JPH0330363Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0330363Y2 JPH0330363Y2 JP1984064821U JP6482184U JPH0330363Y2 JP H0330363 Y2 JPH0330363 Y2 JP H0330363Y2 JP 1984064821 U JP1984064821 U JP 1984064821U JP 6482184 U JP6482184 U JP 6482184U JP H0330363 Y2 JPH0330363 Y2 JP H0330363Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- wafer
- belts
- pulleys
- pulley
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 39
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔技術分野〕
本考案は、半導体基板、フオトマスク等の板状
体（以下ウエハと云う）を、ベルト上に支持して
搬送するベルト搬送装置に関し、特に、搬送路上
で搬送方向を変更するための変更機構に関する。
体（以下ウエハと云う）を、ベルト上に支持して
搬送するベルト搬送装置に関し、特に、搬送路上
で搬送方向を変更するための変更機構に関する。
一般に、ベルト搬送装置の搬送路上で搬送方向
を変更する機構は、第４図及び第５図に示すよう
に、別個のループをなす搬送ベルト１，３，１′，
３′を、それぞれ軸７上のプーリ５，５′に巻回し
て、所望の搬送方向に方向修正したり（第４図）、
搬送ベルト２，４の所定箇所に、ベルト２，４を
曲折させるためのプーリ６，６′，８，８′を介在
させることにより、所望の搬送方向に方向修正し
たり（第５図）するものが知られている。これら
いずれの場合も、搬送ベルト１，１′，３，３′又
は２，４の両側に配設したガイドＧ，G′に、ウ
エハＷの周縁を当接させて、ウエハＷの搬送方向
を所望方向に修正するようにしている。
を変更する機構は、第４図及び第５図に示すよう
に、別個のループをなす搬送ベルト１，３，１′，
３′を、それぞれ軸７上のプーリ５，５′に巻回し
て、所望の搬送方向に方向修正したり（第４図）、
搬送ベルト２，４の所定箇所に、ベルト２，４を
曲折させるためのプーリ６，６′，８，８′を介在
させることにより、所望の搬送方向に方向修正し
たり（第５図）するものが知られている。これら
いずれの場合も、搬送ベルト１，１′，３，３′又
は２，４の両側に配設したガイドＧ，G′に、ウ
エハＷの周縁を当接させて、ウエハＷの搬送方向
を所望方向に修正するようにしている。
かかるガイドＧ，G′によるウエハＷの方向修
正は、搬送方向に対して横方向の力をウエハＷに
加えることとなり、これに伴い、ウエハＷを支持
するベルト１，１′，３，３′又は２，４にも、横
方向の力が加わるため、ベルト１，１′，３，
３′又は２，４が掛回されているプーリ５，５′又
は６，６′，８，８′から、ベルト１，１′，３，
３′又は２，４が外れ易く、搬送中のウエハＷを
損なつたり、ベルトを掛け直さなければならない
等、種々の問題があつた。
正は、搬送方向に対して横方向の力をウエハＷに
加えることとなり、これに伴い、ウエハＷを支持
するベルト１，１′，３，３′又は２，４にも、横
方向の力が加わるため、ベルト１，１′，３，
３′又は２，４が掛回されているプーリ５，５′又
は６，６′，８，８′から、ベルト１，１′，３，
３′又は２，４が外れ易く、搬送中のウエハＷを
損なつたり、ベルトを掛け直さなければならない
等、種々の問題があつた。
プーリからベルトが外れるのを防止するために
は、プーリの外周面上に刻設された溝を深くし、
該溝にベルトを嵌め込んで張設すればよいと考え
られるが、次に挙げるような種々の問題がある。
は、プーリの外周面上に刻設された溝を深くし、
該溝にベルトを嵌め込んで張設すればよいと考え
られるが、次に挙げるような種々の問題がある。
即ち、一般にベルト搬送装置に用いられるプー
リの外周面上には、ベルトの外径と同程度の深さ
の溝を刻設し、ベルトをプーリに掛け回した時
に、プーリの外面からベルトがほんの少し外方に
突出するようにしている。しかし、ベルトを駆動
している間に、ベルトの送り方向に対して横方向
の力が加えられた場合には、極めて容易にベルト
が外れてしまう。また、プーリ上に刻設された溝
を更に深くして、該溝内にベルトを完全に埋め込
むようにした場合には、ウエハ裏面とプーリ外周
面とが接触することとなるため、ウエハが損傷す
るといつた問題が生ずる。
リの外周面上には、ベルトの外径と同程度の深さ
の溝を刻設し、ベルトをプーリに掛け回した時
に、プーリの外面からベルトがほんの少し外方に
突出するようにしている。しかし、ベルトを駆動
している間に、ベルトの送り方向に対して横方向
の力が加えられた場合には、極めて容易にベルト
が外れてしまう。また、プーリ上に刻設された溝
を更に深くして、該溝内にベルトを完全に埋め込
むようにした場合には、ウエハ裏面とプーリ外周
面とが接触することとなるため、ウエハが損傷す
るといつた問題が生ずる。
かかる不都合を解消するには、例えば、テフロ
ン（商標名）等の樹脂を、プーリの外周面にコー
テイングする等の方策が考えられるが、ベルトの
駆動速度とプーリの周速度との違いにより、ウエ
ハに静電気が帯電し易く、ウエハ上の回路自体が
損傷したり、ウエハが汚染されたり等の不都合を
生ずる。
ン（商標名）等の樹脂を、プーリの外周面にコー
テイングする等の方策が考えられるが、ベルトの
駆動速度とプーリの周速度との違いにより、ウエ
ハに静電気が帯電し易く、ウエハ上の回路自体が
損傷したり、ウエハが汚染されたり等の不都合を
生ずる。
本考案は、上述の事情に鑑み、ベルト搬送装置
の搬送方向修正部（即ち搬送路の曲折部）におけ
るベルト外れを、有効適切に防止することを主た
る目的とし、この際構造を簡易なものとするとと
もに、ウエハの損傷、汚染等の問題をも、合わせ
解消しようとするものである。
の搬送方向修正部（即ち搬送路の曲折部）におけ
るベルト外れを、有効適切に防止することを主た
る目的とし、この際構造を簡易なものとするとと
もに、ウエハの損傷、汚染等の問題をも、合わせ
解消しようとするものである。
本考案に係るベルト搬送装置は、プーリ間に張
設された複数の搬送ベルト上にウエハを支持し
て、所望の方向に搬送する搬送路の曲折する部位
に、搬送ベルトの上面から上方に突出する回転体
を配設して構成したものである。
設された複数の搬送ベルト上にウエハを支持し
て、所望の方向に搬送する搬送路の曲折する部位
に、搬送ベルトの上面から上方に突出する回転体
を配設して構成したものである。
第１図は、本考案に係るベルト搬送装置を適用
した１実施例を示す平面図であり、第２図は、第
１図−断面図である。
した１実施例を示す平面図であり、第２図は、第
１図−断面図である。
図面において、各々別個のループをなす搬送ベ
ルト２１，２１′，２３，２３′が、各同軸上に配
設したプーリ２５，２５′に掛回されている（他
方のプーリは図示を省略する）。
ルト２１，２１′，２３，２３′が、各同軸上に配
設したプーリ２５，２５′に掛回されている（他
方のプーリは図示を省略する）。
ウエハＷを矢印方向に行う場合、ベルト２１，
２１′から形成された前段の搬送系と、ベルト２
３，２３′から形成された後段の搬送系との間に
は、図中Ｌで示す位相差をもつて搬送方向を修正
している。
２１′から形成された前段の搬送系と、ベルト２
３，２３′から形成された後段の搬送系との間に
は、図中Ｌで示す位相差をもつて搬送方向を修正
している。
プーリ２５，２５′の共通の軸２７は、図示し
ない軸受により軸支され、図示しない駆動機構に
より駆動されている。
ない軸受により軸支され、図示しない駆動機構に
より駆動されている。
各プーリ２５，２５′上には、ベルト２１，２
１′，２３，２３′をプーリ２５，２５′に掛回し
た時のベルト外径d1よりも大きな外径d2を有する
Ｏリング３１，３１′が固着されている。このＯ
リング３１，３１′は、ゴム等の弾性体上に、摩
擦係数が可及的に小さな部材がコーテイングされ
て、ベルト２１，２１′，２３，２３′よりも摩擦
係数を小さくしてあり、ウエハＷが該Ｏリング３
１，３１′上に乗り上げた際に、ウエハＷを搬送
方向に対して横方向（第２図では左右方向）に容
易に移動できるようにしている。
１′，２３，２３′をプーリ２５，２５′に掛回し
た時のベルト外径d1よりも大きな外径d2を有する
Ｏリング３１，３１′が固着されている。このＯ
リング３１，３１′は、ゴム等の弾性体上に、摩
擦係数が可及的に小さな部材がコーテイングされ
て、ベルト２１，２１′，２３，２３′よりも摩擦
係数を小さくしてあり、ウエハＷが該Ｏリング３
１，３１′上に乗り上げた際に、ウエハＷを搬送
方向に対して横方向（第２図では左右方向）に容
易に移動できるようにしている。
ウエハＷの搬送路の両側には、ガイドＧ，
G′が、ウエハＷの外径より若干大きな距離を介
して配設されており、搬送路の曲折した部位にお
いて、ウエハＷの縁部をガイドＧ又はG′に当接
することによつてウエハＷの搬送方向を修正する
ようにしている。ガイドＧ，G′の内壁面には、
摩擦係数が可及的に小さな部材でコーテイングさ
れており、ウエハＷがガイドＧ，G′の内壁面に
当接した際に、ウエハＷの方向修正を容易にして
いる。
G′が、ウエハＷの外径より若干大きな距離を介
して配設されており、搬送路の曲折した部位にお
いて、ウエハＷの縁部をガイドＧ又はG′に当接
することによつてウエハＷの搬送方向を修正する
ようにしている。ガイドＧ，G′の内壁面には、
摩擦係数が可及的に小さな部材でコーテイングさ
れており、ウエハＷがガイドＧ，G′の内壁面に
当接した際に、ウエハＷの方向修正を容易にして
いる。
第３図は、本考案に係るベルト搬送装置の別の
実施例を示す平面図である。
実施例を示す平面図である。
この実施例においては、ベルト２１，２１′か
ら形成された前段の搬送系と、ベルト２３，２
３′から形成された後段の搬送系との搬送方向が、
所定角θをなす場合を示している。
ら形成された前段の搬送系と、ベルト２３，２
３′から形成された後段の搬送系との搬送方向が、
所定角θをなす場合を示している。
この場合には、第１実施例に示したように、前
段及び後段の搬送系の各一方の隣接するプーリの
回転軸を同軸とすることなく、各々別個の回転軸
４１，４３を配設し、該軸４１，４３上に各プー
リ３３，３３′，３５，３５′を軸支し、該プーリ
３３，３３′、３５，３５′に、各々無端ベルト２
１，２１′，２３，２３′を掛け回している。（図
において各他方のプーリは図示せず）。
段及び後段の搬送系の各一方の隣接するプーリの
回転軸を同軸とすることなく、各々別個の回転軸
４１，４３を配設し、該軸４１，４３上に各プー
リ３３，３３′，３５，３５′を軸支し、該プーリ
３３，３３′、３５，３５′に、各々無端ベルト２
１，２１′，２３，２３′を掛け回している。（図
において各他方のプーリは図示せず）。
各プーリ３３，３３′，３５，３５′には、第１
実施例で用いたのと同様のＯリング３７，３７′，
３９，３９′が固着されている。Ｏリング３７，
３７′，３９，３９′は、その外径が、各プーリ３
３，３３′，３５，３５′にベルト２１，２１′，
２３，２３′を掛回した時の該ベルト２１，２
１′，２３，２３′の外径よりも大きく、外方に突
出している。
実施例で用いたのと同様のＯリング３７，３７′，
３９，３９′が固着されている。Ｏリング３７，
３７′，３９，３９′は、その外径が、各プーリ３
３，３３′，３５，３５′にベルト２１，２１′，
２３，２３′を掛回した時の該ベルト２１，２
１′，２３，２３′の外径よりも大きく、外方に突
出している。
第３図において、第１図及び第２図に示す記号
と同一記号を付した各要素は、同一のものであ
り、説明を省略する。
と同一記号を付した各要素は、同一のものであ
り、説明を省略する。
次に、本考案に係るベルト搬送装置の作用につ
いて述べる 第１図乃至第３図に示すように、前段の搬送ベ
ルト２１，２１′上に支持されて、矢印方向に搬
送され、搬送路の曲折部まで達したウエハＷは、
搬送路の両側に配設されたガイドＧ又はG′にそ
の縁部が当接することにより、搬送方向が修正さ
れる。
いて述べる 第１図乃至第３図に示すように、前段の搬送ベ
ルト２１，２１′上に支持されて、矢印方向に搬
送され、搬送路の曲折部まで達したウエハＷは、
搬送路の両側に配設されたガイドＧ又はG′にそ
の縁部が当接することにより、搬送方向が修正さ
れる。
このとき、ベルト２１，２１′上に支持された
ウエハＷは、プーリ２５，２５′（第１図参照）
又は３３，３３′，３５，３５′（第３図参照）上
では、ベルト２１，２１′及び２３，２３′の外径
よりも大きな外径を有するＯリング３１，３１′
又は３７，３７′，３９，３９′により、ベルト２
１，２１′及び２３，２３′から上方に持ち上げら
れるため、ウエハＷを前段の搬送系から後段の搬
送系へ受け渡す際に、ウエハＷの裏面により、前
段搬送系のベルト２１，２１′および／又は後段
搬送系のベルト２３，２３′に横方向（第１図及
び第３図において図面の上下方向）の力を加える
ことがない。
ウエハＷは、プーリ２５，２５′（第１図参照）
又は３３，３３′，３５，３５′（第３図参照）上
では、ベルト２１，２１′及び２３，２３′の外径
よりも大きな外径を有するＯリング３１，３１′
又は３７，３７′，３９，３９′により、ベルト２
１，２１′及び２３，２３′から上方に持ち上げら
れるため、ウエハＷを前段の搬送系から後段の搬
送系へ受け渡す際に、ウエハＷの裏面により、前
段搬送系のベルト２１，２１′および／又は後段
搬送系のベルト２３，２３′に横方向（第１図及
び第３図において図面の上下方向）の力を加える
ことがない。
更に、ガイドＧ，G′の内壁面、及びＯリング
３１，３１′又は３７，３７′，３９，３９′の外
周面は、摩擦係数の小さな部材で、形成又はコー
テイングされているため、ウエハＷの搬送方向の
修正に際して、ガイドＧ又はG′から各Ｏリング
に過大な力を加えることなく、ウエハＷは、Ｏリ
ング３１，３１′又は３７，３７′，３９，３９′
上で摺動し、容易に搬送方向を変えることがで
き、従つてウエハＷ自体を損傷することはない。
３１，３１′又は３７，３７′，３９，３９′の外
周面は、摩擦係数の小さな部材で、形成又はコー
テイングされているため、ウエハＷの搬送方向の
修正に際して、ガイドＧ又はG′から各Ｏリング
に過大な力を加えることなく、ウエハＷは、Ｏリ
ング３１，３１′又は３７，３７′，３９，３９′
上で摺動し、容易に搬送方向を変えることがで
き、従つてウエハＷ自体を損傷することはない。
このように、ウエハＷの搬送方向の修正に当つ
て、搬送ベルト２１，２１′，２３，２３′に横方
向の力がほとんどかけられることがないため、該
搬送ベルト２１，２１′，２３，２３′が、プーリ
２５，２５′又は３３，３３′，３５，３５′から
外れることはない。
て、搬送ベルト２１，２１′，２３，２３′に横方
向の力がほとんどかけられることがないため、該
搬送ベルト２１，２１′，２３，２３′が、プーリ
２５，２５′又は３３，３３′，３５，３５′から
外れることはない。
後段の搬送系に受け渡されたウエハＷは、搬送
ベルト２３，２３′上に支持されて、所望の方向
に搬送される。
ベルト２３，２３′上に支持されて、所望の方向
に搬送される。
上述の説明から明らかなように、本考案に係る
ベルト搬送装置は、ウエハの搬送路上の曲折部位
に、搬送ベルトの上面（即ちウエハの支持面）よ
りも上方に突出したＯリングを配設することによ
り、次のような実用上便宜な諸効果を奏する。
ベルト搬送装置は、ウエハの搬送路上の曲折部位
に、搬送ベルトの上面（即ちウエハの支持面）よ
りも上方に突出したＯリングを配設することによ
り、次のような実用上便宜な諸効果を奏する。
(1) 搬送ベルトに横方向の力が加えられることが
ないため、搬送ベルトがプーリから離脱する慮
れがなく、ウエハの損傷・搬送ベルトの修復と
いつた不都合が解消できる。
ないため、搬送ベルトがプーリから離脱する慮
れがなく、ウエハの損傷・搬送ベルトの修復と
いつた不都合が解消できる。
(2) 構造が極めて簡易であり、従来のベルト搬送
装置にも容易に適用できる。
装置にも容易に適用できる。
(3) ウエハの曲折部位において、摩擦を小さく抑
えることができるため、ウエハの帯電に伴う不
都合を解消することができる。
えることができるため、ウエハの帯電に伴う不
都合を解消することができる。
(4) ウエハの搬送が確実であるため、歩留りを向
上させることができ、生産性を高めることがで
きる。
上させることができ、生産性を高めることがで
きる。
第１図は、本考案に係るベルト搬送装置を適用
した第１の実施例を示す平面図、第２図は、第１
図の−線断面図、第３図は、本考案に係る第
２の実施例を示す平面図、第４図及び第５図は、
各々従来のベルト搬送装置を示す平面図である。 １，１′，２，３，３′，４……搬送ベルト、
５，５′，６，６′，８，８′……プーリ、７……
軸、２１，２１′，２３，２３′……搬送ベルト、
２５，２５′……プーリ、２７……軸、３１，３
１′……Ｏリング、３３，３３′，３５，３５′…
…プーリ、３７，３７′，３９，３９′……Ｏリン
グ、４１，４３……回転軸、Ｇ，G′……ガイド、
Ｗ……ウエハ。
した第１の実施例を示す平面図、第２図は、第１
図の−線断面図、第３図は、本考案に係る第
２の実施例を示す平面図、第４図及び第５図は、
各々従来のベルト搬送装置を示す平面図である。 １，１′，２，３，３′，４……搬送ベルト、
５，５′，６，６′，８，８′……プーリ、７……
軸、２１，２１′，２３，２３′……搬送ベルト、
２５，２５′……プーリ、２７……軸、３１，３
１′……Ｏリング、３３，３３′，３５，３５′…
…プーリ、３７，３７′，３９，３９′……Ｏリン
グ、４１，４３……回転軸、Ｇ，G′……ガイド、
Ｗ……ウエハ。
Claims (1)
- プーリ上に調節された複数の搬送ベルト上に、
半導体基板、フオトマスク等の板状体を支持し
て、所望の方向に搬送するようにしたベルト搬送
装置において、搬送路の曲折する部位に、前記板
状体の側縁が当接する一対のガイドを、搬送路の
両側に配設し、かつ、前記板状体を支持する前記
搬送ベルトの上面から上方に部分的に突出する回
転体を配設し、該回転体の周面を、前記搬送ベル
トよりも摩擦係数の小さい部材で形成するととも
に、搬送ベルトを調節したプーリの少なくとも一
方と同軸に軸支してなるベルト搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6482184U JPS60177133U (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | ベルト搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6482184U JPS60177133U (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | ベルト搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177133U JPS60177133U (ja) | 1985-11-25 |
| JPH0330363Y2 true JPH0330363Y2 (ja) | 1991-06-27 |
Family
ID=30596258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6482184U Granted JPS60177133U (ja) | 1984-05-04 | 1984-05-04 | ベルト搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177133U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS444183Y1 (ja) * | 1965-08-09 | 1969-02-17 |
-
1984
- 1984-05-04 JP JP6482184U patent/JPS60177133U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS444183Y1 (ja) * | 1965-08-09 | 1969-02-17 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60177133U (ja) | 1985-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20110045934A (ko) | 와이어 연결형 롤러를 이용한 이송유닛 | |
| JPH0330363Y2 (ja) | ||
| KR20090111607A (ko) | 기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치 | |
| JP2679828B2 (ja) | 搬送ローラ装置 | |
| JPS58109339A (ja) | ベルト搬送装置 | |
| JP2007142304A (ja) | 板状体搬送装置 | |
| JPS61143084A (ja) | パチンコ玉搬送機 | |
| JPS61166405A (ja) | アツプ，ダウン・コンベア | |
| JP3045297B1 (ja) | カーブベルトコンベヤ | |
| JPS6212547A (ja) | 半導体基板搬送機構 | |
| JPH06271030A (ja) | カーブコンベア | |
| JPH04249337A (ja) | 搬送装置 | |
| JP3468028B2 (ja) | 自動現像機における写真感光材料の移送方向変換装置 | |
| JPH10152224A (ja) | 液晶表示素子用基板の搬送装置 | |
| JPH10316232A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH01247311A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPH04171187A (ja) | マスクなどの搬送に使用される把持装置 | |
| KR20060078538A (ko) | 반송 롤러 | |
| JPH11157637A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP3252135B2 (ja) | カーブベルトコンベヤ | |
| KR200306894Y1 (ko) | 엘씨디용 기판의 이송장치 | |
| JPS6050527A (ja) | 原稿搬送装置 | |
| JP3252134B2 (ja) | カーブベルトコンベヤ | |
| JPH07187453A (ja) | 搬送物の整位装置 | |
| JPS63117855A (ja) | ウエハ搬送機構 |