することで
治具盤４０の研磨定盤２０方向への移動を規制してお
り、治具盤４０のアーム部５２側への移動は、アーム部
５２の先端面と切り欠き部４６の底面との間に設けられ
た規制部４８によって規制されている。すなわち、アー
ム部５２は、蓋部材４７と規制部４８とに当接すること
によって治具盤４０を回転方向及び傾き方向の移動が規
制された状態で保持している。
されたフランジ部５３は、蓋部材４７に当接することで
治具盤４０の研磨定盤２０方向への移動を規制してお
り、治具盤４０のアーム部５２側への移動は、アーム部
５２の先端面と切り欠き部４６の底面との間に設けられ
た規制部４８によって規制されている。すなわち、アー
ム部５２は、蓋部材４７と規制部４８とに当接すること
によって治具盤４０を回転方向及び傾き方向の移動が規
制された状態で保持している。
【００５２】このように治具盤４０を保持したアーム部
５２は、押圧手段６０によって研磨定盤２０方向に移動
され、治具盤４０に保持された複数の棒状部材Ｗを研磨
定盤２０上の研磨部材２１に所定の圧力で押圧するよう
になっている。
５２は、押圧手段６０によって研磨定盤２０方向に移動
され、治具盤４０に保持された複数の棒状部材Ｗを研磨
定盤２０上の研磨部材２１に所定の圧力で押圧するよう
になっている。
【００５３】この押圧手段６０としては、アーム部５２
を研磨定盤２０方向に移動することができれば、特に限
定されず、本実施形態では、例えば、図１に示すよう
に、押圧用駆動モータ６１の回転を複数の歯車６２等を
介してアーム部５２の移動方向にスライド移動させるも
のを挙げることができる。
を研磨定盤２０方向に移動することができれば、特に限
定されず、本実施形態では、例えば、図１に示すよう
に、押圧用駆動モータ６１の回転を複数の歯車６２等を
介してアーム部５２の移動方向にスライド移動させるも
のを挙げることができる。
【００５４】また、押圧手段６０には、本実施形態で
は、治具盤４０に固定された棒状部材Ｗを研磨部材２１
に押圧する圧力データを検出するロードセル等の圧力検
出手段６３が設けられている。この圧力検出手段は６３
の設置位置は、例えば、支持部５１に設ける等、治具盤
４０に固定された棒状部材Ｗを研磨部材２１に押圧する
圧力データを検出できる位置であれば特に限定されな
い。
は、治具盤４０に固定された棒状部材Ｗを研磨部材２１
に押圧する圧力データを検出するロードセル等の圧力検
出手段６３が設けられている。この圧力検出手段は６３
の設置位置は、例えば、支持部５１に設ける等、治具盤
４０に固定された棒状部材Ｗを研磨部材２１に押圧する
圧力データを検出できる位置であれば特に限定されな
い。
【００５５】この圧力検出手段６３が検出した圧力デー
タに応じて押圧手段６０は、アーム部５２を移動させて
治具盤４０に保持された棒状部材Ｗの先端面を所望の圧
力で研磨部材２１に当接することができる。
タに応じて押圧手段６０は、アーム部５２を移動させて
治具盤４０に保持された棒状部材Ｗの先端面を所望の圧
力で研磨部材２１に当接することができる。
【００５６】これにより、棒状部材Ｗの先端面に研磨傷
等の発生を防止して、高精度な研磨を行うことができ
る。
等の発生を防止して、高精度な研磨を行うことができ
る。
【００５７】また、保持手段５０の装置本体１０に設け
られた支持部５１には、研磨の際に棒状部材Ｗに対して
ゼロｇからの研磨荷重がかけられるように、図示しな
い、支持部５１に移動自在に保持されたアーム部５２と
治具盤４０とを合わせた荷重がキャンセルされるバネ等
による支持構造を有している。
られた支持部５１には、研磨の際に棒状部材Ｗに対して
ゼロｇからの研磨荷重がかけられるように、図示しな
い、支持部５１に移動自在に保持されたアーム部５２と
治具盤４０とを合わせた荷重がキャンセルされるバネ等
による支持構造を有している。
【００５８】また、保持手段５０のアーム部５２の研磨
定盤２０に対向する領域には、距離検出手段７０が固定
されている。
定盤２０に対向する領域には、距離検出手段７０が固定
されている。
【００５９】距離検出手段７０は、研磨中又は研磨定盤
２０の回転中に、装置本体１０に研磨定盤２０の回転方
向に対して垂直方向への移動がない基準位置を設け、そ
の基準位置から治具盤４０の所定位置、又は棒状部材の
長さの変化と同時に変化する位置の変化量を検出するも
のである。例えば、治具盤４０の所定位置と、基準位置
として研磨定盤２０の所定位置との相対的な距離データ
を検出するものであり、本実施形態では、アーム部５２
は治具盤４０に保持されていることから、治具盤４０の
所定位置をアーム部５２とし、研磨定盤２０に検出リン
グ２２が固定されていることから、研磨定盤２０の所定
位置を検出リング２２とした。
２０の回転中に、装置本体１０に研磨定盤２０の回転方
向に対して垂直方向への移動がない基準位置を設け、そ
の基準位置から治具盤４０の所定位置、又は棒状部材の
長さの変化と同時に変化する位置の変化量を検出するも
のである。例えば、治具盤４０の所定位置と、基準位置
として研磨定盤２０の所定位置との相対的な距離データ
を検出するものであり、本実施形態では、アーム部５２
は治具盤４０に保持されていることから、治具盤４０の
所定位置をアーム部５２とし、研磨定盤２０に検出リン
グ２２が固定されていることから、研磨定盤２０の所定
位置を検出リング２２とした。
【００６０】このような距離検出手段７０は、変位セン
サ７１と、変位センサ７１の研磨定盤２０との距離を調
整する調整手段７２とを具備する。
サ７１と、変位センサ７１の研磨定盤２０との距離を調
整する調整手段７２とを具備する。
【００６１】変位センサ７１は、その検出面となる先端
面が検出対象物である検出リング２２の上面に相対向す
る位置に設けられており、検出リング２２の上面に接触
しない、光学式、電磁式等の非接触型センサや、検出リ
ング２２の上面に接触する接触型センサ等を挙げること
ができる。
面が検出対象物である検出リング２２の上面に相対向す
る位置に設けられており、検出リング２２の上面に接触
しない、光学式、電磁式等の非接触型センサや、検出リ
ング２２の上面に接触する接触型センサ等を挙げること
ができる。
【００６２】本実施形態では、変位センサ７１の内部の
コイルに高周波電流を流して高周波磁界を発生させ、検
査対象物の表面に磁束の通過と垂直方向の渦電流を流し
てコイルのインピーダンスを変化させて、発振状態の変
化により検査対象物との距離を検出することができる渦
電流式変位センサとした。
コイルに高周波電流を流して高周波磁界を発生させ、検
査対象物の表面に磁束の通過と垂直方向の渦電流を流し
てコイルのインピーダンスを変化させて、発振状態の変
化により検査対象物との距離を検出することができる渦
電流式変位センサとした。
【００６３】なお、変位センサ７１は、棒状部材Ｗを研
磨することによって移動した治具盤４０の微少な移動量
を距離データとして検出するため、検出対象物との距離
が１ｍｍ以下の変化量の検出ができるものが好ましい。
本実施形態の渦電流式変位センサからなる変位センサで
は、１μｍの変位量を検出することができるため、治具
盤４０の微少な距離の変化量を検出することができる。
磨することによって移動した治具盤４０の微少な移動量
を距離データとして検出するため、検出対象物との距離
が１ｍｍ以下の変化量の検出ができるものが好ましい。
本実施形態の渦電流式変位センサからなる変位センサで
は、１μｍの変位量を検出することができるため、治具
盤４０の微少な距離の変化量を検出することができる。
【００６４】また、この変位センサ７１は、検出面であ
る先端面と検出リング２２との距離を調整できるよう
に、複数のねじ部材７３によってアーム部５２と研磨定
盤２０との間に移動自在に設けられている。また、ねじ
部材７３の外周面には付勢ばね７４が設けられており、
付勢ばね７４によって変位センサ７１は、アーム部５２
側に付勢された状態で保持されている。
る先端面と検出リング２２との距離を調整できるよう
に、複数のねじ部材７３によってアーム部５２と研磨定
盤２０との間に移動自在に設けられている。また、ねじ
部材７３の外周面には付勢ばね７４が設けられており、
付勢ばね７４によって変位センサ７１は、アーム部５２
側に付勢された状態で保持されている。
【００６５】一方、調整手段７２は、例えば、マイクロ
メータヘッド等からなり、アーム部５２に固定されて変
位する先端面が変位センサ７１に当接するように設けら
れている。
メータヘッド等からなり、アーム部５２に固定されて変
位する先端面が変位センサ７１に当接するように設けら
れている。
【００６６】この調整手段７２によって、変位センサ７
１を付勢ばね７４の付勢力に抗して押圧することで、変
位センサ７１の研磨定盤２０からの距離、実際には検出
リング２２の上面との距離を調整することができる。
１を付勢ばね７４の付勢力に抗して押圧することで、変
位センサ７１の研磨定盤２０からの距離、実際には検出
リング２２の上面との距離を調整することができる。
【００６７】ここで、棒状部材Ｗの研磨を行うと、距離
検出手段７０は棒状部材Ｗの研磨した量分、治具盤４０
及びアーム部５２と共に研磨定盤２０に向かって移動
し、アーム部５２と検出リング２２の上面との距離デー
タを検出することができる。この距離データに基づい
て、棒状部材Ｗの実質的な研磨長さを容易に算出するこ
とができる。また、距離検出手段７０は、治具盤４０の
所定位置と研磨定盤２０の所定位置との距離データを検
出するため、棒状部材Ｗの研磨加工中であっても棒状部
材Ｗの実質的な研磨長さを容易に且つ確実に算出するこ
とができる。
検出手段７０は棒状部材Ｗの研磨した量分、治具盤４０
及びアーム部５２と共に研磨定盤２０に向かって移動
し、アーム部５２と検出リング２２の上面との距離デー
タを検出することができる。この距離データに基づい
て、棒状部材Ｗの実質的な研磨長さを容易に算出するこ
とができる。また、距離検出手段７０は、治具盤４０の
所定位置と研磨定盤２０の所定位置との距離データを検
出するため、棒状部材Ｗの研磨加工中であっても棒状部
材Ｗの実質的な研磨長さを容易に且つ確実に算出するこ
とができる。
【００６８】このため、棒状部材Ｗの研磨量の制御を容
易に且つ確実に行うことができると共に研磨加工時間を
短縮することができる。
易に且つ確実に行うことができると共に研磨加工時間を
短縮することができる。
【００６９】なお、棒状部材Ｗの研磨中では、研磨定盤
２０が回転及び揺動することで、検出リング２２の上面
と変位センサ７１の先端面とを連続して相対向させるこ
とはできないが、検出データを連続して取得し、最も小
さな値の検出データを用いれば、変位センサ７１と検出
リング２２とが互いに相対向した際の検出データとする
ことができる。
２０が回転及び揺動することで、検出リング２２の上面
と変位センサ７１の先端面とを連続して相対向させるこ
とはできないが、検出データを連続して取得し、最も小
さな値の検出データを用いれば、変位センサ７１と検出
リング２２とが互いに相対向した際の検出データとする
ことができる。
【００７０】以下、本実施形態の端面研磨装置の制御系
について詳細に説明する。なお、図４は、端面研磨装置
の制御ブロック図である。
について詳細に説明する。なお、図４は、端面研磨装置
の制御ブロック図である。
【００７１】図４に示すように、制御部１００は、圧力
測定手段１１０と計測手段１２０とを具備する。
測定手段１１０と計測手段１２０とを具備する。
【００７２】圧力計測手段１１０は、押圧手段６０に設
けられた圧力検出手段６３が検出した圧力データに基づ
いて棒状部材Ｗの研磨部材２１に押圧された圧力を測定
する。
けられた圧力検出手段６３が検出した圧力データに基づ
いて棒状部材Ｗの研磨部材２１に押圧された圧力を測定
する。
【００７３】制御部１００は、この圧力測定手段１１０
が取得した圧力によって、押圧手段６０を制御して所定
の圧力で棒状部材Ｗが研磨部材２１に押圧されるように
制御することができる。これにより、棒状部材Ｗの先端
面に研磨傷等の発生を防止して高精度に研磨することが
できる。
が取得した圧力によって、押圧手段６０を制御して所定
の圧力で棒状部材Ｗが研磨部材２１に押圧されるように
制御することができる。これにより、棒状部材Ｗの先端
面に研磨傷等の発生を防止して高精度に研磨することが
できる。
【００７４】また、計測手段１２０は、距離検出手段７
０の変位センサ７１が検出した検出リング２２との距離
データに基づいて、棒状部材Ｗの実質的な研磨長さを計
測するものである。
０の変位センサ７１が検出した検出リング２２との距離
データに基づいて、棒状部材Ｗの実質的な研磨長さを計
測するものである。
【００７５】この計測手段１２０が計測する棒状部材Ｗ
の実質的な研磨長さとは、棒状部材Ｗの研磨した量であ
ってもよく、また、棒状部材Ｗの全長であってもよい。
の実質的な研磨長さとは、棒状部材Ｗの研磨した量であ
ってもよく、また、棒状部材Ｗの全長であってもよい。
【００７６】例えば、棒状部材Ｗの全長を計測する場合
は、治具盤４０の厚さ及び棒状部材Ｗの治具盤４０底面
からの突出量などから棒状部材Ｗの研磨前の全長を取得
すると共に棒状部材Ｗを研磨した量を取得すれば、棒状
部材Ｗの研磨中や研磨後の全長を容易に算出することが
できる。
は、治具盤４０の厚さ及び棒状部材Ｗの治具盤４０底面
からの突出量などから棒状部材Ｗの研磨前の全長を取得
すると共に棒状部材Ｗを研磨した量を取得すれば、棒状
部材Ｗの研磨中や研磨後の全長を容易に算出することが
できる。
【００７７】また、例えば、研磨部材２１として研磨定
盤２０上に直接、研磨シートを設けた場合には、棒状部
材Ｗの研磨部材２１に押圧する圧力によって、距離検出
手段７０が検出する検出リング２２の上面と棒状部材Ｗ
の研磨部材２１に当接する面との距離は変化しないが、
例えば、研磨部材２１として、弾性部材及び研磨シート
を用いた場合には、棒状部材Ｗを研磨部材２１に押圧す
る圧力によって、弾性部材の弾性変形量が変化してしま
うため、距離検出手段７０の検出する検出リング２２の
上面と棒状部材Ｗが研磨部材２１に当接する面との距離
が変化してしまう。
盤２０上に直接、研磨シートを設けた場合には、棒状部
材Ｗの研磨部材２１に押圧する圧力によって、距離検出
手段７０が検出する検出リング２２の上面と棒状部材Ｗ
の研磨部材２１に当接する面との距離は変化しないが、
例えば、研磨部材２１として、弾性部材及び研磨シート
を用いた場合には、棒状部材Ｗを研磨部材２１に押圧す
る圧力によって、弾性部材の弾性変形量が変化してしま
うため、距離検出手段７０の検出する検出リング２２の
上面と棒状部材Ｗが研磨部材２１に当接する面との距離
が変化してしまう。
【００７８】このため、計測手段１２０は、圧力測定手
段１１０が測定した棒状部材Ｗの押圧力及び弾性部材の
弾性係数などから研磨部材２１の弾性変形量を算出する
ことで、棒状部材Ｗの研磨量又は棒状部材Ｗの全長等を
高精度に算出することができる。
段１１０が測定した棒状部材Ｗの押圧力及び弾性部材の
弾性係数などから研磨部材２１の弾性変形量を算出する
ことで、棒状部材Ｗの研磨量又は棒状部材Ｗの全長等を
高精度に算出することができる。
【００７９】なお、計測手段１２０は、棒状部材Ｗが研
磨部材２１に所定の圧力で押圧された際、すなわち、圧
力測定手段１１０が取得した圧力が所定の圧力となった
場合のみに、棒状部材Ｗの研磨量又は棒状部材Ｗの全長
等を算出するようにしてもよい。
磨部材２１に所定の圧力で押圧された際、すなわち、圧
力測定手段１１０が取得した圧力が所定の圧力となった
場合のみに、棒状部材Ｗの研磨量又は棒状部材Ｗの全長
等を算出するようにしてもよい。
【００８０】このように計測手段１２０は、距離検出手
段７０が検出した距離データに基づいて棒状部材Ｗの微
少な研磨長さを高精度に計測することができる。
段７０が検出した距離データに基づいて棒状部材Ｗの微
少な研磨長さを高精度に計測することができる。
【００８１】これにより、棒状部材Ｗの研磨量を高精度
に制御することができる。
に制御することができる。
【００８２】また、計測手段１２０は、圧力測定手段１
１０が取得した棒状部材Ｗの研磨部材２１に押圧される
圧力などから棒状部材Ｗの先端面の位置を算出すること
によって、さらに棒状部材Ｗの高精度な研磨量を計測す
ることができる。
１０が取得した棒状部材Ｗの研磨部材２１に押圧される
圧力などから棒状部材Ｗの先端面の位置を算出すること
によって、さらに棒状部材Ｗの高精度な研磨量を計測す
ることができる。
【００８３】なお、計測手段１２０が測定した棒状部材
Ｗの実質的な研磨長さが所定の値となった場合に、制御
部１００が押圧手段６０を制御することで、押圧を中止
させるようにしてもよく、また、押圧手段６０を逆転さ
せて治具盤４０を研磨定盤２０から離れる方向に移動す
るようにしてもよい。
Ｗの実質的な研磨長さが所定の値となった場合に、制御
部１００が押圧手段６０を制御することで、押圧を中止
させるようにしてもよく、また、押圧手段６０を逆転さ
せて治具盤４０を研磨定盤２０から離れる方向に移動す
るようにしてもよい。
【００８４】また、制御部１００は、駆動手段３０を制
御することによって研磨定盤２０の回転数を制御して、
棒状部材Ｗの高精度な研磨を行うことができる。
御することによって研磨定盤２０の回転数を制御して、
棒状部材Ｗの高精度な研磨を行うことができる。
【００８５】（他の実施形態）以上、本発明の実施形態
１を説明したが、端面研磨装置及び研磨方法の基本的構
成は、上述したものに限定されるものではない。
１を説明したが、端面研磨装置及び研磨方法の基本的構
成は、上述したものに限定されるものではない。
【００８６】例えば、上述した実施形態１では、距離検
出手段７０を保持手段５０のアーム部５２に固定し、距
離検出手段７０が研磨定盤２０上の検出リング２２との
距離データを検出するようにしたが、特にこれに限定さ
れず、例えば、距離検出手段が装置本体との距離データ
を検出するようにしてもよく、また、距離検出手段を装
置本体に設け、距離検出手段がアーム部の高さを検出す
るようにしてもよい。つまり、研磨定盤の回転方向に対
して垂直方向への移動がない基準位置から、治具盤の位
置、又は棒状部材の長さの変化と同時に変化する位置の
変化量を検出することができればよい。
出手段７０を保持手段５０のアーム部５２に固定し、距
離検出手段７０が研磨定盤２０上の検出リング２２との
距離データを検出するようにしたが、特にこれに限定さ
れず、例えば、距離検出手段が装置本体との距離データ
を検出するようにしてもよく、また、距離検出手段を装
置本体に設け、距離検出手段がアーム部の高さを検出す
るようにしてもよい。つまり、研磨定盤の回転方向に対
して垂直方向への移動がない基準位置から、治具盤の位
置、又は棒状部材の長さの変化と同時に変化する位置の
変化量を検出することができればよい。
【００８７】さらに、距離検出手段は、非接触型センサ
又は接触型センサに限定されず、例えば、距離検出手段
を押圧手段６０の押圧用駆動モータ６１の回転量を検出
するエンコーダとしてもよい。このような場合には、計
測手段１２０がエンコーダの回転量から治具盤４０の移
動量を検出するようにすればよい。
又は接触型センサに限定されず、例えば、距離検出手段
を押圧手段６０の押圧用駆動モータ６１の回転量を検出
するエンコーダとしてもよい。このような場合には、計
測手段１２０がエンコーダの回転量から治具盤４０の移
動量を検出するようにすればよい。
【００８８】なお、距離検出手段を押圧用駆動モータ６
１の回転量を検出するエンコーダとした場合には、バッ
クラッシが生じないような歯車で駆動する必要がある。
１の回転量を検出するエンコーダとした場合には、バッ
クラッシが生じないような歯車で駆動する必要がある。
【００８９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、治具
盤と研磨定盤との相対位置を検出する距離検出手段と距
離検出手段が検出した相対位置に基づいて棒状部材の研
磨長さを計測する計測手段とを設けるようにしたため、
棒状部材を研磨加工中であっても、棒状部材の研磨長さ
を計測して研磨量を高精度に制御することができる。ま
た、これにより研磨加工時間を短縮することができる。
盤と研磨定盤との相対位置を検出する距離検出手段と距
離検出手段が検出した相対位置に基づいて棒状部材の研
磨長さを計測する計測手段とを設けるようにしたため、
棒状部材を研磨加工中であっても、棒状部材の研磨長さ
を計測して研磨量を高精度に制御することができる。ま
た、これにより研磨加工時間を短縮することができる。
【図１】本発明の実施形態１に係る端面研磨装置の要部
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る端面研磨装置の要部
上面図である。
上面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る治具盤及び保持手段
の斜視図及び要部断面図である。
の斜視図及び要部断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る制御系を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
１０ 装置本体
２０ 研磨定盤
２１ 研磨部材
２２ 検出リング
３０ 駆動手段
４０ 治具盤
５０ 保持手段
６０ 押圧手段
６３ 圧力検出手段
７０ 距離検出手段
７１ 変位センサ
７２ 調整手段
１００ 制御部
１１０ 圧力測定手段
１２０ 計測手段
Ｗ 棒状部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2H038 AA21 CA22
3C034 AA08 AA13 BB92 CA02 CA13
CB03
3C049 AA07 AB04 AC02 CB01
Claims (16)
- 【請求項１】 装置本体に設けられて回転及び揺動自在
に支持された研磨定盤に装着された研磨部材により、治
具盤に装着された棒状部材を押しつけて研磨する端面研
磨装置において、 研磨中又は前記研磨定盤の回転中において、前記研磨定
盤の回転方向に対して垂直な方向への移動がない基準位
置から、前記治具盤の位置、又は前記棒状部材の長さの
変化と同時に変化する位置の変化量を検出する距離検出
手段を具備することを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の端面研磨装置におい
て、前記距離検出手段が、前記治具盤と前記研磨定盤と
の相対的な位置を検出することを特徴とする端面研磨装
置。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の端面研磨装置に
おいて、前記距離検出手段によって検出された位置から
前記治具盤に保持された前記棒状部材の実質的な研磨長
さを計測する計測手段とを具備することを特徴とする端
面研磨装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の端面研磨装置におい
て、前記距離検出手段が前記治具盤と共に移動する所定
位置と、前記研磨定盤の所定位置との距離を検出するこ
とを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項５】 請求項１〜４の何れか一項に記載の端面
研磨装置において、前記装置本体には、前記治具盤を保
持すると共に前記研磨定盤方向に移動自在に設けられた
保持手段と、該保持手段を前記研磨定盤方向に所定の圧
力で押圧する押圧手段とを具備することを特徴とする端
面研磨装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の端面研磨装置におい
て、前記距離検出手段が前記保持手段に固定され、前記
保持手段の移動による前記治具盤の移動に伴って当該距
離検出手段も移動することを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項７】 請求項１〜６の何れか一項に記載の端面
研磨装置において、前記装置本体には、前記治具盤の保
持した前記棒状部材を前記研磨部材に押圧する圧力を検
出する圧力検出手段を具備し、該圧力検出手段が所定の
圧力を検出した際に前記計測手段が前記棒状部材の研磨
長さを計測することを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項８】 請求項１〜７の何れか一項に記載の端面
研磨装置において、前記距離検出手段が、接触型又は非
接触型のセンサであることを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項９】 請求項１〜８の何れか一項に記載の端面
研磨装置において、前記距離検出手段が前記棒状部材の
実質的な研磨長さの１ｍｍ以下の変位量を検出すること
ができるものであることを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項１０】 請求項１〜９の何れか一項に記載の端
面研磨装置において、前記治具盤が前記棒状部材を複数
保持し、前記研磨部材によって複数本の棒状部材を同時
に研磨することを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項１１】 請求項１〜１０の何れか一項に記載の
端面研磨装置において、前記棒状部材がフェルールであ
ることを特徴とする端面研磨装置。 - 【請求項１２】 回転及び揺動自在に保持された研磨定
盤に装着された研磨部材により、治具盤に装着された棒
状部材を押しつけて研磨する端面研磨方法において、研
磨中又は前記研磨定盤の回転中において、前記研磨定盤
の回転方向に対して垂直な方向への移動がない基準位置
から、前記治具盤の位置、又は前記棒状部材の長さの変
化と同時に変化する位置の変化量を検出することで前記
棒状部材の研磨長さを計測しながら研磨することを特徴
とする端面研磨方法。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の端面研磨方法にお
いて、前記研磨は前記治具盤と前記研磨定盤との相対的
な位置を検出することで前記棒状部材の研磨長さを計測
しながら研磨することを特徴とする端面研磨方法。 - 【請求項１４】 請求項１２に記載の端面研磨方法にお
いて、前記治具盤の保持した前記棒状部材を前記研磨部
材に押圧する圧力を検出し、検出した圧力が所定の圧力
の場合に、前記研磨長さを測定することを特徴とする端
面研磨方法。 - 【請求項１５】 請求項１２〜１４の何れか一項に記載
の端面研磨方法において、前記治具盤を前記研磨定盤方
向に移動すると共に計測した前記棒状部材の研磨長さが
所定の長さとなった際に、前記治具盤の移動を停止する
ことを特徴とする端面研磨方法。 - 【請求項１６】 請求項１２〜１５の何れか一項に記載
の端面研磨方法において、前記治具盤を前記研磨定盤方
向に移動すると共に計測した前記棒状部材の研磨長さが
所定の長さとなった際に、前記治具盤を前記研磨定盤と
は反対側へ移動することを特徴とする端面研磨方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002072708A JP2003266305A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 端面研磨装置及び端面研磨方法 |
| US10/385,185 US6755719B2 (en) | 2002-03-15 | 2003-03-10 | End surface polishing device and end surface polishing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002072708A JP2003266305A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 端面研磨装置及び端面研磨方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003266305A true JP2003266305A (ja) | 2003-09-24 |
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ID=28035187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002072708A Pending JP2003266305A (ja) | 2002-03-15 | 2002-03-15 | 端面研磨装置及び端面研磨方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2003266305A (ja) |
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- 2002-03-15 JP JP2002072708A patent/JP2003266305A/ja active Pending
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2003
- 2003-03-10 US US10/385,185 patent/US6755719B2/en not_active Expired - Fee Related
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