JP2806431B2 - ウェーハ搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はウェーハ搬送装置に係わり、さらに詳細にい
えばウェーハ搬送装置におけるウェーハ求心機構に関す
る。

［従来技術］ ウェーハの検査等にあたっては、ウェーハを保管する
バスケットからこれを取り出し検査装置等に送込む必要
がある。この搬送には従来バスケットから取り出したウ
ェーハをベルトにのせて吸着ステージ上まで送りステー
ジにウェーハを吸着することが一般的であったが、発塵
等の問題から近時は気圧差を利用した吸着機構を有する
エアピンセットをマニピュレータによりウェーハ裏面の
一部を吸着したまま搬送する、いわゆるエアピンセット
方式の搬送装置が普及している。

これらの搬送機構において検査装置等にウェーハを送
込むに際しては、ウェーハの位置出しが必要とされる。
この位置出しを行う場合、一般的にはウェーハを載置す
るエアピンセット又はステージの吸着を一旦切ってウェ
ーハとエアピンセット又はステージとが相対的に移動可
能な状態で円形ウェーハの外径に一致する内径を持つ心
出しガイドをウェーハに押しあててウェーハの求心が行
われる。

［従来技術の問題転とその課題］ しかしながら、上記従来装置の心出し機構にはウェー
ハ裏面の損傷やそれに伴う発塵等の問題があった。

即ち、ガイドをウェーハに押しあてることによりウェ
ーハとエアピンセット又はステージとが相対的に移動す
る場合、ウェーハ下面とこれを載置しているエアピンセ
ット又はステージが擦れ合うために、エアピンセット又
はステージがセラミック，石英等の硬質材料であるとき
にはウェーハ裏面の損傷やそれに伴い発塵等の問題が生
じていた。これらの問題は良品率を向上ないし維持する
上において大きな問題となっていた。

本発明の目的は上記従来技術の欠点に鑑み、ウェーハ
裏面の損傷やそれに伴う発塵等の問題が生ぜず、ウェー
ハの品質管理に有用な心出し機構を有するウェーハ搬送
装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために本発明は、所定の位置に置
かれたウェーハを検査装置等の装置に受け渡すためのウ
ェーハ搬送装置において、ウェーハの中心を二次元的に
位置出しするために二次元的な移動規制を行う心出し用
ガイドと、ウェーハ吸着部を保持する保持部と該保持部
を移動してウェーハ吸着部を所定の位置に移動する移動
部とを持ち該保持部は前記心出し用ガイドに当接したウ
ェーハが受ける力により前記移動部に対して前記保持部
が独立に二次元的に移動する心出し誤差調節機構を持つ
搬送手段と、ウェーハの心出し完了時に該心出し誤差調
節機構の動作をロックするロック手段と、を持ち、前記
心出し用ガイドは前記搬送手段とは異なる位置に配置さ
れたウェーハ吸着後の搬送の途中で位置出しすることを
特徴とする。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

実施例１ 第１図は本発明の一実施例である心出し機構を説明す
るための構造図である。

１はオリエンテーションフラットを有するウェーハ、
2a,2bはウェーハ心出し用（求心用）ガイドでウェーハ
１の外径に略一致する内径を持っている。これはウェー
ハ１にはオリエンテーションフラットと称する部分があ
るのでこの部分がガイド2a,2bに接しても心出しが可能
なようにするためである。従って、外周部の変形を小さ
く押さえたウェーハの場合にはガイドの内径の自由度は
大きくなる。心出し時に心出し用ガイド2a,2bはウェー
ハ外周を左右方向から押す位置に移動する。

３はエアピンセットで、そこには吸引孔４が設けられ
ており、これによりウェーハを吸着固定する。

心出し時のウェーハの中心と心出し用ガイド2a,2bの
内径を結ぶ円の中心との位置づれは直動ガイドと送り体
とからなるいわゆるXYステージ機構5,6によりエアピン
セット３がウェーハ面に平行な平面方向に自由に移動す
ることによってこれを行う。

このXYステージ機構5,6は心出し終了時にはロック機
構（図示せず）によりロックされる。このロック機構は
例えば電磁ソレノイドにより押圧して自由度を失わすも
のでよい。

７はエアピンセット３を移動させるマニピュレータ部
で、本発明とは関係が薄いので図面上では単純な機構と
しているのがカム等を用いて複雑な動作をさせる機構と
することができる。

以上のような構成の実施例の動作を説明する。

マニピュレータ部７によりエアピンセット３をウェー
ハが収納されたバスケットまで移動し、真空引きされた
吸引孔４によりウェーハをエアピンセット３で吸着した
後、ウェーハを図示の求心位置に移動する。ウェーハが
求心位置に移動されたことを確認されると、２つのウェ
ーハ心出し用ガイド2a,2bはウェーハを挟むようにウェ
ーハ側に等量移動する。

求心による位置ずれはＸ方向Ｙ方向に弱い力で移動す
るXYステージ機構5,6によって吸引される。求心動作完
了とともにロック機構によりXYステージ機構5,6が動か
ないように固定される。その後、位置出し等を施して検
査装置等に受け渡す等の次の動作が行われる。

なお、これらの動作の全体はマイクロコンピュータ
（図示せず）等でコントロールする。

本実施例では心出し用ガイドは一対のものから構成さ
れているが、１つのものにすることができる。この場合
のガイドの内径の円弧の長さは充分とりエアピンセット
をガイドに押すようにする。

実施例２ 第２図は本発明の第２の実施例を示す構造図である。

第１の実施例との相違点は求心による位置ずれを吸収
する機構とウェーハ心出し用（求心用）ガイドの形状な
いし配置位置である。

本実施例ではエアピンセット３に吸着されたウェーハ
がマニピュレータで移動され、ウェーハ心出し用ガイド
8a,8bに押しつけられる。このときの位置づれはスライ
ド機構９と回転機構10によって吸収され、ウェーハの心
出しが行われる。

マニピュレータ７と心出し用ガイド8a,8bとは互いに
干渉しない位置に配置する。

第１の実施例および第２の実施例は共にエアピンセッ
ト方式のもので説明したが、搬送用ベルトと心出し用吸
着チャックを有するいわゆるベルト方式のものに対して
も吸着チャックをウェーハ面に平行な平面方向に自由に
移動することにより応用することができるのはいうまで
もない。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、ウェーハを吸着
させたままエアピンセット又はステージ等を移動するこ
とによって、正確に心出しを行うことができ、どこにで
も搬送することができる。

また、搬送に伴うウェーハの損傷やそれに伴う発塵等
の問題を小さくでき、良品率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である心出し機構を説明する
ための構造図、第２図は他の実施例を説明するための構
造図である。 １……ウェーハ 2a,2b……心出し用（求心用）ガイド ３……エアピンセット、４……吸着孔 5,6……XYステージ機構 ７……マニピュレータ部

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定の位置に置かれたウェーハを検査装置
   等の装置に受け渡すためのウェーハ搬送装置において、 ウェーハの中心を二次元的に位置出しするために二次元
   的な移動規制を行う心出し用ガイドと、 ウェーハ吸着部を保持する保持部と該保持部を移動して
   ウェーハ吸着部を所定の位置に移動する移動部とを持ち
   該保持部は前記心出し用ガイドに当接したウェーハが受
   ける力により前記移動部に対して前記保持部が独立に二
   次元的に移動する心出し誤差調節機構を持つ搬送手段
   と、 ウェーハの心出し完了時に該心出し誤差調節機構の動作
   をロックするロック手段と、を持ち、 前記心出し用ガイドは前記搬送手段とは異なる位置に配
   置されたウェーハ吸着後の搬送の途中で位置出しするこ
   とを特徴とするウェーハ搬送装置。