JP4398255B2 - アナログプローブ - Google Patents
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Description
ハウジングと、
スタイラスを取り付け可能で、前記ハウジングに対して移動可能な部材であって、その移動が前記スタイラスの移動によって生じるようにされた部材と、
該部材の前記ハウジングに対する移動を測定するための第1トランスジューサと、
プローブの特性または前記プローブとこれに隣接する表面との関係を測定する第2トランスジューサと、を具え、
前記部材が前記ハウジングに対する規定のレスト位置に位置づけ可能であるとともに、
該規定のレスト位置に前記部材が位置づけられたときに、前記第1トランスジューサがロックされるとともに、前記第2トランスジューサはロックされないようにした測定装置用デュアルトランスジューサプローブが提供される。
ハウジングと、
スタイラスを取り付け可能で、前記ハウジングに対して移動可能な部材であって、その移動が前記スタイラスの移動によって生じるようにされた部材と、を具え、
前記部材および前記ハウジングまたはこれが接続される本体にはそれぞれ相補的な位置づけエレメントが設けられ、
前記部材および前記本体の一方が、少なくとも2軸についての前記ハウジングに対する規定のレスト位置に前記部材を保持する位置に、一軸に沿ってバイアスまたは駆動可能となるようにし、前記規定のレスト位置が前記位置づけエレメントによって規定されるものである測定装置用アナログプローブが提供される。
前記ハウジングに対する規定のレスト位置に前記部材を保持する位置に、前記部材および前記本体の一方をバイアスまたは駆動する工程と、
前記トランスジューサの読みをディジタル化回路に出力して、該ディジタル化回路のディジタルカウンタをゼロにセットする工程と、
を具える方法が提供される。
Claims (9)
- 測定装置に用いられる測定プローブであって、
ハウジングと、
スタイラスを取り付け可能で、前記ハウジングに対して移動可能な部材であって、その移動が前記スタイラスの移動によって生じるようにされた部材と、
該部材の前記ハウジングに対する変位を測定するための第1トランスジューサシステムと、
前記測定プローブの特性または前記測定プローブとこれに隣接する表面との空間的な関係を測定する第2トランスジューサシステムと、を具え、
前記部材が前記ハウジングに対する基準位置に位置づけられて拘束可能であるとともに、
該基準位置に前記部材が位置づけられて拘束されたときに、前記第1トランスジューサシステムが前記変位の測定には用いられず、前記第2トランスジューサシステムのみが前記特性または前記空間的な関係の測定に用いられ得るようにした測定プローブ。 - 前記部材は第1の位置づけエレメントを具え、前記ハウジングは第2の位置づけエレメントを具え、前記第1の位置づけエレメントは前記第2の位置づけエレメントに対して係合可能であり、前記第1の位置づけエレメントの前記第2の位置づけエレメントに対する当該係合よって、前記ハウジングに対する前記部材の前記基準位置が提供される請求項1に係る測定プローブ。
- 前記部材は、一軸に沿って、前記ハウジングに対し前記部材が前記基準位置に保持される位置にバイアスまたは駆動可能である請求項2に係る測定プローブ。
- 前記第2トランスジューサシステムがタッチトリガ信号を生成する請求項1ないし請求項3のいずれかに係る測定プローブ。
- 前記第2トランスジューサシステムが前記部材に対する前記スタイラスの先端の横方向の変位を測定する請求項1ないし請求項3のいずれかに係る測定プローブ。
- 前記第2のトランスジューサシステムが非接触型のトランスジューサシステムである請求項1ないし請求項3のいずれかに係る測定プローブ。
- 前記部材が前記基準位置に位置づけられたとき、その移動が3次元において制約される請求項1ないし請求項6のいずれかに係る測定プローブ。
- 前記基準位置が、前記ハウジングに対する前記部材の移動のすべての自由度が拘束される、運動学的に規定される位置である請求項1ないし請求項7のいずれかに係る測定プローブ。
- 前記部材は第1の位置づけエレメントを具え、前記ハウジングは第2の位置づけエレメントを具えた本体を含み、前記第1の位置づけエレメントは前記第2の位置づけエレメントに対して係合可能であり、前記本体は前記部材に向けてバイアスまたは駆動されることが可能であり、これによって前記第1の位置づけエレメントの前記第2の位置づけエレメントに対する係合が生じ、前記ハウジングに対する前記部材の前記基準位置が提供される請求項1に係る測定プローブ。
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DE102004035926A1 (de) * | 2004-07-23 | 2006-03-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Tastkopf |
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DE202007012868U1 (de) * | 2007-09-14 | 2007-12-06 | The Gleason Works Corp. | Schlittenanordnung für eine Werkzeugmaschine |
US8160952B1 (en) | 2008-02-12 | 2012-04-17 | Pricelock, Inc. | Method and system for providing price protection related to the purchase of a commodity |
GB201007186D0 (en) * | 2010-04-30 | 2010-06-09 | Renishaw Plc | Changeable task module counterweight |
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GB201316329D0 (en) * | 2013-09-13 | 2013-10-30 | Renishaw Plc | A Method of Using a scanning probe |
ES2709057T3 (es) * | 2016-04-18 | 2019-04-15 | Hexagon Metrology Gmbh | Dispositivo de medición de coordenadas con un cabezal de medición, así como procedimiento para medir una pieza de trabajo con un dispositivo de medición de coordenadas |
DE102020113401A1 (de) * | 2020-05-18 | 2021-11-18 | Haimer Gmbh | Kupplungselement zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Schraubeinsatz zur Aufnahme einer Tastspitze in einem Tastmessgerät, Kupplungsanordnung für einen Tasteinsatz bei einem Tastmessgerät, Tastmessgerät(-e) |
JP7530272B2 (ja) * | 2020-11-06 | 2024-08-07 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置および異常検出方法 |
CN112757631B (zh) * | 2020-12-21 | 2022-11-11 | 深圳市创想三维科技股份有限公司 | 一种3d打印机的自动调平装置及3d打印机 |
Family Cites Families (25)
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---|---|---|---|---|
US3571934A (en) * | 1968-06-24 | 1971-03-23 | Lockheed Aircraft Corp | Three-axis inspection probe |
DE2242355C2 (de) | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
GB1551218A (en) | 1975-05-13 | 1979-08-22 | Rolls Royce | Probe for use in displacement measuring apparatus |
US4158919A (en) * | 1976-03-24 | 1979-06-26 | Rolls-Royce Limited | Apparatus for measuring displacement in at least two orthogonal dimensions |
IT1088539B (it) * | 1976-12-24 | 1985-06-10 | Rolls Royce | Sonda per l'uso in apparecchi di misura |
IT1156686B (it) * | 1982-10-18 | 1987-02-04 | Finike Italiana Marposs | Testa per il controllo di dimensioni lineari |
JPS6150007A (ja) * | 1984-08-18 | 1986-03-12 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 表面形状測定用トレ−サ |
JPH0617766B2 (ja) * | 1984-08-23 | 1994-03-09 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プロ−ブ |
GB8431746D0 (en) | 1984-12-17 | 1985-01-30 | Renishaw Plc | Contact-sensing probe |
GB8610087D0 (en) * | 1986-04-24 | 1986-05-29 | Renishaw Plc | Probe |
US4916339A (en) | 1986-09-03 | 1990-04-10 | Renishaw Plc | Signal processing for contact-sensing probe |
GB8728500D0 (en) | 1987-12-05 | 1988-01-13 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
CH680385A5 (ja) * | 1989-10-04 | 1992-08-14 | Hans Meyer | |
US5209131A (en) * | 1989-11-03 | 1993-05-11 | Rank Taylor Hobson | Metrology |
GB9001682D0 (en) * | 1990-01-25 | 1990-03-28 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
US5390423A (en) | 1991-01-22 | 1995-02-21 | Renishaw Plc | Analogue probe |
GB9106731D0 (en) * | 1991-03-28 | 1991-05-15 | Renishaw Metrology Ltd | Touch probe |
US5327657A (en) * | 1991-07-11 | 1994-07-12 | Renishaw Metrology Ltd. | Touch probe |
DE4228018C2 (de) * | 1992-08-24 | 1994-11-24 | Haff & Schneider Werkzeug Und | Mehrkoordinaten-Tastmeßgerät |
ATE199042T1 (de) * | 1995-03-10 | 2001-02-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-tastkopf mit gleichen auslenkungen |
US5979070A (en) * | 1997-12-19 | 1999-11-09 | Lau; Kam C. | Method and apparatus for selectively locking a movement direction of a coordinate measurement probe |
GB9907644D0 (en) | 1999-04-06 | 1999-05-26 | Renishaw Plc | Surface sensing device with optical sensor |
GB9907643D0 (en) | 1999-04-06 | 1999-05-26 | Renishaw Plc | Measuring probe |
DE10100350A1 (de) * | 2001-01-05 | 2002-07-11 | Zeiss Carl | Tastkopf für ein Koordinatenmeßgerät |
JP3763124B2 (ja) * | 2001-05-31 | 2006-04-05 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブの信号処理装置および信号処理方法 |
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