JPH04249337A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPH04249337A JPH04249337A JP3682991A JP3682991A JPH04249337A JP H04249337 A JPH04249337 A JP H04249337A JP 3682991 A JP3682991 A JP 3682991A JP 3682991 A JP3682991 A JP 3682991A JP H04249337 A JPH04249337 A JP H04249337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- wafer
- conveyed
- guide wheels
- dust particles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 30
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、ウエハー・
半導体等を生産する半導体製造装置における搬送装置に
関するものである。
半導体等を生産する半導体製造装置における搬送装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のウエハー搬送装置を示すも
ので、１ａは搬送前のウエハーであり、周辺装置からの
搬送手段によりベルト２ａ上に載置される。２ｂ〜２ｄ
は同じくベルトで、プーリ３ａ〜３ｆを各々連結してい
る。４ａ，４ｂは各々搬送完了の検出を行うセンサー、
５ａ，５ｂは各々搬送端にて位置決めを行うためのスト
ッパーで、スタンド６ａ，６ｂに各々装着されている。 ７はシャフトで、前記プーリ３ａ〜３ｅをその両端に装
着し、スタンド６ａ〜６ｄに回転自在に支持されている
。８は可変速モータプーリ、９はベースプレートである
。
ので、１ａは搬送前のウエハーであり、周辺装置からの
搬送手段によりベルト２ａ上に載置される。２ｂ〜２ｄ
は同じくベルトで、プーリ３ａ〜３ｆを各々連結してい
る。４ａ，４ｂは各々搬送完了の検出を行うセンサー、
５ａ，５ｂは各々搬送端にて位置決めを行うためのスト
ッパーで、スタンド６ａ，６ｂに各々装着されている。 ７はシャフトで、前記プーリ３ａ〜３ｅをその両端に装
着し、スタンド６ａ〜６ｄに回転自在に支持されている
。８は可変速モータプーリ、９はベースプレートである
。
【０００３】次に動作について説明する。外部よりの指
令を受けたモータ８が始動することにより、プーリ３ｆ
，ベルト２ｄを介してプーリ３ｅ，３ａが回転し始める
。この時ベルト２ａ上に載置されているウエハー１ａは
図の矢印Ｆ方向へ両者の摩擦力により搬送される。更に
搬送が進行し、ウエハー１ａはベルト２ｂを経て２ｃに
到達し、ストッパー５ｄにより定位置に位置決めされ、
１ｂの状態となる。この時センサー４ｂはウエハー１ｂ
を検出し、可変速モータ８へ停止指令を送り、該可変速
モータを停止させ、ウエハーの搬送を完了する。
令を受けたモータ８が始動することにより、プーリ３ｆ
，ベルト２ｄを介してプーリ３ｅ，３ａが回転し始める
。この時ベルト２ａ上に載置されているウエハー１ａは
図の矢印Ｆ方向へ両者の摩擦力により搬送される。更に
搬送が進行し、ウエハー１ａはベルト２ｂを経て２ｃに
到達し、ストッパー５ｄにより定位置に位置決めされ、
１ｂの状態となる。この時センサー４ｂはウエハー１ｂ
を検出し、可変速モータ８へ停止指令を送り、該可変速
モータを停止させ、ウエハーの搬送を完了する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造装置
のウエハー搬送装置は以上のように構成されているので
、左右の送り量のズレにより、ウエハーが進行方向に対
し横方向にズレを生じ、確実な搬送ができないばかりか
、ウエハーに直接ベルトを接触させているので、ベルト
に付着した多数の微少ダスト粒がウエハーに付着する等
の問題点があった。
のウエハー搬送装置は以上のように構成されているので
、左右の送り量のズレにより、ウエハーが進行方向に対
し横方向にズレを生じ、確実な搬送ができないばかりか
、ウエハーに直接ベルトを接触させているので、ベルト
に付着した多数の微少ダスト粒がウエハーに付着する等
の問題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点をを解消す
るためになされたもので、発塵を極少に抑え、ウエハー
への微少ダストの付着を抑止すると共に、ウエハーの搬
送形態として信頼性の高い搬送装置を得ることを目的と
する。
るためになされたもので、発塵を極少に抑え、ウエハー
への微少ダストの付着を抑止すると共に、ウエハーの搬
送形態として信頼性の高い搬送装置を得ることを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る搬送装置
は、ウエハーを載置するためのトレイを配置するととも
に、その進行方向を規正するためのガイドホイールをそ
の両端に複数対備え、このガイドホイールを磁化させて
前記トレイとの間に磁気吸着力を保有した状態で送るよ
うにしたものである。
は、ウエハーを載置するためのトレイを配置するととも
に、その進行方向を規正するためのガイドホイールをそ
の両端に複数対備え、このガイドホイールを磁化させて
前記トレイとの間に磁気吸着力を保有した状態で送るよ
うにしたものである。
【０００７】
【作用】この発明における搬送装置は、ガイドホイール
によりトレイの進路が規正され、またトレイによりベル
トからの微少ダストの付着が抑止され、更に磁気吸着力
によりトレイの始動時及び減速時におけるスリップを極
少に抑え、発塵を抑止する。
によりトレイの進路が規正され、またトレイによりベル
トからの微少ダストの付着が抑止され、更に磁気吸着力
によりトレイの始動時及び減速時におけるスリップを極
少に抑え、発塵を抑止する。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１，図２において、１〜９は上述の従来技術と
同一又は相当部分を示しているので説明は省略する。１
０はトレイで、ウエハー１ａを載置し、磁化されたガイ
ドホイール１１上に載置されている。このガイドホイー
ル１１は各シャフトの両端でプーリ３ａ〜３ｄの外側に
装着され、各々ガイドつば部１１ａを有し、同一回転運
動を行う。なお図２はトレイ１０の詳細を示す平面図ａ
及びそのＡ−Ａ断面図ｂで、長方形薄板構造を呈し、上
面にウエハーのズレ防止のための凹部１０ａを有し、か
つその底面にウエハー載置のための突起座１０ｂを有す
る。
する。図１，図２において、１〜９は上述の従来技術と
同一又は相当部分を示しているので説明は省略する。１
０はトレイで、ウエハー１ａを載置し、磁化されたガイ
ドホイール１１上に載置されている。このガイドホイー
ル１１は各シャフトの両端でプーリ３ａ〜３ｄの外側に
装着され、各々ガイドつば部１１ａを有し、同一回転運
動を行う。なお図２はトレイ１０の詳細を示す平面図ａ
及びそのＡ−Ａ断面図ｂで、長方形薄板構造を呈し、上
面にウエハーのズレ防止のための凹部１０ａを有し、か
つその底面にウエハー載置のための突起座１０ｂを有す
る。
【０００９】次に動作について説明する。外部よりの指
令を受けたモータ８が始動する事によりプーリ３ａが回
転し始めるが、この時同期してガイドホイール１１も回
転し始める。この際トレイ１０とガイドホイール１１と
の磁気吸着力により、滑り（スリップ）を生じる事なく
、トレイ１０は図の矢印Ｇの方向へ搬送される。更に搬
送が進行し、トレイは１０ｂの位置の直前より滑りを生
じる事なく減速し、ストッパー５ｂにより定位置に位置
決めされ、ウエハーは１ｂの状態となる。この時、セン
サー４ｂはトレイ１０ｂを検出し、可変速モータ８へ停
止指令を送り、該モータを停止させ、ウエハーの搬送を
完了する。なお矢印Ｇと逆方向への搬送においても同様
の動作となる。
令を受けたモータ８が始動する事によりプーリ３ａが回
転し始めるが、この時同期してガイドホイール１１も回
転し始める。この際トレイ１０とガイドホイール１１と
の磁気吸着力により、滑り（スリップ）を生じる事なく
、トレイ１０は図の矢印Ｇの方向へ搬送される。更に搬
送が進行し、トレイは１０ｂの位置の直前より滑りを生
じる事なく減速し、ストッパー５ｂにより定位置に位置
決めされ、ウエハーは１ｂの状態となる。この時、セン
サー４ｂはトレイ１０ｂを検出し、可変速モータ８へ停
止指令を送り、該モータを停止させ、ウエハーの搬送を
完了する。なお矢印Ｇと逆方向への搬送においても同様
の動作となる。
【００１０】上記実施例では、駆動用モータとして可変
速モータで説明したが、ステッピングモータ，サーボモ
ータ，インダクションモータであってもよい。また上記
実施例では、動力伝達手段としてベルトを用いたが、ベ
ルトの形状を問わず、またロープやチェーンでも良く、
上記実施例と同様の効果を奏する。また上記実施例では
、被搬送物をウエハーとしたが、他の電子部品でも良い
。
速モータで説明したが、ステッピングモータ，サーボモ
ータ，インダクションモータであってもよい。また上記
実施例では、動力伝達手段としてベルトを用いたが、ベ
ルトの形状を問わず、またロープやチェーンでも良く、
上記実施例と同様の効果を奏する。また上記実施例では
、被搬送物をウエハーとしたが、他の電子部品でも良い
。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、磁性
体であるトレイをウエハーと磁化されたガイドホイール
との間に装備したので、滑り（スリップ）による微少ダ
ストの発塵を抑制し、またウエーハへの搬送途中での微
少ダストの付着をも抑えると同時に、搬送装置として信
頼性の高いものが得られる効果がある。
体であるトレイをウエハーと磁化されたガイドホイール
との間に装備したので、滑り（スリップ）による微少ダ
ストの発塵を抑制し、またウエーハへの搬送途中での微
少ダストの付着をも抑えると同時に、搬送装置として信
頼性の高いものが得られる効果がある。
【図１】この発明の一実施例によるウエハー搬送装置を
示す平面図ａと正面図ｂである。
示す平面図ａと正面図ｂである。
【図２】トレイの平面図ａと同Ａ−Ａ断面図ｂである。
【図３】従来のウエハー搬送装置を示す平面図ａと正面
図ｂである。
図ｂである。
１ ウエハー
２ａ〜２ｄ ベルト
３ａ〜３ｆ プーリ
４ａ，４ｂ センサー
５ａ，５ｂ ストッパー
７ 軸
８ モータ
１０ トレイ
１１ ガイドホイール
Claims (1)
- 【請求項１】 水平に被搬送物を保持するための凹部
を有する長方形状の磁性体でなるトレイを備えるととも
に、このトレイの進行を規正するガイドつば部を有し該
トレイを載せて回転し順送りする複数のガイドホイール
を列設し、このガイドホイールを磁化させ、トレイとの
間に磁気吸着力を保有せしめた状態で搬送するようにし
たことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3682991A JPH04249337A (ja) | 1991-02-05 | 1991-02-05 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3682991A JPH04249337A (ja) | 1991-02-05 | 1991-02-05 | 搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249337A true JPH04249337A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=12480637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3682991A Pending JPH04249337A (ja) | 1991-02-05 | 1991-02-05 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249337A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007126703A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Dainippon Printing Co Ltd | 成膜装置 |
| JP2010118593A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Intevac Inc | 基板搬送処理装置及び方法 |
-
1991
- 1991-02-05 JP JP3682991A patent/JPH04249337A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007126703A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Dainippon Printing Co Ltd | 成膜装置 |
| JP4580860B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2010-11-17 | 大日本印刷株式会社 | 成膜装置 |
| JP2010118593A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Intevac Inc | 基板搬送処理装置及び方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1112216B1 (en) | Apparatus for separating and supplying cylindrical cans and method therefore | |
| JPH1111860A (ja) | 天井搬送装置及び天井搬送車 | |
| TW200814224A (en) | Substrate transmission apparatus and substrate transmission method | |
| JP2004307125A (ja) | 保管棚装置 | |
| JP7040500B2 (ja) | コンベヤシステム | |
| JPH04249337A (ja) | 搬送装置 | |
| US20050017440A1 (en) | Media registration mechanism for image forming device | |
| JPH05283895A (ja) | ベルト搬送装置 | |
| JP2521214B2 (ja) | 物品の搬送装置 | |
| JP2561061Y2 (ja) | ベルトコンベヤの接続装置 | |
| TW201801900A (zh) | 物品移載裝置 | |
| JP4253884B2 (ja) | シート状基板の分割方法 | |
| JP3325940B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JP3000046U (ja) | ガラス板の垂直搬送機構 | |
| JPH05186031A (ja) | 搬送装置 | |
| JP2511321Y2 (ja) | 収納容器搬送装置 | |
| JPH09150949A (ja) | 搬送方向変換装置 | |
| JPH0212939A (ja) | 半導体ウェーハの搬送装置 | |
| JPH0330363Y2 (ja) | ||
| JPH0223117A (ja) | 金属板の積載装置 | |
| JPS63291432A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH03143812A (ja) | 搬送装置 | |
| JP4294186B2 (ja) | 物品移載装置 | |
| JPH0199229A (ja) | 半導体ウェハーのベルト式搬送装置 | |
| JPH05186030A (ja) | 搬送装置 |